[實用新型]一種氣體流量檢測裝置有效
| 申請號： | 201720563606.5 | 申請日： | 2017-05-19 |
| 公開（公告）號： | CN206756405U | 公開（公告）日： | 2017-12-15 |
| 發明（設計）人： | 程晶晶 | 申請（專利權）人： | 武漢新芯集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | G01M3/28 | 分類號： | G01M3/28 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所31272 | 代理人： | 俞滌炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氣體 流量 檢測 裝置 | ||
1.一種氣體流量檢測裝置，應用于控制制程氣體的控制閥門中，所述控制閥門包括一進氣口、一出氣口以及一控制所述制程氣體輸出的閥芯，其特征在于，包括：
輸氣管道，與所述進氣口連接；
流量傳感器，設置于所述輸氣管道上，用以檢測從處于關閉狀態的所述閥芯中泄露出的氣體；
流量處理器，與所述流量傳感器連接；
閥門控制器，與所述閥芯以及所述流量處理器連接；
流量顯示器，與所述流量傳感器連接。
2.根據權利要求1所述的氣體流量檢測裝置，其特征在于，還包括一分流管，所述分流管的兩端與所述輸氣管道連通。
3.根據權利要求2所述的氣體流量檢測裝置，其特征在于，所述流量傳感器包括：
兩組電阻絲，分別繞設于所述分流管上，所述兩組電阻絲通過一第一節點串聯形成一第一支路；
兩個精密電阻，所述兩個精密電阻通過一第二節點串聯形成一第二支路；
所述第一支路和所述第二支路并聯形成一測量電橋；
放大器，所述放大器一端連接于所述第一節點上，另一端連接于所述第二節點上，并進一步與所述流量處理器連接；
電流源，連接于所述第一支路和所述第二支路并聯的并聯節點上。
4.根據權利要求3所述的氣體流量檢測裝置，其特征在于，所述兩組電阻絲分別為熱敏電阻絲。
5.根據權利要求1所述的氣體流量檢測裝置，其特征在于，還包括一報警裝置，所述報警裝置與所述流量處理器連接。
6.根據權利要求2所述的氣體流量檢測裝置，其特征在于，所述分流管由不銹鋼材質制成。
7.根據權利要求5所述的氣體流量檢測裝置，其特征在于，所述報警裝置為蜂鳴器。
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