[實用新型]一種石英舟

有效

• 申請號: 201720554564.9
• 申請日: 2017-05-18
• 公開（公告）號: CN206916257U
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發明（設計）人: 郭新峰;黨繼東;費正洪;楊健;張家祥;嚴健
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號: C30B31/14
• 分類號: C30B31/14;H01L31/18
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 胡彬

1.一種石英舟，其特征在于，包括：

石英舟本體(1)，所述石英舟本體(1)包括相對設置的兩塊側板(11)，兩塊所述側板(11)之間設置有底部支撐桿(12)；及

固定邊框(2)，所述固定邊框(2)與所述底部支撐桿(12)連接，硅片(3)卡入所述固定邊框(2)的內部，且所述硅片(3)的側壁與所述固定邊框(2)的內壁抵接，以覆蓋所述硅片(3)的側壁。

2.如權利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述固定邊框(2)包括頂封(21)和底座(22)，所述頂封(21)和所述底座(22)配合并可拆卸連接，所述底部支撐桿(12)位于所述底座(22)的下方并與所述底座(22)固定。

3.如權利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述底部支撐桿(12)與所述底座(22)中的一個設置有定位凸起、另一個設置有定位槽，所述定位凸起與所述定位槽配合，以實現所述底座(22)與所述底部支撐桿(12)的固定。

4.如權利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述固定邊框(2)與所述底部支撐桿(12)垂直設置，兩塊所述側板(11)之間還設置有兩個側部支撐桿(13)，所述固定邊框(2)位于兩個所述側部支撐桿(13)之間，所述側部支撐桿(13)與所述固定邊框(2)的側壁抵接。

5.如權利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述頂封(21)和所述底座(22)均為U型結構，所述頂封(21)和所述底座(22)插接固定。

6.如權利要求5所述的石英舟，其特征在于，所述頂封(21)的側壁的內表面設置第一U型槽(211)，所述第一U型槽(211)朝向所述底座(22)的端部設置有第一缺口(212)，所述底座(22)的側壁的內表面設置有第二U型槽(221)，所述第二U型槽(221)朝向所述頂封(21)的端部設置有第二缺口(222)，所述第一缺口(212)和所述第二缺口(222)配合，以實現所述頂封(21)和所述底座(22)插接固定；所述第二U型槽(221)和所述第一U型槽(211)形成限位槽，所述限位槽用于容置所述硅片(3)的邊緣。

7.如權利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述頂封(21)和所述底座(22)中的一個設置有連接部、另一個設置有連接孔，所述連接部伸入所述連接孔內，以實現所述頂封(21)和所述底座(22)的可拆卸連接。

8.如權利要求7所述的石英舟，其特征在于，所述固定邊框(2)沿內壁環設有限位槽，所述限位槽用于容置所述硅片(3)的邊緣。

9.如權利要求6或8所述的石英舟，其特征在于，所述限位槽的寬度為0.4mm-0.6mm。

10.如權利要求1-8任一項所述的石英舟，其特征在于，所述固定邊框(2)內設置兩片所述硅片(3)，兩片所述硅片(3)側壁與所述固定邊框(2)的內壁抵接。