[實用新型]導氣裝置、真空腔和真空等離子體設備有效
| 申請號： | 201720539579.8 | 申請日： | 2017-05-16 |
| 公開（公告）號： | CN206948695U | 公開（公告）日： | 2018-01-30 |
| 發明（設計）人： | 季文竹;彭帆 | 申請（專利權）人： | 上海稷以科技有限公司 |
| 主分類號： | H05H1/24 | 分類號： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 上海立群專利代理事務所(普通合伙)31291 | 代理人： | 侯莉 |
| 地址： | 200241 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 裝置 空腔 真空 等離子體 設備 | ||
1.一種導氣裝置，包括導氣桿(4)，所述導氣桿(4)設置于真空等離子體設備的真空腔(1)內，其特征在于：
所述導氣桿(4)的外殼圍合形成中空腔體，端部設置有氣體入口(3)，所述外殼上還開有若干個導氣孔(4a)；
所述氣體入口(3)與所述真空腔(1)的進氣孔(2)相連通；
氣體經所述進氣孔(2)和所述氣體入口(3)進入所述中空腔體內，通過所述導氣孔(4a)進入所述真空腔(1)，再從所述真空腔(1)的抽氣口(5)中流出。
2.根據權利要求1所述的導氣裝置，其特征在于：所述進氣孔(2)有兩個且分別位于所述真空腔(1)的兩側，所述導氣桿(4)的兩端都設置有氣體入口(3)，且這兩個氣體入口(3)與所述進氣孔(2)一一對應地相連通。
3.根據權利要求1所述的導氣裝置，其特征在于：所述導氣孔(4a)在所述外殼的表面上等距間隔設置。
4.根據權利要求1所述的導氣裝置，其特征在于：所述導氣桿(4)上的各個所述導氣孔(4a)朝向可調。
5.根據權利要求4所述的導氣裝置，其特征在于：所述導氣桿(4)能夠以自身軸線為旋轉軸旋轉，從而調節所述導氣孔(4a)的朝向。
6.根據權利要求1所述的導氣裝置，其特征在于：所述導氣孔(4a)正對所述抽氣口(5)的所在方向。
7.根據權利要求1所述的導氣裝置，其特征在于：所述導氣桿(4)包括主路(4b)和從所述主路(4b)分出的至少兩條支路(4c)；
所述氣體入口(3)位于所述主路(4b)的端部，所述導氣孔(4a)分布在所述支路(4c)的表面上。
8.根據權利要求7所述的導氣裝置，其特征在于：所述各條支路(4c)等距間隔設置。
9.根據權利要求7所述的導氣裝置，其特征在于：所述各條支路(4c)向著背向所述抽氣口(5)的方向彎曲并形成弧形。
10.根據權利要求9所述的導氣裝置，其特征在于：所述各條支路(4c)都位于以所述抽氣口(5)為球心，所述支路(4c)到所述抽氣口(5)的距離為半徑的同一個球面上。
11.一種真空腔，由腔體壁圍合而成，所述真空腔(1)上形成有進氣孔(2)和抽氣口(5)；
其特征在于：
所述真空腔(1)內設置有權利要求1至10中任意一項所述的導氣裝置，其中，所述氣體入口(3)與所述進氣孔(2)相連通。
12.一種真空等離子體設備，其特征在于，包括權利要求11所述的真空腔(1)。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海稷以科技有限公司，未經上海稷以科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201720539579.8/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
