[實用新型]一種測試硅片碳氧含量的夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720588124.5
• 申請日: 2017-05-24
• 公開（公告）號: CN206920312U
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李琰琪;李碩;侯玉;萬松博;王栩生;涂修文;邢國強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 胡彬

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種測試硅片碳氧含量的夾具。

背景技術(shù)

在硅片測試中，間歇氧含量、代位碳原子含量是表征硅材料優(yōu)良與否的重要指標(biāo)。目前可以通過二次離子質(zhì)譜(secondary ion mass spectroscopy，簡稱SIMS)、質(zhì)譜或者紅外波譜分析檢測，前兩者雖然較為準(zhǔn)確，但測試成本過于昂貴，通常不為廠家采用。

現(xiàn)有技術(shù)中，一般采用紅外波譜分析來表征間歇氧含量、代位碳原子含量，其具有成本低廉、快速靈敏的優(yōu)點，但其對測試的硅片的厚度有要求，一般只能選用厚度為2mm的硅片進(jìn)行測試。而目前的硅片的厚度一般在200um左右，無法直接進(jìn)行測試，其原因是200um的硅片在測試時有干涉現(xiàn)象。這就導(dǎo)致待檢測的硅片需要單獨制備，且電池硅片制造商也無法檢測出來料是否氧碳超標(biāo)。因此，有必要研發(fā)一種可以對正常厚度的硅片進(jìn)行碳氧含量測試的夾具，以解決上述問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種測試硅片碳氧含量的夾具，其不僅結(jié)構(gòu)簡單，而且能夠?qū)φ：穸鹊墓杵M(jìn)行碳氧含量測試。

為達(dá)此目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

一種測試硅片碳氧含量的夾具，包括底板，底板上設(shè)置有用于吸附硅片的吸真空背板，吸真空背板設(shè)置有用于光線透過的透光區(qū)，吸真空背板能夠繞豎直方向相對底板轉(zhuǎn)動，以調(diào)節(jié)光線與硅片之間的角度。

通過吸真空背板能夠沿豎直方向相對底板轉(zhuǎn)動，以調(diào)節(jié)光線與硅片之間的角度，使得光線與硅片傾斜設(shè)置，從而增加了光線在硅片中的實際路程，相當(dāng)于增加了硅片的厚度，解決了現(xiàn)有技術(shù)不能測試正常厚度的硅片的技術(shù)問題。

其中，吸真空背板與底板相垂直，吸真空背板的一端設(shè)置有旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸固定在底板上。

其中，吸真空背板上設(shè)置有用于固定吸真空背板與底板的定位裝置。將吸真空背板調(diào)整到合適的角度后，通過定位裝置將吸真空背部固定在底板上。

其中，定位裝置為定位栓，底板上設(shè)置有與定位栓相配合的弧形槽。

其中，底板上設(shè)置有用于指示吸真空背板相對底板轉(zhuǎn)動角度的刻度盤。

其中，刻度盤上設(shè)置有角度標(biāo)識。通過角度標(biāo)識，可以根據(jù)測試要求調(diào)整測試角度。

其中，吸真空背板連接有真空吸管，真空吸管上設(shè)置有用于控制真空吸管開合的控制閥。通過真空吸管和控制閥，可以實現(xiàn)對吸真空背板的吸附力的控制，當(dāng)真空度達(dá)到要求時，關(guān)閉控制閥，防止儀器內(nèi)外的氣體交換。此外，當(dāng)儀器內(nèi)的溫濕度達(dá)不到要求時，可以通過真空吸管交換室內(nèi)與儀器內(nèi)的空氣，以改善測試儀器內(nèi)部環(huán)境。

其中，透光區(qū)的面積小于硅片的面積。

本實用新型的有益效果：本實用新型的測試硅片碳氧含量的夾具，其吸真空背板能夠繞豎直方向相對底板轉(zhuǎn)動，以調(diào)節(jié)光線與硅片之間的角度。現(xiàn)有技術(shù)技術(shù)中的夾具，其光線與硅片相垂直，本實用新型的夾具通過改變光線與硅片之間的角度，使得光線與硅片傾斜設(shè)置，從而增加了光線在硅片中的實際路程，相當(dāng)于增加了硅片的厚度。本實用新型的測試硅片碳氧含量的夾具不僅結(jié)構(gòu)簡單，而且解決了現(xiàn)有技術(shù)不能測試正常厚度的硅片的技術(shù)問題。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例的測試硅片碳氧含量的夾具的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實用新型實施例的測試硅片碳氧含量的夾具的俯視圖。

圖3是現(xiàn)有技術(shù)中的光線與硅片的示意圖

圖4是本實用新型實施例的光線與硅片的示意圖。

圖5是現(xiàn)有技術(shù)中的測試光譜示意圖。

圖6是本實用新型實施例的測試光譜示意圖。

附圖標(biāo)記如下：

1-底板；2-吸真空背板；21-透光區(qū)；3-旋轉(zhuǎn)軸；4-定位栓；5-刻度盤；6-真空吸管；7-控制閥。

具體實施方式

下面結(jié)合圖1至圖6并通過具體實施例來進(jìn)一步說明本實用新型的技術(shù)方案。

如圖1至圖2所示，測試硅片碳氧含量的夾具包括底板，底板上設(shè)置有用于吸附硅片的吸真空背板，吸真空背板設(shè)置有用于光線透過的透光區(qū)，吸真空背板能夠繞豎直方向相對底板轉(zhuǎn)動，以調(diào)節(jié)光線與硅片之間的角度。