[實用新型]一種用于光學材料亞表面損傷檢測的定位裝夾裝置

有效

• 申請號: 201720511323.6
• 申請日: 2017-05-04
• 公開（公告）號: CN206740608U
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發明（設計）人: 王華東;黃平;何力鈞;龐佩
• 申請（專利權）人: 浙江師范大學
• 主分類號: G01N17/00
• 分類號: G01N17/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于專用夾具技術領域，涉及一種用于光學材料亞表面損傷檢測的定位裝夾裝置。

背景技術

光學材料目前已被廣泛應用于激光技術、光電通訊、航空航天和國防工業等領域。然而，光學材料的表面和亞表面質量制約其在相關領域中的使用質量和壽命，尤其是亞表面損傷的存在嚴重影響光學元件的鍍膜質量、激光損傷閾值和關鍵力學強度。因此，亞表面損傷的準確檢測成為光學元件無損傷加工的關鍵。

光學材料亞表面損傷檢測目前常用的技術包括損傷性檢測技術和無損傷檢測技術。其中，損傷性檢測技術由于其具有獲得損傷信息直觀、精度較高和內容豐富等優點，成為檢測連續性損傷和驗證新型亞表面檢測技術的必要技術手段。損傷性檢測技術主要包括截面顯微法、角度拋光法(含磁流變拋光法)和化學蝕刻法。截面顯微法和角度拋光法只能檢測亞表面裂紋損傷層的深度，而化學蝕刻法能檢測整個損傷層深度(包括裂紋層和變形層)。

化學蝕刻法通常是將試樣整體浸入腐蝕液中，通過測量單位時間內試樣的質量或者厚度變化，以腐蝕速率的拐點時刻定義腐蝕到基體的時間，進而確定亞表面損傷深度。該方法主要存在以下三個缺陷：(1)需要高精度臺階儀或電子分析天平多次測量試樣變化，測試效率較低且易引入測量誤差；(2)腐蝕接觸面積較大，可能會改變腐蝕液濃度，進而影響測試精度；(3)不能保持每次腐蝕后試樣表面形貌。

實用新型內容

為了克服目前化學蝕刻方法檢測光學材料亞表面損傷的不足，本實用新型提供了一種用于光學材料亞表面損傷檢測的定位裝夾裝置。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種用于光學材料亞表面損傷檢測的定位裝夾裝置，包括殼體和連桿，殼體固定在底座上，殼體兩側設有矩形槽，殼體內部設有彈簧；連桿穿過矩形槽置于彈簧上，連桿一端設有指針，另一端設有試樣夾頭；殼體頂面設有螺紋孔，螺栓壓桿通過螺紋孔壓在連桿上。

所述殼體兩側的矩形槽內設有刻度。

所述連桿上設有用于定位螺栓壓桿的盲孔。

所述試樣夾頭的一側設有用于固定試樣的壓緊螺栓。

本實用新型的有益效果是，通過螺栓壓桿調節試樣浸入腐蝕液的深度，同時控制試樣的浸入深度和侵入時間，進而在試樣表面上獲得多個腐蝕臺階，測試光學材料亞表面損傷，同時保留每個腐蝕時段的表面形貌，避免多次測量誤差，提高測試精度。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步描述：

圖1為本實用新型所述的光學材料亞表面損傷檢測的定位裝夾裝置結構示意圖；

圖2為采用本實用新型所述的光學材料亞表面損傷檢測的定位裝夾裝置得到的試樣表面結構示意圖；

其中：1、螺栓壓桿；2、殼體；3、指針；4、彈簧；5、底座；6、連桿；7、試樣夾頭；8、壓緊螺栓；9、試樣；10、腐蝕液。

具體實施方式

以下結合具體實施例對上述方案做進一步說明。

實施例：本實施例描述了一種用于光學材料亞表面損傷檢測的定位裝夾裝置，如圖1所示，包括殼體2和連桿6，殼體2固定在底座5上，殼體2兩側設有矩形槽，殼體2內部設有彈簧4；連桿6穿過矩形槽置于彈簧4上，連桿6一端設有指針3，另一端設有試樣夾頭7；殼體2頂面設有螺紋孔，螺栓壓桿1通過螺紋孔壓在連桿6上。殼體6兩側的矩形槽內設有刻度。連桿6上設有用于定位壓桿的盲孔。試樣夾頭7的一側設有用于固定試樣的壓緊螺栓8。

試樣9通過所述壓緊螺栓8固定在所述試樣夾頭7內。首先，通過壓緊螺栓1調節試樣9位置，使其與腐蝕液10表面齊平，并記錄所述刻度值，定義該值為基準值；然后，繼續調節壓緊螺栓1使試樣9浸入腐蝕液10內一定深度，記錄此時刻度值，得到浸入深度L，若干時間后松開壓緊螺栓1使試樣遠離腐蝕液10表面，取出試樣9進行超聲清洗和真空干燥，并記錄侵入時間T；最后，重新裝夾試樣9，使試樣的侵入深度增加L，采用相同的侵入時間，重復上述步驟；最終得到具有若干寬度為L的臺階狀腐蝕試樣，腐蝕試樣表面結構如圖2所示，取出試樣用于亞表面損傷觀測。