[實用新型]高溫、真空環境工件旋轉支承盤的精確定位與控制系統有效
| 申請號: | 201720492571.0 | 申請日: | 2017-05-05 |
| 公開(公告)號: | CN206839929U | 公開(公告)日: | 2018-01-05 |
| 發明(設計)人: | 高貴斌 | 申請(專利權)人: | 北京中科科美科技股份有限公司 |
| 主分類號: | B25B11/00 | 分類號: | B25B11/00 |
| 代理公司: | 北京紐樂康知識產權代理事務所(普通合伙)11210 | 代理人: | 徐娟 |
| 地址: | 100000 北*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 高溫 真空 環境 工件 旋轉 支承 精確 定位 控制系統 | ||
1.一種高溫、真空環境工件旋轉支承盤的精確定位與控制系統,包括真空腔室(8),支承公轉盤(5),所述支承公轉盤(5)通過傳動機構(11)安裝在腔室底盤(3)上,所述傳動機構(11)下方連接有電機(12),其特征在于,所述腔室底盤(3)的真空外一側安裝有激光測距傳感器(1),所述腔室底盤(3)上安裝有與所述激光測距傳感器(1)對應的玻璃觀察窗(2);所述支承公轉盤(5)上固定安裝有用于觸發所述激光測距傳感器(1)的開關觸發塊(4)以及用于支撐并帶動工件(7)旋轉的工件卡具(6)。
2.根據權利要求1所述的一種高溫、真空環境工件旋轉支承盤的精確定位與控制系統,其特征在于,所述激光測距傳感器(1)安裝在所述腔室底盤(3)真空外一側與工序一工位(10)以及工序二工位(9)位置對應處。
3.根據權利要求2所述的一種高溫、真空環境工件旋轉支承盤的精確定位與控制系統,其特征在于,所述開關觸發塊(4)通過螺栓安裝在所述支承公轉盤(5)上。
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