[實用新型]一種內置固定結構的化學機械拋光墊包裝盒

有效

• 申請號: 201720498197.5
• 申請日: 2017-05-08
• 公開（公告）號: CN206871597U
• 公開（公告）日: 2018-01-12
• 發明（設計）人: 相紅旗
• 申請（專利權）人: 成都時代立夫科技有限公司
• 主分類號: B65D25/10
• 分類號: B65D25/10;B65D81/05
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產權代理有限公司51230
• 代理人: 徐金瓊

技術領域

本實用新型涉及拋光墊包裝盒技術領域，具體涉及一種內置固定結構的化學機械拋光墊包裝盒。

背景技術

化學機械拋光墊是半導體工業以硅晶片為起始原材料加工制造集成電路芯片的過程中使用的一種重要的消耗品。作為集成電路芯片這一高尖端精密產品制造過程中的一道重要的工藝，化學機械拋光工藝使用化學機械拋光墊和拋光液磨削去除在硅晶片表面沉積的多余的各種氧化物或金屬等材料，因此對于化學機械拋光墊的各項物性、結構、拋光性能指標以及化學機械拋光墊的包裝、運輸、存儲條件都有很高和嚴格的要求。

由于半導體工業對化學機械拋光墊的質量管理的嚴格要求，在現有的拋光墊包裝盒結構中，每一片圓形的化學機械拋光墊都是先獨自包裝在一個密封的方形的塑料袋中，再以一定的數量堆疊起來，包裝在一個包裝盒里。多層塑料袋薄膜的厚度也影響到拋光墊和緩沖塊之間的間隙、拋光墊被緩沖塊夾持的程度。

集成電路芯片的集成度一直在快速提升，芯片的線寬一直在不斷縮小，芯片的計算性能一直在飛速提高。芯片的線寬越窄、尺寸越小，對芯片制造過程的要求也越嚴格，對化學機械拋光墊的物性結構微小的變化也越敏感，對拋光墊的包裝技術質量要求也越高。

現有化學機械拋光墊包裝盒一般采用在盒子內部沿著拋光墊圓周外圍放置緩沖材料的方式實現在運輸過程中夾持固定拋光墊位置、防止振動、保護拋光墊的目的。在一般的紙盒結構中，起夾持固定作用的緩沖材料塊與化學機械拋光墊之間的間隙的大小影響著其保護作用的發揮：當間隙較大時外圍緩沖塊對拋光墊移動的限制較弱，拋光墊可以以較大的位移在包裝盒內振動，以致于損傷拋光墊的邊緣；當間隙較小時，即使拋光墊在包裝盒內有很小的位移，外圍緩沖塊自身就在向內擠壓拋光墊的邊緣，容易引起拋光墊邊緣翹曲損傷。

實用新型內容

本實用新型提供了一種內置固定結構的化學機械拋光墊包裝盒，實現對化學機械拋光墊邊緣的充分保護，以消除拋光墊在運輸和存儲過程中可能受到的形變和損傷。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案概述如下：

一種內置固定結構的化學機械拋光墊包裝盒，包括包裝盒本體，還包括內置固定結構，所述內置固定結構包括包裝盒本體內上下重疊設置的上固定底片和下固定底片，以及若干組相互蓋合且分別固定于上固定底片、下固定底片上的緩沖塊，所述緩沖塊內側設置成弧形凹面，所述弧形凹面與化學機械拋光墊的弧度大小相一致，上固定底片、下固定底片以及緩沖塊之間形成的空腔用于放置化學機械拋光墊；化學機械拋光墊發生較大的水平位移時，緩沖塊能起到阻止進一步水平位移兼具緩沖的作用，故而將化學機械拋光墊放置于上固定底片、下固定底片以及緩沖塊之間形成的空腔，可有效實現對化學機械拋光墊邊緣的充分保護。

作為優選的，所述內置固定結構的上方和下方分別貼有上緩沖墊片和下緩沖墊片，上緩沖墊片和下緩沖墊片在運輸過程中，能減少內置固定結構的上下震蕩弧度，從而減少化學機械拋光墊的上下位移量，達到對化學機械拋光墊的表面進行充分保護的目的。

作為優選的，所述包裝盒本體為由盒蓋、盒底以及四個側面組成的方形盒體，所述上緩沖墊片和下緩沖墊片分別緊貼于盒蓋和盒底，且上緩沖墊片和下緩沖墊片的形狀、尺寸大小與盒蓋、盒底相同，便于固定、定位上緩沖墊片和下緩沖墊片。

作為優選的，所述上固定底片和下固定底片尺寸大小相同，且固定底片和下固定底片形狀、尺寸大小與盒蓋、盒底相同，便于固定、定位上固定底片和下固定底片。

作為優選的，所述相互蓋合的緩沖塊設有四組，分別固定于上固定底片和下固定底片的四邊上，能對化學機械拋光墊任意方向的水平位移起到保護作用，緩沖效果好。

作為優選的，所述緩沖塊通過膠粘的方式分別固定于上固定底片和下固定底片上，結構簡單，易于實現。

作為優選的，所述緩沖塊的材質為發泡塑料或海綿材料，為軟質材料，緩沖效果好。

作為優選的，所述緩沖塊內側的弧形凹面與化學機械拋光墊的邊緣之間的間隙為0-5mm，留下一定的富余空隙，避免緩沖塊本身使得化學機械拋光墊變形。

作為優選的，所述緩沖塊內側的弧形凹面與化學機械拋光墊的邊緣之間的間隙為2-5mm，避免了依賴緩沖塊與化學機械拋光墊邊緣的直接且緊密的接觸來限制拋光墊在包裝盒內的移動、以及因此增加的拋光墊邊緣受力變形的可能性，同時保證了在拋光墊包裝盒受到的外力和沖擊較小的時候，拋光墊在包裝盒內具有一定的移動緩沖空間而不會或較少發生拋光墊邊緣觸碰到緩沖塊，減少拋光墊邊緣受力變形的可能性。

與現有技術相比，本實用新型所產生的有益效果：