[實用新型]MEMS設備和投射MEMS系統

有效

• 申請號: 201720588066.6
• 申請日: 2017-05-24
• 公開（公告）號: CN207318835U
• 公開（公告）日: 2018-05-04
• 發明（設計）人: F·普羅科皮奧;G·里科蒂
• 申請（專利權）人: 意法半導體股份有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;G03B21/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所11256
• 代理人: 王茂華

1.一種MEMS設備，其特征在于，包括：

-固定支撐體(22)，所述固定支撐體形成空腔(24)；

-移動元件(32)，所述移動元件懸掛在所述空腔上方；

-至少一個彈性元件(40，42)，所述至少一個彈性元件布置在所述固定支撐體和所述移動元件之間；以及

-第一壓電元件(70)、第二壓電元件(72)、第三壓電元件(74)和第四壓電元件(76)，所述壓電元件機械地耦合至所述彈性元件；

其中，所述彈性元件具有相對于第一方向(H)對稱的形狀，所述形狀限定所述彈性元件的第一部分(40)和第二部分(42)；并且其中，所述第一壓電元件和所述第二壓電元件布置在所述第一部分上，分別相對于布置在所述第二部分上的所述第三壓電元件和所述第四壓電元件對稱；并且其中，所述第一壓電元件和所述第四壓電元件被配置成用于接收第一控制信號；并且其中，所述第二壓電元件和所述第三壓電元件被配置成用于接收第二控制信號，所述第一控制信號和所述第二控制信號的相位相反，使得所述第一壓電元件、所述第二壓電元件、所述第三壓電元件和所述第四壓電元件使所述彈性元件變形，結果使所述移動元件相對于所述固定支撐體繞所述第一方向旋轉。

2.根據權利要求1所述的MEMS設備，其特征在于，所述彈性元件(40，42)具有環形形狀并且包括：

-第一橫向部分(56)和第二橫向部分(62)，所述第一橫向部分和所述第二橫向部分平行于第二方向(y)延伸，所述第二方向相對于所述第一方向(H)橫向；以及

-第一連接部分(48)和第二連接部分(54)，所述第一連接部分和所述第二連接部分中的每一個連接所述第一橫向部分和所述第二橫向部分的對應端部；

并且其中，所述第一壓電元件(70)和所述第三壓電元件(74)布置在所述第一橫向部分上；并且其中，所述第二壓電元件(72)和所述第四壓電元件(76)布置在所述第二橫向部分上。

3.根據權利要求2所述的MEMS設備，其特征在于，所述第一橫向部分(56)和所述第二橫向部分(62)分別形成第一中間部分(I1)和第二中間部分(I2)，所述第一中間部分(I1)連接到所述固定支撐體(22)，所述第二中間部分(I2)在所述第一方向(H)上對準于所述第一中間部分并且被固定于所述移動元件(32)，所述第二中間部分被配置成用于在使用時相對于所述固定支撐體(22)旋轉。

4.根據權利要求3所述的MEMS設備，其特征在于，在靜止條件下，所述第一壓電元件(70)、所述第二壓電元件(72)、所述第三壓電元件(74)和所述第四壓電元件(76)中的每一個具有平行于所述第二方向(y)的細長形狀；并且其中，所述第一壓電元件和所述第三壓電元件相對于所述第一中間部分(I1)橫向交錯；并且其中，所述第二壓電元件和所述第四壓電元件相對于所述第二中間部分(I2)橫向交錯。

5.根據權利要求2所述的MEMS設備，其特征在于，所述第二方向(y)垂直于所述第一方向(H)；并且其中，所述彈性元件(40，42)具有沿著與所述第一方向和所述第二方向垂直的第三方向(z)測得的厚度，所述厚度小于沿著所述第一方向(H)和所述第二方向(x)測得的另外兩個尺寸。

6.根據權利要求1所述的MEMS設備，其特征在于，所述固定支撐體(22)、所述彈性元件(40，42)和所述移動元件(32)由半導體材料制成。

7.根據權利要求1所述的MEMS設備，其特征在于，進一步包括驅動電路(104)，所述驅動電路電耦合到所述第一壓電元件(70)、所述第二壓電元件(72)、所述第三壓電元件(74)和所述第四壓電元件(76)并且被配置成用于生成所述第一控制信號和所述第二控制信號。

8.根據權利要求7所述的MEMS設備，其特征在于，所述固定支撐體(22)、所述移動元件(32)、所述彈性元件(40，42)以及所述第一壓電元件(70)、所述第二壓電元件(72)、所述第三壓電元件(74)和所述第四壓電元件(76)形成在第一裸片(20)中；并且其中，所述驅動電路(104)形成在第二裸片(102)中。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的MEMS設備，其特征在于，進一步包括固定于所述移動元件(32)的反射鏡(35)。