[實用新型]一種用于直拉爐的錐形水冷套裝置

有效

• 申請號: 201720494460.3
• 申請日: 2017-05-05
• 公開（公告）號: CN207035852U
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發明（設計）人: 靳立輝;姚長娟;劉旭光
• 申請（專利權）人: 天津中環半導體股份有限公司
• 主分類號: F27D9/00
• 分類號: F27D9/00
• 代理公司: 天津濱?？凭曋R產權代理有限公司12211
• 代理人: 李納

技術領域

本實用新型屬于直拉爐附屬設備技術領域，尤其是涉及一種用于直拉爐的錐形水冷套裝置。

背景技術

單晶硅是發展計算機與集成電路的主要功能材料，也是光伏發電利用太陽能的主要功能材料；直拉爐是多晶硅轉化為單晶硅工藝過程中的必備設備，目前多晶硅轉化成單晶硅生產過程中所使用的直拉爐配套的水冷卻裝置一般都是直筒型，由于在高溫環境下熔融狀態的單晶硅的溫度較高,距離液面較近的位置有錐形導流筒的限制，普通直筒型水冷套空間上有局限，不能加快提拉速度，以致影響產品生產效率。

發明內容

有鑒于此，本實用新型旨在提出一種用于直拉爐的錐形水冷套裝置，以快速降低熔融狀態的單晶硅的溫度,加快提拉速度，達到單位時間內提高產量的目的。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的：

一種用于直拉爐的錐形水冷套裝置，包括管路和錐形水冷套,所述錐形水冷套為內部中空的雙層封閉結構，外壁和內壁之間的空腔形成一環形水道，所述錐形水冷套上端設有分別與所述環形水道連通的錐形水冷套進水口和錐形水冷套出水口，所述錐形水冷套進水口和錐形水冷套出水口分別與管路連接。

進一步的，所述管路包括進水管和出水管，所述進水管和出水管對稱設置，進水管上端和出水管上端之間的距離大于進水管下端和出水管下端之間的距離。

進一步的，所述進水管和出水管均為一體成型設計，所述進水管和出水管上端和下端豎直設置，上端和下端之間通過水平管路連接，所述進水管和出水管的上端分別通過螺紋與直拉爐爐體固定連接，所述進水管和出水管的下端分別與錐形水冷套進水口和錐形水冷套出水口連接。

進一步的，所述錐形水冷套上端設有上端座，下端設有下端座，所述上端座和下端座均與外壁和內壁焊接，所述錐形水冷套進水口和錐形水冷套出水口設于上端座上；所述爐體上設有與進水管和出水管對應的爐體進水口和爐體出水口。

相對于現有技術，本實用新型所述的一種用于直拉爐的錐形水冷套裝置具有以下優勢：

本實用新型所述的一種用于直拉爐的錐形水冷套裝置，進水管和出水管的上端通過螺紋與直拉爐固定連接，進水管與出水管的下端連接錐形水冷套，同時，進水管和出水管上端之間的距離大于進水管和出水管下端之間的距離，這樣設計可以將錐形水冷套深入直拉爐體內部，更加靠近液面，而且拆裝方便快捷；

錐形水冷套的外筒和內筒之間設置有環形水道，既不影響水冷套內的水的流動，又避免了內套與外套的熱變形問題，同時錐形的外筒和內筒與錐形導流筒的形狀匹配，能夠深入導流筒內部，更加靠近液面，加快提拉速度，與普通圓柱形水冷套相比錐形水冷套能夠增加單位高度內的水流面積，增強冷卻效果，加快提拉速度，最終提高產品的生產效率。

附圖說明

構成本實用新型的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1為本實用新型實施例所述的一種用于直拉爐的錐形水冷套裝置的主視結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例所述的一種用于直拉爐的錐形水冷套裝置的上端座俯視結構示意圖。

附圖標記說明：

1-進水管；2-出水管；3-錐形水冷套；301-外壁；302-內壁；303-上端座；304-下端座；305-錐形水冷套進水口；306-錐形水冷套出水口；307-環形水道。

具體實施方式

需要說明的是，在不沖突的情況下，本實用新型中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。

在本實用新型的描述中，需要理解的是，術語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術語“第一”、“第二”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術特征的數量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隱含地包括一個或者更多個該特征。在本實用新型的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。