[實用新型]一種低輪廓柔性線路板材料的生產設備

有效

• 申請號: 201720543610.5
• 申請日: 2017-05-17
• 公開（公告）號: CN207047319U
• 公開（公告）日: 2018-02-27
• 發明（設計）人: 張燕聰;張燕華;陳昌服
• 申請（專利權）人: 福建新崳高新柔性材料有限公司
• 主分類號: C23C28/02
• 分類號: C23C28/02;C23C14/56;C25D3/38;C25D5/48
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及電子行業領域，特別是一種低輪廓柔性線路板材料的生產設備。

背景技術

柔性線路板材料的生產方法有濺鍍法、涂布法、層壓法等多種方法，其中磁控濺鍍法和蒸鍍法是公認的環保綠色生產導電帶的方法。蒸鍍法生產導電帶效率很高但金屬附著力較差，有些產品不能滿足使用要求；濺射法生產導電帶金屬附著力好但生產效率低，有時還需要進行金屬層電鍍增厚才能達到要求。隨著科技的不斷發展，單一的蒸鍍法或磁控濺射法已經無法滿足實際生產的要求。實用新型專利 CN201420841569.6公開了一種磁控濺射電子束蒸鍍系統，將磁控濺射和電子束蒸鍍聯合使用，有效地提高了研究人員的生產科研效率。但是，此實用新型僅適用于科學研究或鍍膜樣品的生產，無法規模化大批量生產，不能滿足社會生產的要求。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種可以高效率規模化生產，同時產品質量有保障的低輪廓柔性線路板材料的生產設備。

一種低輪廓柔性線路板材料的生產設備，包括鍍膜設備和后期處理設備；所述鍍膜設備包括鍍膜機體殼，鍍膜機體殼內通過隔板分割之后，由上至下形成前處理室、磁控濺射室以及蒸鍍室；在鍍膜機體殼內還設有繞卷裝置和冷卻裝置，其中繞卷裝置貫穿前處理室和磁控濺射室；所述磁控濺射室內設有磁控濺射靶裝置，所述蒸鍍室內設有蒸發裝置；所述前處理室、磁控濺射室以及蒸鍍室均外接有一個抽真空裝置；所述后期處理設備包括放料裝置、前處理槽、第一級電鍍銅槽、第二級電鍍銅槽、水洗槽、抗氧化處理槽、烘干箱、收料裝置。

進一步的，所述繞卷裝置包括放料輥、冷輥、收料輥；冷輥貫穿前處理室、磁控濺射室，冷輥內設有冷卻機。

進一步的，所述前處理室內的一側設有紅外加熱器和等離子體設備。

進一步的，所述冷卻裝置包括深冷捕集器、坩堝用水冷機以及循環冷卻水回路；所述前處理室、磁控濺射室以及蒸鍍室各設有一個深冷捕集器。

進一步的，所述蒸發裝置由蒸發坩堝和加熱器組成，加熱器是電阻加熱源、高頻感應加熱源或電子束加熱源中的一種。

本實用新型提供的一種低輪廓柔性線路板材料的生產設備，優異之處在于：1、適用的基材種類多，可滿足不同使用要求；2、能有效的提高到導電膜層的附著力，滿足高附著力要求產品的需要；3、實現零排放、無污染的清潔生產，滿足安全生產、綠色環保的要求；4、可實現磁控濺射鍍膜與蒸發鍍膜有機結合，濺射鍍膜與蒸發鍍膜一次完成，不需要打開真空室進行二次操作，實現基材單面金屬化處理的連續化生產，大幅提高生產效率，降低生產成本，實現柔性線路板材料的產業化。5、本實用新型生產的柔性線路板材料具有低輪廓性， Rz＜1.5um，滿足線路板行業高頻高速發展需求。

附圖說明

圖1為本實用新型一種低輪廓柔性線路板材料的生產設備的鍍膜設備結構示意圖；

圖2為本實用新型一種低輪廓柔性線路板材料的生產設備的后期處理設備結構示意圖。

具體實施方式

以下通過特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本實用新型的其他優點與功效。本實用新型還可以通過另外不同的具體實施方式加以實施或應用。

如圖1-2所示，一種低輪廓柔性線路板材料的生產設備，包括鍍膜設備和后期處理設備。所述鍍膜設備包括鍍膜機體殼，鍍膜機體殼內通過隔板7分割之后，由上至下形成前處理室1、磁控濺射室2以及蒸鍍室3。在鍍膜機體殼內還設有繞卷裝置和冷卻裝置，其中繞卷裝置貫穿前處理室1和磁控濺射室2。所述磁控濺射室2內設有磁控濺射靶裝置20，所述蒸鍍室內3設有蒸發裝置30；所述前處理室1、磁控濺射室2以及蒸鍍室3均外接有一個抽真空裝置5。所述后期處理設備包括放料裝置80、前處理槽81、第一級電鍍銅槽82、第二級電鍍銅槽83、水洗槽84、抗氧化處理槽85、烘干箱86、收料裝置 87。

具體的，繞卷裝置包括放料輥40、冷輥41、收料輥42，冷輥41 貫穿前處理室1、磁控濺射室2，冷輥41內設有冷卻機。前處理室1 內的一側設有紅外加熱器10和等離子體設備11。冷卻裝置包括深冷捕集器6、坩堝用水冷機以及循環冷卻水回路。所述前處理室1、磁控濺射室2以及蒸鍍室3各設有一個深冷捕集器6。蒸發裝置30由蒸發坩堝和加熱器組成，加熱器是電阻加熱源、高頻感應加熱源或電子束加熱源中的一種。

具體的，本實用新型一種低輪廓柔性線路板材料的生產設備通過以下步驟進行生產。