[實用新型]干燥及預鈍化裝置

有效

• 申請號: 201720581572.2
• 申請日: 2017-05-23
• 公開（公告）號: CN206902221U
• 公開（公告）日: 2018-01-19
• 發明（設計）人: 郭馨;丁金濱;劉斌;張立佳;周翔;王宇;趙江山
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: C23C8/08
• 分類號: C23C8/08;C23C8/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司11021
• 代理人: 任巖

1.一種干燥及預鈍化裝置，包括氣室及分別與所述氣室連接的總控制單元、抽真空單元及鈍化氣體控制單元，其中：

氣室，用于盛放需要干燥及預鈍化的零部件；

抽真空單元，用于吸入/排出空氣，使所述氣室處于真空/常壓狀態；

鈍化氣體控制單元，用于在所述氣室處于真空狀態時，向所述氣室內注入鈍化氣體以對零部件進行預鈍化，還用于在預鈍化完成后，所述氣室處于常壓狀態時將所述鈍化氣體排出；

總控制單元，在所述氣室內注入鈍化氣體對零部件進行預鈍化時，用于根據所述氣室內的溫度信息，向所述氣室提供熱量。

2.如權利要求1所述的干燥及預鈍化裝置，其中，所述氣室中盛放的需要干燥及預鈍化的零部件為放電腔中的零部件。

3.如權利要求2所述的干燥及預鈍化裝置，其中，所述鈍化氣體為惰性氣體和鹵素氣體的混合氣體。

4.如權利要求1所述的干燥及預鈍化裝置，其中，所述總控制單元包括溫度傳感器、信號處理及控制器件及加熱元件，其中：

溫度傳感器，用于檢測所述氣室內的溫度信息，并將檢測得到的所述溫度信息傳輸至信號處理及控制器件；

信號處理及控制器件，與所述加熱元件連接，用于根據所述溫度信息，向所述加熱元件發送控制信號以向所述氣室提供熱量，以使所述氣室內的溫度恒定。

5.如權利要求1所述的干燥及預鈍化裝置，其中，所述抽真空單元包括：

抽真空器件，用于吸入/排出空氣，改變所述氣室處于真空/常壓狀態；

真空檢測器件，用于實時監測所述氣室的真空度；

所述抽真空器件包括真空泵或真空閥。

6.如權利要求1所述的干燥及預鈍化裝置，其中，所述鈍化氣體控制單元包括：

進氣閥，用于在所述氣室處于真空狀態時，向所述氣室內注入鈍化氣體；

排氣閥，用于在預鈍化完成后，所述氣室處于常壓狀態時將所述鈍化氣體排出。

7.如權利要求1所述的干燥及預鈍化裝置，其中，所述總控制單元包括氣體循環器件，用于勻化所述氣室中的氣體和溫度；在所述氣室內注入鈍化氣體對零部件進行預鈍化時，所述氣室內的溫度范圍為100℃～150℃。

8.如權利要求1所述的干燥及預鈍化裝置，其中，所述干燥及預鈍化裝置還包括位于氣室中的樣品臺、樣品臺支架及嵌于所述氣室外壁的移動導軌，所述樣品臺通過樣品臺支架置于所述移動導軌上。

9.如權利要求8所述的干燥及預鈍化裝置，其中，所述樣品臺為籃網結構，所述籃網結構包括網格密度不相等的若干單元。

10.如權利要求1所述的干燥及預鈍化裝置，其中，所述氣室的內側壁包括保溫及防腐層，用于防止熱量的散失及所述鈍化氣體對所述氣室側壁的腐蝕；所述氣室的側壁安裝有一密封門，通過所述密封門放置/取出零部件。