[實用新型]一種擴散石英源瓶

有效

• 申請號: 201720584082.8
• 申請日: 2017-05-24
• 公開（公告）號: CN207109153U
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 嚴健;晏文春;劉志強;費正洪;黨繼東
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司
• 主分類號: C30B31/16
• 分類號: C30B31/16;H01L31/18
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 胡彬

1.一種擴散石英源瓶，其特征在于，包括儲存磷源的源瓶本體(1)，所述源瓶本體(1)的頂部連接有進氣管(2)和出氣管(3)，所述進氣管(2)伸入磷源液面的下方，所述出氣管(3)置于所述磷源液面上方；

所述源瓶本體(1)內設置有液位檢測機構(4)；

所述源瓶本體(1)內設有伸入所述磷源液面下方的氣囊(5)，所述氣囊(5)連接有供氣機構；及

控制器，所述控制器分別與所述供氣機構和所述液位檢測機構(4)電連接。

2.根據權利要求1所述的擴散石英源瓶，其特征在于，所述源瓶本體(1)上設有開口(11)，所述氣囊(5)通過氣管穿過所述開口(11)與所述供氣機構連接。

3.根據權利要求2所述的擴散石英源瓶，其特征在于，所述開口(11)位于所述磷源液面的上方。

4.根據權利要求2所述的擴散石英源瓶，其特征在于，所述氣囊(5)的數量為一個，所述開口(11)的數量為一個。

5.根據權利要求4所述的擴散石英源瓶，其特征在于，所述氣囊(5)為貼合于所述源瓶本體(1)的內壁設置的環形結構。

6.根據權利要求2所述的擴散石英源瓶，其特征在于，所述氣囊(5)的數量為多個，所述開口(11)的數量為多個，所述開口(11)與所述氣囊(5)一一對應設置。

7.根據權利要求6所述的擴散石英源瓶，其特征在于，多個所述氣囊(5)周向均布地貼合于所述源瓶本體(1)的內壁上。

8.根據權利要求1-7任一所述的擴散石英源瓶，其特征在于，所述進氣管(2)和所述液位檢測機構(4)均沿豎直方向伸入所述磷源液面的下方。

9.根據權利要求8所述的擴散石英源瓶，其特征在于，所述磷源液面的高度不小于3cm，所述進氣管(2)伸入所述磷源液面的下方的距離不小于2cm。

10.根據權利要求1-7任一項所述的擴散石英源瓶，其特征在于，所述液位檢測機構(4)為液位傳感器。