[實用新型]集成芯片測試座及集成芯片測試模組

有效

• 申請號: 201720557476.4
• 申請日: 2017-05-17
• 公開（公告）號: CN206945747U
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發明（設計）人: 方良嫻;蔣偉
• 申請（專利權）人: 深圳凱智通微電子技術有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所44287
• 代理人: 胡海國

技術領域

本實用新型涉及集成芯片測試座領域，特別涉及一種柵格陣列集成芯片測試座及集成芯片測試模組。

背景技術

半導體集成電路裝置從設計到成型要經過一系列的測試，包括集成電路設計原型的驗證測試、晶圓片測試、封裝測試等。目前集成芯片的測試一般采用探針結構測試座，其主要包括測試探針底座、固定探針座及測試探針。傳統的測試探針主要由探針頭、套筒和內部彈簧三部分構成，結構復雜，制作成本高，價格昂貴，并且在反復使用過程中，探針頭與套筒之間會因反復摩擦導致磨損，而對測試探針的維修或更換較為困難，從而增加了測試座的維護成本。

實用新型內容

本實用新型的主要目的是提出一種集成芯片測試座，旨在解決現有的探針結構測試座由于探針結構復雜且在使用過程中易磨損，導致測試座的制作及維護成本較高的技術問題。

為實現上述目的，本實用新型提出的集成芯片測試座，包括：

多個安裝板，沿第一方向固定疊合；任意相鄰的兩所述安裝板之間圍合形成有容置腔，該兩所述安裝板于第二方向上的頂拼接縫處開設有與所述容置腔連通的第一導向槽，且于所述第二方向上的底拼接縫處開設有與所述容置腔連通的第二導向槽，其中，所述第二方向垂直于所述第一方向；以及

多個彈性探針，于所述第二方向可伸縮安置于任意相鄰的兩所述安裝板之間，所述彈性探針包括沿所述第二方向延伸的第一探針部、第二探針部，以及連接所述第一探針部及第二探針部的彈性連接部，所述彈性連接部可伸縮容置于所述容置腔內；所述第一探針部可滑動穿置在所述第一導向槽內，用以接觸印刷電路板；所述第二探針部可滑動穿置在所述第二導向槽內，用以接觸集成芯片。

優選地，所述第一探針部鄰近所述彈性連接部處設有第一凸起，所述第一凸起與所述第一導向槽的內槽口相抵接；所述第二探針部鄰近所述彈性連接部處設有第二凸起，所述第二凸起與所述第二導向槽的內槽口相抵接。

優選地，所述彈性連接部自所述彈性探針的中部背離所述第三方向拱起形成一弓形結構；任意相鄰的兩所述安裝板之間的多個所述彈性探針沿所述第三方向排列，且各個所述容置槽內的多個所述彈性探針的弓形結構的開口朝同一方向設置。

優選地，任意兩相鄰的所述安裝板中，一所述安裝板背向所述第一方向的一面開設有凹槽，所述凹槽與另一所述安裝板朝向所述第一方向的一面圍合形成所述容置腔。

優選地，所述第二探針部的自由端朝向所述第二方向凹陷形成爪頭。

優選地，所述集成芯片測試座還包括固定連接的第一蓋板及第二蓋板，所述第一蓋板與所述安裝板背離所述第一方向的一側相貼合；所述第二蓋板與所述安裝板朝向所述第一方向的一側相貼合。

優選地，所述集成芯片測試座還開設有多個貫通所述第一蓋板、所述安裝板及所述第二蓋板的固定孔，所述集成芯片測試座還包括緊固件，所述緊固件穿入所述固定孔用以固定連接所述第一蓋板、所述第二蓋板及夾置于所述第一蓋板和所述第二蓋板之間的多個所述安裝板。

為實現上述目的，本實用新型還提出一種集成芯片測試模組，包括：

固定板，開設有多個沿所述第二方向貫通的安裝槽；以及所述集成芯片測試座，一一對應容置于所述安裝槽中。

優選地，所述集成芯片測試座具有位于所述第二方向上的頂面及底面，以及位于所述頂面及所述底面之間的相對的兩側面，兩所述側面與所述底面的連接處分別形成有凹部，所述凹部具有朝向所述第二方向的臺階面；所述安裝槽朝向所述第二方向的內壁面設有限位凸起，所述限位凸起與所述臺階面相抵接。

優選地，所述集成芯片測試座還包括固定連接的第一蓋板及第二蓋板，所述第一蓋板與所述安裝板背離所述第一方向的一側相貼合；所述第二蓋板與所述安裝板朝向所述第一方向的一側相貼合。

所述第一蓋板包括第一蓋合部及第一定位部，所述第一定位部凸設于所述第一蓋合部背離所述第一方向的一側，所述第一定位部設有沿所述第二方向貫通的定位槽，所述安裝槽朝向所述第一方向的內壁面凸設有與所述定位槽適配的定位鍵。