[實用新型]擴束線偏振光光軸一致性、穩(wěn)定性檢測系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720515054.0
• 申請日: 2017-05-10
• 公開（公告）號: CN206756314U
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王衛(wèi)峰;陸衛(wèi)國;肖茂森;徐峰;王海霞;蔡勇;王致強;劉愛敏
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機械研究所
• 主分類號: G01J4/00
• 分類號: G01J4/00
• 代理公司: 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司61211
• 代理人: 陳廣民

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于精密測試計量技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種擴束線偏振光光軸一致性、穩(wěn)定性檢測系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在精密測試計量技術(shù)領(lǐng)域，偏振光技術(shù)應(yīng)用非常廣泛，然而在應(yīng)用過程中，對于經(jīng)過擴束后線偏振光光軸的一致性、穩(wěn)定性不明確，從而影響了最終的測量精度及其應(yīng)用。

目前，應(yīng)用線偏振光技術(shù)進行精密測量時，是將線偏振光作為基準(zhǔn)來檢測目標(biāo)相對于該基準(zhǔn)的微小偏移量，或是根據(jù)偏振光經(jīng)過目標(biāo)后的狀態(tài)變化對目標(biāo)進行測量。所以，擴束后線偏振光的性能對于測量非常關(guān)鍵，其光軸的一致性、穩(wěn)定性將直接影響到測量的精度。

實用新型內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有的線偏振光技術(shù)無法對其光軸一致性和穩(wěn)定性進行精確檢測的技術(shù)問題，本實用新型提供一種擴束線偏振光光軸一致性、穩(wěn)定性檢測系統(tǒng)。

本實用新型的技術(shù)解決方案是：一種擴束線偏振光光軸一致性、穩(wěn)定性檢測系統(tǒng)，其特殊之處在于：包括檢測裝置、經(jīng)緯儀和基準(zhǔn)平面鏡；所述經(jīng)緯儀用于準(zhǔn)直檢測裝置和基準(zhǔn)平面鏡；

所述檢測裝置包括固定機構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、檢測機構(gòu)和調(diào)平機構(gòu)；所述檢測機構(gòu)通過旋轉(zhuǎn)機構(gòu)安裝于固定機構(gòu)上，所述固定機構(gòu)通過調(diào)平機構(gòu)安裝于一個分度臺上；

所述檢測機構(gòu)包括檢測直角棱鏡和光電接收組件；所述檢測直角棱鏡用于引出被檢測偏振光光軸方位，所述光電接收組件用于檢測偏振光方位并將光信號轉(zhuǎn)換為電信號。

進一步地，上述光電接收組件包括檢偏鏡和與檢偏鏡相連的光電轉(zhuǎn)換電路板。

進一步地，上述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括豎直設(shè)置于檢測機構(gòu)和固定機構(gòu)之間的密珠軸系以及與密珠軸系相適配的鎖緊微調(diào)旋鈕。

進一步地，上述調(diào)平機構(gòu)包括位于固定機構(gòu)底部的調(diào)平腳螺和位于檢測機構(gòu)上的調(diào)平指示水泡。

本實用新型還提供一種擴束線偏振光光軸一致性、穩(wěn)定性檢測方法，其特殊之處在于：包括以下步驟：

1)將檢測裝置置于調(diào)平后的分度臺上，使經(jīng)過擴束后的被檢線偏振光中心對準(zhǔn)檢測裝置的通光孔并將檢測裝置調(diào)平，將此位置記為中心位置I；執(zhí)行步驟2)至步驟4)得到被檢線偏振光在中心位置I處的光軸穩(wěn)定度δ_I以及被檢線偏振光在中心位置I處的光軸與基準(zhǔn)平面鏡的方位夾角α_I；然后執(zhí)行步驟5)；

2)轉(zhuǎn)動檢測裝置的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，使檢測裝置上檢偏鏡的透光軸與被檢線偏振光光軸成90°夾角(即檢偏鏡光軸相對被檢測線偏振光光軸的消光位置)，并鎖緊旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的鎖緊微調(diào)旋鈕；使用經(jīng)緯儀對檢測裝置旁邊的基準(zhǔn)平面鏡進行準(zhǔn)直測量，記錄此時經(jīng)緯方位值為α_{基準(zhǔn)P}，其中P代表不同的位置；經(jīng)緯儀準(zhǔn)直檢測裝置上檢測直角棱鏡的方位值為β₁；

3)保持檢測裝置、基準(zhǔn)平面鏡及經(jīng)緯儀位置不變，將旋轉(zhuǎn)機構(gòu)轉(zhuǎn)動一定角度后再使檢測裝置上檢偏鏡的透光軸與被檢線偏振光光軸成90°夾角，將鎖緊旋鈕鎖緊，經(jīng)緯儀準(zhǔn)直檢測裝置上檢測直角棱鏡方位值為β₂；

4)重復(fù)執(zhí)行步驟3)得到多個檢測直角棱鏡方位值β₃、β₄……β_n；按照公式(1)計算得到被檢線偏振光在位置P處的光軸穩(wěn)定度δ_P，按照公式(2)計算得到被檢線偏振光在位置P處的光軸與基準(zhǔn)棱鏡的方位夾角α_P；

5)得到被檢線偏振光在中心位置I處的光軸穩(wěn)定度δ_I以及被檢線偏振光在中心位置I處的光軸與基準(zhǔn)平面鏡的方位夾角α_I；

6)保持基準(zhǔn)平面鏡位置不變，將檢測裝置相對于中心位置I平移距離d，然后將檢測裝置調(diào)平，將此位置記為位置II；執(zhí)行步驟2)至步驟4)得到被檢線偏振光在位置II處的光軸穩(wěn)定度δ_II以及被檢線偏振光在位置II處的光軸與基準(zhǔn)平面鏡的方位夾角α_II；被檢線偏振光在位置II處相對于中心位置I的光軸一致度為α_II-α_I；

7)設(shè)定轉(zhuǎn)動次數(shù)m，m為大于或等于6的整數(shù)；