[實用新型]一種三氧化鎢薄膜氣敏傳感器

有效

• 申請號: 201720513105.6
• 申請日: 2017-05-10
• 公開（公告）號: CN207232063U
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發明（設計）人: 孫鳳云
• 申請（專利權）人: 黑龍江大學
• 主分類號: G01N27/12
• 分類號: G01N27/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

【技術領域】

本實用新型涉及氣敏傳感器技術領域，具體涉及一種三氧化鎢薄膜氣敏傳感器。

【背景技術】

氣敏傳感器是一種檢測特定氣體的傳感器。它主要包括半導體氣敏傳感器、接觸燃燒式氣敏傳感器和電化學氣敏傳感器等，其中用的最多的是半導體氣敏傳感器。氣敏傳感器的應用主要有：一氧化碳氣體的檢測、瓦斯氣體的檢測、煤氣的檢測、氟利昂(R11、R12)的檢測、呼氣中乙醇的檢測、人體口腔口臭的檢測等等。傳統的氣敏傳感器針對NO₂氣體的氣敏性較差，因此開發針對上述氣體的氣敏性傳感器，是本設計要解決的問題。

【實用新型內容】

本實用新型的目的在于針對現有技術的缺陷和不足，提供一種三氧化鎢薄膜氣敏傳感器，它采用在三氧化二鋁基片上設置有金叉指電極，然后涂設有三氧化鎢粉體漿料；它具有結構簡單，成本低，使用方便，對NO₂氣體具有良好的氣敏性等優點。

本實用新型所述的一種三氧化鎢薄膜氣敏傳感器，它包括傳感器本體，該傳感器本體包括三氧化二鋁基片，該三氧化二鋁基片上設置有金叉指電極；將三氧化鎢粉體漿料旋涂于帶有金叉指電極上形成三氧化鎢薄膜。

采用上述結構后，本實用新型有益效果為：本實用新型所述的一種三氧化鎢薄膜氣敏傳感器，它采用在三氧化二鋁基片上設置有金叉指電極，然后涂設有三氧化鎢粉體漿料；它具有結構簡單，成本低，使用方便，對NO₂氣體具有良好的氣敏性等優點。

【附圖說明】

此處所說明的附圖是用來提供對本實用新型的進一步理解，構成本申請的一部分，但并不構成對本實用新型的不當限定，在附圖中：

圖1是本實用新型結構示意圖；

圖2是本實用新型的三氧化鎢納米棒形貌圖譜。

附圖標記說明：

1、傳感器本體；2、三氧化二鋁基片；3、金叉指電極；4、三氧化鎢薄膜。

【具體實施方式】

下面將結合附圖以及具體實施例來詳細說明本實用新型，其中的示意性實施例以及說明僅用來解釋本實用新型，但并不作為對本實用新型的限定。

如圖1所示，本具體實施方式所述的一種三氧化鎢薄膜氣敏傳感器，它包括傳感器本體1，該傳感器本體1包括三氧化二鋁基片2，該三氧化二鋁基片2上設置有金叉指電極3；將三氧化鎢粉體漿料旋涂于帶有金叉指電極上形成三氧化鎢薄膜4。

本實用新型的工作原理如下：

本設計的特征在于，其三氧化鎢粉體漿料與傳統傳感器中的所使用上述材料不同，因此使得本設計制備的三氧化鎢薄膜氣敏傳感器與傳統的氣敏傳感器不相同，特別是針對NO₂具有良好的氣敏性。

本設計中的三氧化鎢粉體漿料的制備步驟如下：

1)適量鎢酸鈉溶于去離子水。

2)將混合后的液體放置在磁力攪拌器上攪拌30min，鎢酸鈉粉末徹底溶解在去離子水中(在此步驟添加聚乙二醇制得添加聚乙二醇改性的氧化鎢粉末)。

3)在液體中逐滴加入稀釋后的鹽酸，加入鹽酸產生絮狀沉淀并用磁力攪拌機攪拌至沉淀消失再加第二滴以此反復，直至加入鹽酸不產生沉淀為止。然后利用鹽酸調整溶液PH值至1左右停止添加。繼續攪拌半個小時左右。

4)將得到的膠體倒入反應釜中，密封好之后，將反應釜放入電熱鼓風干燥箱中于一定溫度(120～180℃)反應一定時間(6～24h)進行反應。

5)待反應時間到后取出反應釜，得到淡黃色粉末沉淀，放入臺式離心機中用無水乙醇和去離子水分別離心清洗。

6)粉末轉移到電熱恒溫鼓風干燥箱中烘干，即得三氧化鎢粉體漿料。

如圖2所示，本品在180℃水熱反應12h得到的WO₃納米棒形貌圖譜。樣品大小大約在1.4-2μm。

本實用新型所述的一種三氧化鎢薄膜氣敏傳感器，它采用在三氧化二鋁基片上設置有金叉指電極，然后涂設有三氧化鎢粉體漿料；它具有結構簡單，成本低，使用方便，對NO₂氣體具有良好的氣敏性等優點。

以上所述僅是本實用新型的較佳實施方式，故凡依本實用新型專利申請范圍所述的構造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均包括于本實用新型專利申請范圍內。