[實用新型]可自動啟閉外蓋的基板容器結構有效
| 申請號: | 201720554509.X | 申請日: | 2017-05-18 |
| 公開(公告)號: | CN206742212U | 公開(公告)日: | 2017-12-12 |
| 發明(設計)人: | 黃世欽;李嘉齡 | 申請(專利權)人: | 中勤實業股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京匯智英財專利代理事務所(普通合伙)11301 | 代理人: | 鄭玉潔 |
| 地址: | 中國臺灣桃*** | 國省代碼: | 臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 自動 啟閉 容器 結構 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種可自動啟閉外蓋的基板容器結構,特別是指在盒體與外蓋間設有外蓋啟閉機構,使放置在工作站或機臺的臺面上時,可自動開啟其外蓋的結構。
背景技術
在現今的高科技產業中,有許多精密產品的制造都是由各種基板為最初始的素材開始制作的。例如半導體集成電路制造過程中所使用的硅芯片。由于這些基板通常都十分薄而易碎,同時又需時時保持其表面的潔凈,因此在搬運時大多是放入基板傳送盒等專用的基板容器內,再利用這些專用的基板容器來進行搬送。
但,為了同時滿足高科技產業潔凈度、可靠度及高度自動化的需求,目前許多基板容器的外蓋都需要使用專用的設備來進行開啟或關閉,因此大幅增加了設備建置的成本。同時,也由于這些現有的基板容器結構主要是為了配合這些自動化設備而設計的,因此當需要采取人工操作時,操作人員又需要使用特殊的工具才能開啟或關閉這些基板容器的外蓋。如此一來,不僅又會使得相關產業再增加購置這些特殊工具的成本,并且也造成操作人員作業上的不便。這些問題,都是目前相關產業所極欲改進及克服的問題。
實用新型內容
有鑒于此,本發明人本于多年從事相關產品的制造開發與設計經驗,針對上述的目標,詳加設計與審慎評估后,終得一確具實用性的本實用新型。
本實用新型的主要目的,在于提供一種可自動啟閉外蓋的基板容器結構,以使基板容器被放置于特定的操作位置,例如半導體制程中的工作站或各種機臺的臺面上時,可自動開啟其外蓋,而不需使用特別的外蓋開關設備或工具。如此除了可以大幅節省昂貴的設備成本之外,還可簡化基板的取放過程。
為達到上述目的,本實用新型提供一種可自動啟閉外蓋的基板容器結構的第一實施例,包括:一盒體;一外蓋;以及一外蓋啟閉機構。該盒體內具有一容置空間,并在該盒體的前端設有一前開口;該外蓋可開啟地設于該前開口處,且與該前開口相對應以密閉蓋合于該前開口;該外蓋啟閉機構包括:至少一壓桿,各壓桿可轉動或滑動地設于該盒體一側邊的一安裝機構,令該盒體被放置于一設有至少一與該壓桿外側端對應的頂推部的操作位置時,該壓桿的該外側端受到對應的該頂推部的頂推;至少一連動桿,其與該壓桿呈一對一對應設置,且各連動桿通過其桿體兩端間的一轉軸而樞設于該盒體的一側,該連動桿一端樞接于對應的該壓桿內側端;及至少一傳動件,其與該連動桿呈一對一對應設置,且各傳動件的一端與對應的該連動桿未連接該壓桿的一端連接,而該傳動件的另一端則與該外蓋相接。
借此,當組成的基板容器的該盒體被放置到該操作位置時,該壓桿因該外側端受到該頂推部的頂推而轉動或向該盒體內側動作,同時利用杠桿原理而推動該連動桿轉動,進而帶動該傳動件動作,再連帶帶動該外蓋動作以開啟該前開口;當該盒體被移離該操作位置而使該外側端不再受到該頂推部的頂推時,該壓桿、該連動桿、該傳動件及該外蓋則自動恢復至該外蓋關閉狀態時的位置。
為達到上述目的,本實用新型另外提供一種可自動啟閉外蓋的基板容器結構,包括:一盒體;一外蓋;以及一外蓋啟閉機構。該盒體內具有一容置空間,并在該盒體的前端設有一前開口;該外蓋可開啟地設于該前開口處,且與該前開口相對應以密閉蓋合于該前開口;該外蓋啟閉機構包括:至少一壓桿,各壓桿可轉動或滑動地設于該盒體一側邊的一安裝機構,令該盒體被放置于一設有至少一與該壓桿外側端對應的頂推部的操作位置時,該壓桿的該外側端受到對應的該頂推部的頂推;至少一第一連動桿,其與該壓桿呈一對一對應設置,且各第一連動桿通過其桿體兩端間的一第一轉軸而樞設于該盒體的一側,該第一連動桿一端樞接于對應的該壓桿內側端;及至少一第二連動桿,其與該第一連動桿呈一對一對應設置,且各第二連動桿通過其桿體兩端間的一第二轉軸而樞設于該盒體的一側,且該第二連動桿一端樞接于對應的該第一連動桿未與該壓桿連接的一端,另一端則樞接于該外蓋靠近底端處。
借此,當組成的基板容器的該盒體被放置到該操作位置上時,該壓桿因該外側端受到該頂推部的頂推而轉動或向該盒體內側動作,同時推動該第一連動桿再帶動該第二連動桿轉動,然后通過該第二連動桿驅使該外蓋動作以開啟前開口;當該盒體被移離該操作位置而使該外側端不再受到該頂推部的頂推時,該壓桿、該第一連動桿、該第二連動桿及該外蓋則自動恢復至該外蓋關閉狀態時的位置。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





