[實用新型]三指交錯結構的電容式微波功率傳感器

有效

• 申請號: 201720492496.8
• 申請日: 2017-05-05
• 公開（公告）號: CN206756928U
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發明（設計）人: 戴瑞萍;王德波
• 申請（專利權）人: 南京郵電大學
• 主分類號: G01R21/00
• 分類號: G01R21/00
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司32200
• 代理人: 劉莎

1.三指交錯結構的電容式微波功率傳感器，其特征在于，該傳感器以砷化鎵為襯底，在襯底上設有共面波導CPW傳輸線、在線電容式微波功率傳感器；所述共面波導CPW傳輸線包括CPW信號線以及設置在信號線兩側的第一地線和第二地線；所述在線電容式微波功率傳感器由三個交錯固定在襯底上的MEMS懸臂梁構成，其中，第一MEMS懸臂梁設置在CPW信號線和第一地線之間，第二、第三MEMS懸臂梁設置在CPW信號線和第二地線之間，第二、第一、第三MEMS懸臂梁依次成三指交錯狀排列分布；第二、第三MEMS懸臂梁的下表面分別鍍有絕緣層，形成一個電容，第一MEMS懸臂梁的下表面未鍍有絕緣層，作為該電容的電介質；從第二、第三MEMS懸臂梁分別引出兩個電極，作為電容檢測端口。

2.根據權利要求1所述的三指交錯結構的電容式微波功率傳感器，其特征在于，每個所述MEMS懸臂梁均通過橋墩固定在襯底上。

3.根據權利要求2所述的三指交錯結構的電容式微波功率傳感器，其特征在于，橋墩由金制作成。

4.根據權利要求1所述的三指交錯結構的電容式微波功率傳感器，其特征在于，每個所述MEMS懸臂梁均由金制作而成。

5.根據權利要求1所述的三指交錯結構的電容式微波功率傳感器，其特征在于，所述共面波導CPW傳輸線設置在襯底的中間。

6.根據權利要求1所述的三指交錯結構的電容式微波功率傳感器，其特征在于，兩個所述電極由金制作。

7.根據權利要求1所述的三指交錯結構的電容式微波功率傳感器，其特征在于，第二、第三MEMS懸臂梁下表面的絕緣層均為氮化硅。