[實用新型]石英舟冷卻柜

有效

• 申請號: 201720567149.7
• 申請日: 2017-05-19
• 公開（公告）號: CN206819974U
• 公開（公告）日: 2017-12-29
• 發明（設計）人: 吳俊;張凱勝;姚偉忠
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙)32258
• 代理人: 鄭云

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池片加工技術領域，尤其是涉及一種石英舟冷卻柜。

背景技術

目前太陽電池制程工藝中，在擴散及PDA下片時，需將剛出爐的硅片由250℃降到常溫25℃，現有方式為暴露在車間環境中自然降溫，降至常溫后下片進入下道工序，這種降溫方法的降溫時間長，一輪降溫時間需35分鐘，降溫環境差，硅片容易受污染，造成不良片。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：為了克服現有技術中硅片的降溫方法存在降溫時間長，一輪降溫時間需35分鐘，降溫環境差，硅片容易受污染，造成不良片的問題，提供一種石英舟冷卻柜。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種石英舟冷卻柜，包括柜體，所述柜體包括進風腔室、存風腔室和冷卻腔室，所述進風腔室上開設有進風口，所述進風口內固定安裝有初效過濾器，所述進風腔室內安裝有風機，所述風機的出氣口與所述存風腔室連通，所述存風腔室與所述冷卻腔室平行設置，所述存風腔室與所述冷卻腔室之間開設有吹風口，所述吹風口內固定安裝有高效過濾器，所述冷卻腔室的上方開設有排風口，所述冷卻腔室上開設有若干氣管接口，所述冷卻腔室內設置有壓差表。

本實用新型在使用前，在氣管接口處接入氮氣泵，將裝滿硅片的石英舟放置于冷卻柜中的隔板上，關閉柜門后運行設備，風機啟動，向進風腔室內吸風，進入進風腔室的氣體經風機后進入存風腔室，存風腔室內的氣流由吹風口進入冷卻腔室，氣流經過硅片，帶走硅片熱量，由頂部排風口排出；在進風口設有初效過濾，吹風口設有高效過濾，確保送風清潔。柜體裝有壓差表，用于觀察冷卻腔室內的壓力，在冷卻腔室負壓時，向冷卻腔室內充入氮氣，使冷卻腔室保持正壓。

所述冷卻腔室內固定安裝有若干用于存放石英舟的隔板，將石英舟放置在隔板上，可以放置較多的石英舟，提高本實用新型的冷卻柜的冷卻效率。

所述冷卻腔室柜門的邊框為304不銹鋼，門芯為鋼化玻璃，透明的柜門，便于觀察柜體內的石英舟上硅片的冷卻情況。

為了使柜體具有不同的高度，所述柜體底面的四個角上均固定安裝有可調底腳，使本實用新型的冷卻柜的用途更廣。

所述柜體底面的四個角上均固定安裝有腳輪，柜體底面安裝可以滾動的滾輪，便于移動本實用新型的冷卻柜。

本實用新型的有益效果是:本實用新型的石英舟冷卻柜，在使用前，在氣管接口處接入氮氣泵，將裝滿硅片的石英舟放置于冷卻柜中的隔板上，關閉柜門后運行設備，風機啟動，向進風腔室內吸風，進入進風腔室的氣體經風機后進入存風腔室，存風腔室內的氣流由吹風口進入冷卻腔室，氣流經過硅片，帶走硅片熱量，由頂部排風口排出；在進風口設有初效過濾，吹風口設有高效過濾，確保送風清潔。柜體裝有壓差表，用于觀察冷卻腔室內的壓力，在冷卻腔室負壓時，向冷卻腔室內充入氮氣，使冷卻腔室保持正壓；本實用新型縮短了硅片降溫時間，提供了硅片緩存空間，減少了硅片降溫時所受的污染，減少了不良片的產生。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的主視圖；

圖2是本實用新型的剖視圖。

圖中：1.柜體，2.進風腔室，3.存風腔室，4.冷卻腔室，5.進風口，6.初效過濾器，7.風機，8.吹風口，9.高效過濾器，10.排風口，11.氣管接口，12.隔板，13.邊框，14.門芯，15.可調底腳，16.腳輪。

具體實施方式

現在結合附圖對本實用新型做進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

如圖1所示的一種石英舟冷卻柜，包括柜體1，所述柜體1包括進風腔室2、存風腔室3和冷卻腔室4，所述進風腔室2上開設有進風口5，所述進風口5內固定安裝有初效過濾器6，所述進風腔室2內安裝有風機7，如圖2所示，所述風機7的出氣口與所述存風腔室3連通，所述存風腔室3與所述冷卻腔室4平行設置，所述存風腔室3與所述冷卻腔室4之間開設有吹風口8，所述吹風口8內固定安裝有高效過濾器9，所述冷卻腔室4的上方開設有排風口10，所述冷卻腔室4上開設有若干氣管接口11，所述冷卻腔室4內設置有壓差表，所述冷卻腔室4內固定安裝有若干用于存放石英舟的隔板12，將石英舟放置在隔板12上，可以放置較多的石英舟，提高本實用新型的冷卻柜的冷卻效率。

所述冷卻腔室4柜門的邊框13為304不銹鋼，門芯14為鋼化玻璃，透明的柜門，便于觀察柜體1內的石英舟上硅片的冷卻情況。