[實用新型]磷雜質清理器

有效

• 申請號: 201720549827.7
• 申請日: 2017-05-18
• 公開（公告）號: CN206779004U
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發明（設計）人: 耿偉建;陳雄
• 申請（專利權）人: 無錫邑文電子科技有限公司
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04;B08B13/00
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙)32104
• 代理人: 曹祖良,屠志力

技術領域

本實用新型涉及一種雜質清理工具，尤其是一種磷雜質清理器。

背景技術

由于在分子泵清理保養的時候，有時候會遇到分子泵腔體內以及底座槽內會堆積磷雜質，在普通的清理過程中，有直接用工具刮鏟或者用打磨等其他方法，以上這些方法都會使磷雜質燃燒，因為磷的燃點很低。

普通的清理工具不僅耗費時間和人力，而且由于清理時的剮蹭會使分子泵的溫度升高很容易發生磷的燃燒，造成二次污染，復雜清理流程。

發明內容

針對現有技術中存在的不足，本實用新型提供一種磷雜質清理器，可以方便的清理磷雜質，防止磷雜質燃燒，避免清理中斷浪費時間。本實用新型采用的技術方案是：

一種磷雜質清理器，包括電鉆、清潔布、管道、可調節閥門、容器；

所述電鉆包括一個鉆頭，在鉆頭上纏繞清潔布；清潔布需要完全包裹鉆頭前端；

在電鉆上安裝一個用于盛放冷卻液體的容器；管道的一端連接在容器底部，另一端向鉆頭前端方向延伸；管道的前端相對于鉆頭的前端后縮進；

在管道上設置一個可調節閥門，用于調節冷卻液體的流量。

進一步地，鉆頭前端的清潔布包裹成一個圓形頭。

進一步地，容器內盛放有雙氧水。

進一步地，容器固定在電鉆本體的上方。

本實用新型的優點在于：本實用新型提供了一種清理分子泵的工具，對于需要清理的磷雜質，可以很好的阻止清理時的反應情況，并且對于清理不同的雜質，可以添加不同的液體，提高清理的效率和清潔度。

本實用新型高效、有針對性的完成清理工作，效果明顯；防止清理時二次污染，保護清理人員和分子泵。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構組成示意圖。

具體實施方式

下面結合具體附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。

如圖1所示，本實用新型提供的磷雜質清理器，包括電鉆1、清潔布2、管道3、可調節閥門4、容器5；

所述電鉆1包括一個鉆頭101，在鉆頭101上纏繞清潔布2；選用的清潔布是不容易生熱的清潔布，鉆頭101前端的清潔布2包裹成一個圓形頭，可以方便對分子泵腔體進行清潔，且避免損壞泵體內表面；

在電鉆1上安裝一個用于盛放冷卻液體的容器5，容器5可固定在電鉆1本體的上方；管道3的一端連接在容器5底部，另一端向鉆頭101前端方向延伸；管道3的前端相對于鉆頭101的前端略微后縮進，避免管道3前端觸及分子泵腔體內壁；

在管道3上設置一個可調節閥門4，用于調節冷卻液體的流量；在使用時，容器5內盛放雙氧水；

在對分子泵清理時，先在容器5內注入雙氧水，然后適當調節可調節閥門4，使得雙氧水流量合適，開啟電鉆1，一邊用鉆頭101帶動清潔布2旋轉對分子泵清理，一邊可以降溫；雙氧水既起到降溫作用，又方便清潔分子泵內的雜質；

上述過程不僅可以將分子泵清理的干凈而且可以防止燃燒，避免清理中斷浪費時間，或者由于磷雜質燃燒產生新的雜質。

容器5內添加其它的液體，還可以針對其它類型的雜質進行清理，提高清理的效率和清潔度。