[實用新型]一種用于檢測蒸發器蒸發量的晶振探頭

有效

• 申請號: 201720537627.X
• 申請日: 2017-05-15
• 公開（公告）號: CN206772938U
• 公開（公告）日: 2017-12-19
• 發明（設計）人: 向勇;孫力;曹德
• 申請（專利權）人: 成都西沃克真空科技有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00;G01B17/02
• 代理公司: 成都新驅科為知識產權代理事務所(普通合伙)51251
• 代理人: 成實

技術領域

本實用新型涉及一種用于檢測蒸發器蒸發量的晶振探頭，具體是指一種用于檢測蒸發器蒸發量的晶振探頭。

背景技術

阻蒸鍍膜一般是通過加熱靶材使其表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來，并且使靶材的原子團或離子沉降在基片表面，通過成膜過程(散點－島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。而阻蒸鍍膜時基片的鍍膜厚度是否均勻取決于以下幾個方面：(a)基片材料與靶材的晶格匹配程度；(b)基片表面溫度；(c)蒸發功率、速率；(d)真空度；(e)鍍膜時間、鍍膜厚度大小等因素。其中，影響基片的鍍膜厚度是否均勻最主要的因素是鍍膜時間。目前許多科研單位為了能準確的對鍍膜時間進行控制，便采用了晶振探頭對靶材蒸發量進行檢測，以便于對鍍膜時間進行控制。

然而，現有的晶振探頭多為一位式晶振探頭，該一位式晶振探頭在連續的對阻蒸器的靶材蒸發量進行檢測時，因晶振探頭內的晶振片被反復的污染而容易出現晶振頻率不穩定的問題，導致晶振探頭無法對靶材蒸發量進行準確的檢測，致使基片的鍍膜厚度不均勻，從而嚴重的影響了基片的鍍膜質量。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有的一位式晶振探頭在連續的對蒸發器的靶材蒸發量進行檢測時，因晶振探頭內的晶振片被反復的污染而容易出現晶振頻率不穩定的缺陷，提供一種用于檢測蒸發器蒸發量的晶振探頭。

本實用新型的目的通過下述技術方案現實：一種用于檢測蒸發器蒸發量的晶振探頭，主要由前端主體，通過連接體連接在前端主體上的后端主體，以及設置在前端主體上的晶振盒組成；其特征在于，在連接體上設置有驅動電機；所述晶振盒包括承載體，設置在承載體上的檢測組件，以及與檢測組件相連接的信號傳輸組件；所述驅動電機的轉軸與檢測組件相連接。

所述檢測組件包括設置在承載體上的晶片承接臺，和設置在晶片承接臺上的晶振片，所述晶片承接臺與驅動電機相連接，所述晶振片的數量為2個以上；所述信號傳輸組件包括與晶片承接臺相配合的三爪絕緣背板，設置在三爪絕緣背板上且與晶振片相配合的三爪片，以及與三爪片相連接的三爪背板；所述三爪絕緣背板通過螺栓連接在晶片承接臺上。

所述驅動電機的轉軸上設置有用于控制驅動電機轉動角度的編碼器，該驅動電機的轉軸上還設置有用于調節驅動電機轉速的變速器；所述驅動電機通過變速器和連接軸與晶片承接臺相連接。

所述承載體上設置有貫穿其底部的檢測孔；所述晶片承接臺上設置有用于安裝晶振片的凹槽，且該凹槽底部設置有與檢測孔相對應的通孔。

所述三爪絕緣背板上設置有與晶片承接臺相對應的安裝槽，且該安裝槽上設置有貫穿其底部的安裝孔；所述三爪片設置在三爪絕緣背板的安裝槽內，所述三爪背板則設置在三爪絕緣背板的安裝孔內，所述三爪片通過螺釘與三爪背板相連接。

所述連接體上設置了安裝口和安裝支臂，所述驅動電機安裝在的安裝支臂上，所述變速器則安裝在連接體上的安裝孔內。

所述前端主體內還設置有屏蔽線，該屏蔽線的一端通過接頭連接在連接體上、另一端通過接線座前端主體上；所述前端主體上還設置有與接線座電連接的彈簧探針，該彈簧探針的探針貫穿前端主體后與三爪背板相連接。

所述后端主體上設置有與接頭電連接的接口；所述編碼器的信號輸出接口設置在后端主體的外側；所述后端主體上設置有進水接頭和出水接頭。

所述前端主體的前端還設置有用于冷卻晶振盒的水冷腔，該水冷腔通過水管分別與進水接頭和出水接頭相連接。

所述晶片承接臺上設置有用于安裝連接軸的軸套，該連接軸通過螺釘固定在軸套內；所述軸套外側設置有固定三爪背板的定位銷；所述三爪絕緣背板上設置有與定位銷相配合的卡槽；所述前端主體外側上還設置有用于固定前端主體的安裝法蘭。

本實用新型與現有技術相比具有以下優點及有益效果：

(1)本實用新型的檢測組件的晶片承接臺在驅動電機的帶動下能不斷的變換位于檢測孔的晶振片，使位于檢測孔的晶振片的振蕩頻率能保持在基準頻率范圍內，有效的確保了本實用新型對蒸發器蒸發量檢測的準確性，從而確保了基片鍍膜厚度的準確性、均勻度，很好的提高了基片鍍膜厚度的質量。

(2)本實用新型的在對晶振片的振蕩頻率相傳輸時采用了可自由伸縮的彈簧探針，使三爪背板與彈簧探針的接觸更緊密，有效的提高了晶振片的振蕩頻率傳輸的穩定性、準確性。

(3)本實用新型在晶振盒上設置了水冷腔，能對晶振盒進行快速的降溫，有效的防止了晶振片因溫度過高而變形，從而使晶振片的振蕩頻率不穩定的問題。

附圖說明