[實用新型]一種玻璃微溝槽加工裝置

有效

• 申請號: 201720494175.1
• 申請日: 2017-05-05
• 公開（公告）號: CN207013872U
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發明（設計）人: 郭鐘寧;張文斌;周兵高;劉莉;吳玲海;陳玲玉
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學;佛山市鉻維科技有限公司
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362;B23K26/402;B24C5/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 張春水,唐京橋

技術領域

本實用新型涉及玻璃加工領域，尤其涉及一種玻璃微溝槽加工裝置。

背景技術

玻璃具有一系列優異的物理化學性能,廣泛地應用在航空、國防、科研等領域中。但因為其典型的高硬脆性特性,使其結構件的加工制造一直存在難題, 其微溝槽的加工是其中一個難題，而這種玻璃微溝槽在微電子封裝、MEMS 器件封裝,生物和醫療等領域具有巨大的應用需求。

玻璃屬于硬脆材料，加工玻璃的方法有很多，主要是激光加工。

激光加工是利用光的能量經過透鏡聚焦后在焦點上達到很高的能量密度，靠光熱效應來加工的。

然而這種激光加工的方法刻蝕出來的溝槽的質量較差。

而濕法刻蝕是使用HF腐蝕玻璃，HF有劇毒對操作人員與環境都很不友好；激光刻蝕出來的溝槽的質量較差；等離子刻蝕對設備和環境要求高；微磨料水射流加工效率較低。

因此，激光加工的方法刻蝕出來的溝槽的質量較差是本領域技術人員需要解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型實施例公開了一種玻璃微溝槽加工裝置，用于解決激光加工的方法刻蝕出來的溝槽的質量較差的技術問題。

本實用新型實施例提供了一種玻璃微溝槽加工裝置，包括：激光器、工件、噴嘴；

所述激光器設置于所述工件的一側，用于發送激光至所述工件；

所述噴嘴設置于所述工件的另一側，用于噴射微細射流至所述工件。

優選地，所述激光器的透鏡距離所述工件的另一側表面的距離為所述透鏡的焦距，使得所述激光器發出的激光能夠聚焦到所述工件的另一側表面。

優選地，本發明實施例還包括兩條加工軌道；

所述兩條加工軌道分別設置于所述工件的兩側；

所述激光器具體設置于所述工件的一側的加工軌道上；

所述噴嘴具體設置于所述工件的另一側的加工軌道上；

所述兩條加工軌道的形狀相同。

優選地，所述兩條加工軌道上分別設置有第一滑輪和第二滑輪；

所述激光器具體通過第一滑輪設置于所述工件的一側的加工軌道上；

所述噴嘴具體通過第二滑輪設置于所述工件的另一側的加工軌道上。

優選地，所述噴嘴具體為噴射高壓水與微細磨料混合的微細射流的噴嘴。

優選地，所述工件具體為待加工玻璃。

從以上技術方案可以看出，本實用新型實施例具有以下優點：

本實用新型實施例提供了一種玻璃微溝槽加工裝置，包括：激光器、工件、噴嘴；所述激光器設置于所述工件的一側，用于發送激光至所述工件；所述噴嘴設置于所述工件的另一側，用于噴射微細射流至所述工件。本實用新型通過激光快速高效的粗加工出流道，微磨料水射流進行精加工，不僅可以起到冷卻作用，還可以把切屑帶走，防止其粘附在工件表面，大大提高了加工表面質量。可以降低激光加工的熱影響；可以加工更深質量更好的溝槽。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它的附圖。

圖1為本實用新型實施例提供的一種玻璃微溝槽加工裝置的一個實施例的結構示意圖。

具體實施方式

本實用新型實施例公開了一種玻璃微溝槽加工裝置，用于解決激光加工的方法刻蝕出來的溝槽的質量較差的技術問題。

請參閱圖1，本實用新型實施例提供的一種玻璃微溝槽加工裝置的一個實施例，包括：激光器1、工件2、噴嘴3；

激光器1設置于工件2的一側，用于發送激光至工件2；

噴嘴3設置于工件2的另一側，用于噴射微細射流至工件2。

本實用新型通過激光快速高效的粗加工出流道，微磨料水射流進行精加工，不僅可以起到冷卻作用，還可以把切屑帶走，防止其粘附在工件2表面，大大提高了加工表面質量。可以降低激光加工的熱影響；可以加工更深質量更好的溝槽。

進一步地，激光器1的透鏡距離工件2的另一側表面的距離為透鏡的焦距，使得激光器1發出的激光能夠聚焦到工件2的另一側表面。

工件2的另一側表面實際上為待加工的表面，激光和微細射流都在這個另一側表面對工件2進行加工。

進一步地，本發明實施例還包括兩條加工軌道；

兩條加工軌道分別設置于工件2的兩側；

激光器1具體設置于工件2的一側的加工軌道上；