[實用新型]集成電路和物體有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720557559.3 | 申請日： | 2017-05-18 |
| 公開（公告）號： | CN207338359U | 公開（公告）日： | 2018-05-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | C·里韋羅;P·弗納拉;G·鮑頓;M·利薩特 | 申請（專利權(quán)）人： | 意法半導(dǎo)體(魯塞)公司 |
| 主分類號： | H01L23/488 | 分類號： | H01L23/488;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務(wù)所 11256 | 代理人： | 王茂華;董典紅 |
| 地址： | 法國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 集成電路 物體 | ||
本申請涉及集成電路和物體。提供一種集成電路，包括在半導(dǎo)體襯底上方的大量導(dǎo)電焊盤，該大量導(dǎo)電焊盤分別位于該集成電路的部件區(qū)與該集成電路的第一金屬化層級之間并且包封在絕緣區(qū)中，該大量焊盤包括與相應(yīng)第一部件區(qū)電接觸的第一焊盤以及不與相應(yīng)第二部件區(qū)電接觸的至少一個第二焊盤，以形成至少一個電中斷。根據(jù)本申請的方案，能夠?qū)崿F(xiàn)免受在集成電路的各層的攝影頂視圖的基礎(chǔ)上實施的逆向工程的集成電路和相應(yīng)物體。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型的實施方式和實施例涉及集成電路，并且更具體地涉及保護集成電路免受在集成電路的各層的攝影頂視圖的基礎(chǔ)上實施的逆向工程。
背景技術(shù)
根據(jù)一個實施方式和實施例，提出的是集成電路，如果并非幾乎不可能的話，該集成電路的結(jié)構(gòu)和制造方法使在逆向工程期間使用的自動圖案識別變得復(fù)雜，具體地通過增加提取錯誤率以使得幾乎不可能從布局的頂視圖中提取集成電路的描述(網(wǎng)表)。
在此方面，具體提出的是在集成電路中制造至少一個電中斷，導(dǎo)電焊盤(通常被本領(lǐng)域技術(shù)人員稱為觸點)的底端將部件區(qū)(例如，晶體管源極區(qū)或漏極區(qū))連接至集成電路的互連部分(通常以縮寫的形式被本領(lǐng)域技術(shù)人員稱為BEOL(后段制程))的第一金屬化層級。
實用新型內(nèi)容
因此，根據(jù)一個方面，提出的是一種集成電路，該集成電路包括在半導(dǎo)體襯底上方的大量導(dǎo)電焊盤，該大量導(dǎo)電焊盤分別位于該集成電路的部件區(qū)與該集成電路的第一金屬化層級之間并且包封在絕緣區(qū)中，該大量焊盤包括與相應(yīng)第一部件區(qū)電接觸的第一焊盤以及不與相應(yīng)第二部件區(qū)電接觸的至少一個第二焊盤，以形成至少一個電中斷。
根據(jù)一個實施例，該至少一個第二焊盤完全嵌入在該絕緣區(qū)中，該絕緣區(qū)的一部分位于該至少一個第二部件區(qū)與該至少一個第二焊盤的底端之間。
根據(jù)一個實施例，該至少一個第二焊盤的橫截面大小類似于每個第一焊盤的橫截面大小。
根據(jù)一個實施例，該至少一個第二部件區(qū)包括晶體管的有源區(qū)。
根據(jù)另一方面，提出的是一種包括如上文所限定的集成電路的物體，例如，芯片卡或電子電器(如例如，蜂窩式移動電話或平板計算機)。
根據(jù)本申請的方案，能夠?qū)崿F(xiàn)免受在集成電路的各層的攝影頂視圖的基礎(chǔ)上實施的逆向工程的集成電路和相應(yīng)物體。
附圖說明
本實用新型的其它優(yōu)點和特征將在檢查了實施方式和實施例的詳細(xì)描述后以及從所附附圖變得顯而易見，這些實施方式和實施例決非限制性的，在附圖中：
-圖1展示了現(xiàn)有技術(shù)中的集成電路的示例，
-圖2至圖9示意性地展示了根據(jù)本實用新型的方法的示例以及根據(jù)本實用新型的集成電路的示例，以及
-圖10示意性地展示了根據(jù)本實用新型的芯片卡。
具體實施方式
在圖1中，參考號IC1表示現(xiàn)有技術(shù)中的集成電路的示例。
此集成電路IC1以常規(guī)的方式包括半導(dǎo)體襯底SB以及絕緣區(qū)RIS1，例如，界定襯底區(qū)的淺溝槽隔離(STJ)，在該襯底區(qū)域中例如形成有源部件區(qū)Z1。這些部件在此包括例如晶體管TR，然后，區(qū)域Z1形成這些晶體管的源極區(qū)或漏極區(qū)。
集成電路的部件通過絕緣區(qū)RIS2與第一金屬化層級M1分離，該絕緣區(qū)在此包括例如由SiCN制成的第一絕緣層CS1，該第一絕緣層被例如由材料(比如SiO
部件區(qū)Z1通過通常被本領(lǐng)域技術(shù)人員稱為觸點的第一焊盤PLT1連接至第一金屬化層級M1的金屬軌PST。這些焊盤PLT1是導(dǎo)電的，例如由鎢制成，并且包封在絕緣區(qū)RIS2中。
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