[實(shí)用新型]激光除膠設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720588044.X
• 申請(qǐng)日: 2017-05-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206975397U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡小強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 昆山國(guó)顯光電有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F1/82
• 分類(lèi)號(hào): G03F1/82
• 代理公司: 上海波拓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司31264
• 代理人: 楊波

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及面板制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種激光除膠設(shè)備。

背景技術(shù)

在顯示面板的制造過(guò)程中，制作IC芯片(Integrated Circuit，集成電路)是不可缺少的步驟。在制作IC芯片期間，掩膜版(Photo Mask)包含了整個(gè)硅片的芯片圖形特征，是光刻復(fù)制圖形的基準(zhǔn)和藍(lán)本，掩膜版上的任何缺陷都會(huì)對(duì)最終圖形精度產(chǎn)生嚴(yán)重的影響，掩膜版質(zhì)量的優(yōu)劣直接影響光刻圖形的質(zhì)量。由此，在掩膜版被損壞后，需要進(jìn)行修復(fù)。

在現(xiàn)有技術(shù)中，在修復(fù)掩膜版時(shí)，難以將掩膜版上的膜連同膠一起從掩膜版本體上一起剝離下來(lái)，甚至?xí)斐捎休^多的膠體殘留。這些殘留的膠體難以被去除，造成修復(fù)掩膜版的工作量較大。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種激光除膠設(shè)備，以實(shí)現(xiàn)快速除去殘留的膠體，進(jìn)而減小修復(fù)掩膜版的工作量。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題是采用以下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。

本實(shí)用新型提供一種激光除膠設(shè)備，包括除膠裝置，除膠裝置包括激光器和吸附管，激光器的鏡頭和吸附管的吸附口聚攏到一起。

進(jìn)一步地，還包括承載臺(tái)，激光器的鏡頭和吸附管的吸附口處于承載臺(tái)的同側(cè)。

進(jìn)一步地，設(shè)置有多個(gè)吸附管，多個(gè)吸附管環(huán)繞設(shè)置在激光器的周?chē)?/p>

進(jìn)一步地，除膠裝置還包括吸附泵，吸附泵通過(guò)連接管連接至吸附管。

進(jìn)一步地，連接管為多個(gè)，每個(gè)吸附管通過(guò)一個(gè)連接管連接至吸附泵。

進(jìn)一步地，連接管及吸附泵均為多個(gè)，每個(gè)吸附管通過(guò)一個(gè)連接管連接至一個(gè)吸附泵。

進(jìn)一步地，激光除膠設(shè)備還包括支撐架，支撐架用于固定激光器及吸附管。

進(jìn)一步地，激光除膠設(shè)備還包括與除膠裝置協(xié)同工作的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置，自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置包括探測(cè)鏡頭。

進(jìn)一步地，自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置還包括拍攝鏡頭。

本實(shí)用新型提供的激光除膠設(shè)備，通過(guò)在激光器周?chē)h(huán)繞設(shè)置多個(gè)吸附管，在激光器發(fā)出激光對(duì)掩膜版上的膠體進(jìn)行軟化的同時(shí)，該多個(gè)吸附管同步吸附被軟化的膠體，使得軟化后的膠體迅速脫離掩膜版。這樣，膠體在激光照射和吸附管的抽力吸附的共同作用下，可被容易地去除，進(jìn)而減小了修復(fù)掩膜版的工作量。此外，吸附管的抽力吸附還可以避免被激光軟化后的膠體在掩膜版上發(fā)生位置轉(zhuǎn)移而需要激光器多次照射的情況，從而提高了生產(chǎn)效率。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型第一實(shí)施例中激光除膠設(shè)備的局部結(jié)構(gòu)框圖。

圖2為本實(shí)用新型第一施例中激光除膠設(shè)備的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實(shí)用新型第二施例中激光除膠設(shè)備的局部結(jié)構(gòu)框圖。

圖4為本實(shí)用新型第二施例中激光除膠設(shè)備的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

更進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定實(shí)用新型目的所采取的技術(shù)方式及功效，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說(shuō)明如后。

圖1為本實(shí)用新型第一實(shí)施例中激光除膠設(shè)備的局部結(jié)構(gòu)框圖，圖2為本實(shí)用新型第一實(shí)施例中激光除膠設(shè)備的局部結(jié)構(gòu)示意圖。請(qǐng)參考圖1和圖2，本實(shí)施例提供一種激光除膠設(shè)備，包括除膠裝置10和承載臺(tái)11，該除膠裝置10包括激光器12和吸附管13，激光器12和吸附管13均位于承載臺(tái)11的同側(cè)。本實(shí)施例中，該除膠裝置10特別適用于去除掩膜版30上的膠體20。

請(qǐng)結(jié)合圖2，吸附管13的吸附口靠近激光器12的鏡頭并朝向掩膜版30上的膠體20，激光器12用于軟化掩膜版30上的膠體20，吸附管13用于吸附掩膜版30上軟化后的膠體20。

本實(shí)施例中，激光除膠設(shè)備還包括吸附泵14，吸附泵14通過(guò)連接管15連接至吸附管13。吸附管13及連接管15均為多個(gè)，每個(gè)吸附管13通過(guò)一個(gè)連接管15連接至吸附泵14。在其他實(shí)施例中，吸附管13、連接管15及吸附泵14均為多個(gè)，每個(gè)吸附管13通過(guò)一個(gè)連接管15連接至一個(gè)吸附泵14。

如圖1所示，除膠裝置10還包括第一控制器11，第一控制器11與激光器12及吸附泵14電性連接，該第一控制器11用于控制激光器12的激光強(qiáng)度及吸附泵14的吸附力。