[實用新型]單晶硅生長爐爐蓋防爆防震機構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720586145.3
• 申請日: 2017-05-24
• 公開（公告）號: CN206956209U
• 公開（公告）日: 2018-02-02
• 發(fā)明（設計）人: 張瀛;賀賢漢;何愛軍;郡司拓;祁貴軍
• 申請（專利權）人: 上海漢虹精密機械有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 上海順華專利代理有限責任公司31203
• 代理人: 顧雯

1.單晶硅生長爐爐蓋防爆防震機構，其特征在于：包括爐蓋連接件(2)，所述爐蓋連接件(2)是由一塊豎板和一塊橫板組成的T字形結構，豎板穿過爐蓋提升架(1)預留的第一孔固定于爐蓋(4)上，所述第一孔的寬度大于豎板的寬度小于橫板的寬度，且在爐蓋提升架(1)不動情況下，爐蓋提升架與橫板之間存在防震間隙，爐蓋提升架與爐蓋之間存在35-45毫米間隙，豎板與第一孔之間存在防震間隙。

2.根據(jù)權利要求1所述的單晶硅生長爐爐蓋防爆防震機構，其特征在于：所述豎板穿過爐蓋提升架(1)預留的第一孔固定于爐蓋(4)上表面上；所述爐蓋提升架(1)在第一孔一側的架面板下方設置有豎直布置的滾輪支撐座(7)，所述滾輪支撐座(7)下端安裝滾輪(6)；與滾輪(6)對應的爐蓋(4)側壁上設置有頂緊塊(5)，滾輪(6)與頂緊塊(5)接觸頂緊。

3.根據(jù)權利要求2所述的單晶硅生長爐爐蓋防爆防震機構，其特征在于：在爐蓋提升架(1)不動情況下，滾輪(6)與頂緊塊(5)之間存在防震間隙。

4.根據(jù)權利要求1或3所述的單晶硅生長爐爐蓋防爆防震機構，其特征在于：所述防震間隙為5-10毫米間隙。

5.根據(jù)權利要求2所述的單晶硅生長爐爐蓋防爆防震機構，其特征在于：所述滾輪支撐座(7)可滑動式固定于爐蓋提升架(1)的架面板下方，滾輪支撐座(7)后端安裝能夠調整滾輪支撐座位置的調整螺栓(8)。

6.根據(jù)權利要求1所述的單晶硅生長爐爐蓋防爆防震機構，其特征在于：包括調整板(3)，所述調整板(3)上開設有寬度大于豎板的寬度的第二孔，第二孔對接放置于第一孔上，能夠沿第一孔寬度方向來回移動調整第一孔和第二孔的重疊孔的寬度，待重疊孔的寬度固定后，將調整板(3)固定于爐蓋提升架(1)上，爐蓋連接件(2)穿過重疊孔。