[實用新型]一種透射率分布測量系統

有效

• 申請號: 201720539728.0
• 申請日: 2017-05-15
• 公開（公告）號: CN207066987U
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發明（設計）人: 馬驊;楊一;原泉;任寰;張霖;石振東;馬玉榮;陳波;楊曉瑜;柴立群
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: G01N21/59
• 分類號: G01N21/59
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙)11371
• 代理人: 宋南

1.一種透射率分布測量系統，其特征在于，包括出光裝置、平移臺、成像裝置以及控制裝置，所述平移臺用于放置待測樣品，所述平移臺位于所述出光裝置與所述成像裝置之間，所述成像裝置與所述控制裝置耦合；

當待測樣品置于所述平移臺上時，所述出光裝置發出的探測光束入射到所述待測樣品的待測區域，透過所述待測樣品的探測光束入射到所述成像裝置，在所述成像裝置中所成的像被轉換為電信號發送給所述控制裝置；

所述控制裝置用于根據所述電信號得到所述待測區域的透射圖像，根據所述透射圖像及基準圖像得到所述待測樣品的待測區域的透射率分布數據，其中，所述基準圖像為所述成像裝置采集的所述出光裝置發出的探測光束的圖像。

2.根據權利要求1所述的透射率分布測量系統，其特征在于，所述出光裝置包括光源和光束調整模塊，所述光源發出的初始光束經所述光束調整模塊調整為滿足預設條件的所述探測光束后入射到所述待測樣品的待測區域。

3.根據權利要求2所述的透射率分布測量系統，其特征在于，所述光源為激光器，所述光束調整模塊包括勻光片，所述激光器發出的激光光束入射到所述勻光片，經所述勻光片處理為預設尺寸的均勻光束作為所述探測光束入射到所述待測樣品。

4.根據權利要求3所述的透射率分布測量系統，其特征在于，所述光束調整模塊還包括分光器和穩功儀，所述穩功儀與所述激光器耦合，所述分光器設置于所述激光器與所述勻光片之間，所述激光器發出的激光光束入射到所述分光器，經所述分光器分出的一部分所述激光光束入射到所述勻光片，另一部分所述激光光束入射到所述穩功儀，所述穩功儀用于根據接收到的激光光束控制所述激光器的輸出功率。

5.根據權利要求2所述的透射率分布測量系統，其特征在于，所述光源為面陣LED。

6.根據權利要求2所述的透射率分布測量系統，其特征在于，所述光束調整模塊包括濾光片，所述光源發出的光束經過所述濾光片后形成的所述探測光束入射到所述待測樣品的待測區域。

7.根據權利要求2所述的透射率分布測量系統，其特征在于，所述光束調整模塊包括光闌，所述光源發出的光束入射到所述光闌，通過所述光闌的通光孔的光束作為所述探測光束入射到所述待測樣品。

8.根據權利要求1所述的透射率分布測量系統，其特征在于，所述成像裝置為CCD圖像傳感器陣列。

9.根據權利要求1所述的透射率分布測量系統，其特征在于，所述平移臺為電動平移臺，所述電動平移臺與所述控制裝置耦合。

10.根據權利要求1所述的透射率分布測量系統，其特征在于，所述探測光束為能量分布均勻的平行光束。