[實用新型]結型場效應管有效

申請號：	201720505932.0	申請日：	2017-05-09
公開（公告）號：	CN207474467U	公開（公告）日：	2018-06-08
發明（設計）人：	任留濤;李菲;禹久贏	申請（專利權）人：	超致（上海）半導體有限公司
主分類號：	H01L29/10	分類號：	H01L29/10;H01L29/08;H01L29/78
代理公司：	上海宏京知識產權代理事務所(普通合伙) 31297	代理人：	孫益青
地址：	201203 上海市浦東新***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	氧化層漏極源極二氧化硅絕緣層結型場效應管本實用新型上表面背柵襯底上表面電流導通工作電壓夾斷電壓下表面襯底導出溝道引腳制備覆蓋
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【權利要求書】：

1.一種結型場效應管，其特征在于包括：P型襯底（1）；所述P型襯底（1）上表面設有作為溝道的第一N型輕摻雜區（2）；所述第一N型輕摻雜區（2）兩端分別設有作為漏極的第一N型重摻雜區（3）和作為源極的第二N型重摻雜區（4）；所述第一N型重摻雜區（3）和第二N型重摻雜區（4）之間設有氧化層（5），所述氧化層（5）位于第一N型輕摻雜區（2）的上表面；所述氧化層（5）的上表面設有作為正柵的第一P型重摻雜區（6），所述第一N型輕摻雜區（2）的下表面設有作為背柵的第二P型重摻雜區（7），所述背柵與正柵位置對應；還包括二氧化硅絕緣層（8），所述二氧化硅絕緣層（8）覆蓋于所述正柵、漏極、源極和氧化層（5）的正上方；所述正柵、漏極和源極通過引腳導出二氧化硅絕緣層（8）。

2.如權利要求1所述結型場效應管，其特征在于：還包括場極板（9），所述場極板（9）設于漏極上和正柵靠近漏極一側。

3.如權利要求2所述結型場效應管，其特征在于：所述場極板（9）采用多晶鈦構成。

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