[實用新型]一種分子泵

有效

• 申請號: 201720540557.3
• 申請日: 2017-05-16
• 公開（公告）號: CN207004861U
• 公開（公告）日: 2018-02-13
• 發明（設計）人: 陳博昊;張智明
• 申請（專利權）人: 四川九天真空科技股份有限公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D25/06;F04D29/053;F04D29/32
• 代理公司: 北京華旭智信知識產權代理事務所(普通合伙)11583
• 代理人: 趙文靜

技術領域

本實用新型屬于本實用新型屬于流體機械技術領域，尤其是應用于真空泵中，具體是涉及一種分子泵。

背景技術

在做機械運動的各類真空泵中，分子泵是一種結構縝密，工藝要求高的泵，其原理是靠高速運動的剛體表面傳遞給氣體分子以動量，使氣體分子在剛體表面的運動方向上產生定向流動，從而達到抽氣的目的。

渦輪分子泵是由一系列動靜相間的葉輪互相配合組成。每個葉輪的葉片與葉輪水平面成一定角度，動片和靜片傾角方向相反。主軸120帶動葉輪150在靜止的定葉片間高速旋轉，高速旋轉的葉片和鼓桶等表面將動量傳遞給氣體分子并使其產生定向運動，實現抽氣目的。

分子泵的轉子因為要具有極高的線速度，在運動中受離心力極大，對材料強度要求較高，隨著分子泵轉速的要求越來越高，轉子所承受的離心力也越來越大，較軟的鋁合金已經逐漸無法滿足強度要求，且抗腐蝕性差。同時分子泵大多使用機械軸承和磁軸承，機械軸承需要潤滑，無可避免的帶來有機物的污染，而且轉速受到機械軸承的制約，同時使用磁軸承的分子泵受到轉子一階模態的限制事實上極限轉速并沒有超過機械軸承，受到限制的轉速導致分子泵轉子齒尖的線速度200-300m/s遠小于分子常溫熱運動速度(500-1200m/s),壓縮比和極限真空也受到了限制。

實用新型內容

為了解決以上問題，本實用新型提供以下技術方案：

一種分子泵，包括，

泵體，包括：主泵體和兩個泵殼，所述兩個泵殼分別對稱的固定在主泵體的上、下側，每個泵殼均設有一個泵口，分別為進氣口和排氣口，主泵體上部設置有上電機座安裝部；

上電機座，固定至所述上電機座安裝部上；

主軸，為鏡向對稱結構，從上至下依次包括：動葉輪安裝部、安全軸承接觸部、電機轉子安裝部，所述主軸的中心軸線與所述泵體的中心線共線；

上、下安全軸承，主軸通過安全軸承接觸部與上、下安全軸承的配合，由此可旋轉的設置在所述泵體內；

上、下安全軸承座，上安全軸承座固定至上電機座，下安全軸承座固定至主泵體的下方；

上、下動葉輪，設于所述泵體內,并分別固定連接至所述主軸兩端的動葉輪安裝部上，與所述主軸形成軸系轉子，其中所述動葉輪的軸線與所述主軸的中心軸線共線；

上、下靜葉片組，分別包括與所述上、下動葉輪交替配合設置的多層靜葉片；

電機，包括上、下電機定子及上、下電機轉子，所述電機轉子固定套設于所述主軸的電機轉子安裝部上，與所述軸系轉子聯動設置，所述上、下電機定子套在所述電機轉子外側。

進一步地，所述動葉輪包括本體及多層動葉片，所述多層動葉片在本體外周沿軸向依次布設，所述動葉片的層數與靜葉片的層數相應，所述動葉片與所述靜葉片沿軸向交替排列；

進一步地，所述動葉片由鈦合金材料制成。

進一步地，所述分子泵還包括上、下定位環組，分別設置在上、下泵殼的內側壁，其包括多層定位環，所述定位環的層數與靜葉片的層數相應，每層定位環具有容納靜葉片的定位凹槽，槽深與靜葉片厚度相同。

進一步地，所述分子泵還包括上、下調整環，所述上調整環設置在上定位環組與主泵體之間，所述下調整環設置在下定位環組之間，所述上、下調整環具有可調節的軸向尺寸，用于調節定位環的軸向位置。

進一步地，主軸還包括位于中間部位的Z軸位置控制盤，所述主泵體和所述上電機座分別包括z軸位置控制盤安裝部，用于安裝所述Z軸位置控制盤，所述Z軸位置控制盤包括設置在其上的Z軸磁體與Z軸位置傳感器。

進一步地，所述Z軸位置傳感器為一組對稱的霍爾位移傳感器。

進一步地，所述分子泵還包括上、下XY軸位移傳感器，所述上電機座和所述主泵體上分別設置有一組XY軸位移傳感器安裝部，所述上、下XY軸位移傳感器分別通過所述上電機座和所述主泵體上的XY軸位移傳感器安裝部固定在主軸周圍，且所述上、下XY軸位移傳感器的中心線互相垂直。

進一步地，所述上、下XY軸位移傳感器均為一組對稱霍爾位移傳感器。

進一步地，所述上、下電機定子均具有轉矩繞組和懸浮繞組，且懸浮繞組的極對數(P1)和轉矩繞組的極對數(P2)滿足P2＝P1±1。