[實用新型]一種光學元件面形在位檢測裝置

有效

• 申請號: 201720564756.8
• 申請日: 2017-05-20
• 公開（公告）號: CN206862285U
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 邊心田;程菊;左芬
• 申請（專利權）人: 淮陰師范學院
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 西安銘澤知識產權代理事務所(普通合伙)61223
• 代理人: 俞曉明

技術領域

本實用新型涉及檢測裝置技術領域，具體為一種光學元件面形在位檢測裝置。

背景技術

隨著光學技術的不斷發展，現代光學工業對光學元件表面質量的要求越來越高，尤其是是激光慣性約束聚變驅動器中的大口徑精密光學元件，表面任何種類的缺陷都可能對整個元件的工作產生極強的破壞力，缺陷的散熱效應嚴重影響光束質量，消耗掉大量的能量，缺陷的衍射使得其他元件受到的光強不均勻，當光束強度超過元件的損傷閾值時，會光學元件的損壞，這些缺陷嚴重影響著強激光的傳輸和光學系統的質量，從而影響著整個產品的質量，嚴重時甚至對系統產生致命的損害，所以缺陷檢測已經成為精密元件質量檢測中不可或缺的項目，目前國內對光學面形檢測的方法主要還是傳統的目測法，其方法是利用光的散射特性在暗場照明的條件下使用光學放大鏡或直接用肉眼進行觀察并判斷缺陷的種類、大小和分布，傳統的目測法檢測效率低，主觀性較強，另外，濾波成像法、滿散射光接收法、頻譜接收分析法亦為當前檢測常用的手段，這些方法對面積較小的光學元件檢測有良好的效果，但是不適用于大口徑光學元件的檢測，鑒于上述提到的問題，本實用新型設計一種光學元件面形在位檢測裝置，以解決上述提到的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種光學元件面形在位檢測裝置，以解決上述背景技術中提出的傳統的目測法檢測效率低，主觀性較強，另外，濾波成像法、滿散射光接收法、頻譜接收分析法亦為當前檢測常用的手段，不適用于大口徑光學元件的檢測的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種光學元件面形在 位檢測裝置，包括運動架，所述運動架的左壁頂部設置有橫移電機，所述運動架的前側外壁安裝有縱移電機，所述運動架的內腔頂部橫向設置有橫移直線模組，所述橫移電機的動力輸出端與橫移直線模組的左端連接，所述橫移直線模組的外壁設置有第一滑塊，所述運動架的內腔頂部縱向設置有縱移直線模組，所述縱移電機的動力輸出端與縱移直線模組的底端連接，所述縱移直線模組通過第一滑塊與縱移直線模組連接，所述縱移直線模組的底部滑動連接有第二滑塊，所述第二滑塊的底部安裝有攝像機，所述運動架的內腔底部安裝有工作臺，所述運動架的右側設置有計算機，所述計算機的內腔設置有圖像采集卡，所述工作臺包括第一固定板，所述第一固定板的外壁設置有兩組螺桿，所述第一固定板通過兩組螺桿連接有第二固定板，所述螺桿的外壁頂部螺接有限位螺母，所述第二固定板的底部和第一固定板的頂部均開設有夾槽。

優選的，所述運動架的外壁四周均開設有長槽，所述橫移直線模組的兩端分別貫穿左右兩組長槽，所述縱移直線模組的兩端分別貫穿頂部和底部兩組長槽。

優選的，所述攝像機為CCD攝像機。

優選的，所述第二固定板的外壁開設有兩組螺槽，且兩組螺桿的頂端均貫穿螺槽。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：該種光學元件面形在位檢測裝置，針對大口徑光學元件，通過橫移電機和縱移電機帶動橫移直線模組和縱移直線模組配合運動，從而實現CCD攝像機在平面內以蛇形運行方式對光學元件進行掃描，形成目標圖像，并通過圖像采集卡對攝取的圖像進行采集，解決了對于大口徑光學元件面形檢測的問題，大大減少大口徑光學元件的面形檢測時間，縮短元件的加工周期，檢測過程中穩定性好，檢測精度高。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖2為本實用新型俯視圖；

圖3為本實用新型工作臺俯視圖。

圖中：1運動架、2橫移電機、3縱移電機、4橫移直線模組、5第一滑塊、6縱移直線模組、7第二滑塊、8攝像機、9工作臺、10計算機、11第一固定板、12螺桿、13第二固定板、14限位螺母、15夾槽、16圖像采集卡。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。