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[實用新型]高溫、真空環境工件旋轉支承盤的精確定位與控制系統有效

專利信息
申請號: 201720492571.0 申請日: 2017-05-05
公開(公告)號: CN206839929U 公開(公告)日: 2018-01-05
發明(設計)人: 高貴斌 申請(專利權)人: 北京中科科美科技股份有限公司
主分類號: B25B11/00 分類號: B25B11/00
代理公司: 北京紐樂康知識產權代理事務所(普通合伙)11210 代理人: 徐娟
地址: 100000 北*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 高溫 真空 環境 工件 旋轉 支承 精確 定位 控制系統
【權利要求書】:

1.一種高溫、真空環境工件旋轉支承盤的精確定位與控制系統,包括真空腔室(8),支承公轉盤(5),所述支承公轉盤(5)通過傳動機構(11)安裝在腔室底盤(3)上,所述傳動機構(11)下方連接有電機(12),其特征在于,所述腔室底盤(3)的真空外一側安裝有激光測距傳感器(1),所述腔室底盤(3)上安裝有與所述激光測距傳感器(1)對應的玻璃觀察窗(2);所述支承公轉盤(5)上固定安裝有用于觸發所述激光測距傳感器(1)的開關觸發塊(4)以及用于支撐并帶動工件(7)旋轉的工件卡具(6)。

2.根據權利要求1所述的一種高溫、真空環境工件旋轉支承盤的精確定位與控制系統,其特征在于,所述激光測距傳感器(1)安裝在所述腔室底盤(3)真空外一側與工序一工位(10)以及工序二工位(9)位置對應處。

3.根據權利要求2所述的一種高溫、真空環境工件旋轉支承盤的精確定位與控制系統,其特征在于,所述開關觸發塊(4)通過螺栓安裝在所述支承公轉盤(5)上。

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