[實用新型]一種超薄玻璃厚度的在線測量裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720489272.1
• 申請日: 2017-05-03
• 公開（公告）號: CN206862278U
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發(fā)明（設計）人: 秦嶺
• 申請（專利權）人: 武漢輕工大學
• 主分類號: G01B7/06
• 分類號: G01B7/06
• 代理公司: 武漢東喻專利代理事務所(普通合伙)42224
• 代理人: 李佑宏

1.一種玻璃減薄工藝中的玻璃厚度實時在線測量裝置，其包括分別設置在待測玻璃相對的兩表面外側并可相對對應表面移動的基準探頭(1)和感應探頭(2)，其中，

所述基準探頭(1)包括基準探頭支撐套管(103)、設置在基準探頭支撐套管(103)的靠近待測玻璃的一端端部管口上的電渦流基準座(114)、設置在基準探頭支撐套管(103)另一端端部管口上的基準探頭激光測距傳感器(115)、以及同軸容置在所述基準探頭支撐套管(103)中且兩端分別與所述基準探頭激光測距傳感器(115)和電渦流基準座(114)接觸的基準探頭緩沖彈簧(104)；

所述感應探頭(2)包括感應探頭支撐套管(108)、設置在感應探頭支撐套管(108)靠近待測玻璃的一端端部管口上的電渦流傳感器(113)、設置在感應探頭支撐套管(108)另一端端部管口上的感應探頭激光測距傳感器(112)、以及同軸容置在所述感應探頭支撐套管(108)內且兩端分別與所述電渦流傳感器(113)和感應探頭激光測距傳感器(112)接觸的感應探頭緩沖彈簧(107)；

所述基準探頭和感應探頭相向向待測玻璃表面移動中，基準探頭激光測距傳感器(115)和感應探頭激光測距傳感器(112)可檢測到對應的基準探頭緩沖彈簧(104)和感應探頭緩沖彈簧(107)由于電渦流基準座(114)和電渦流傳感器(113)因接觸到待測玻璃表面而發(fā)生壓縮形變導致間距發(fā)生變化，從而上述電渦流傳感器(113)可獲取其與對應的電渦流基準座(114)之間的間距，即可獲得玻璃厚度的精確值。

2.根據權利要求1所述的玻璃減薄工藝中的玻璃厚度實時在線測量裝置，其中，所述電渦流基準座(114)或電渦流傳感器(113)可相對所述基準探頭支撐套管(103)或感應探頭支撐套管(108)端部管口在軸向上移動，從而可實現驅動基準探頭緩沖彈簧(104)或感應探頭緩沖彈簧(107)而產生形變。

3.根據權利要求1所述的玻璃減薄工藝中的玻璃厚度實時在線測量裝置，其中，所述電渦流基準座(114)或電渦流傳感器(113)為中心具有凸起的圓臺，所述凸起對應套裝在基準探頭支撐套管(103)或感應探頭支撐套管(108)管口內，圓臺外沿與基準探頭支撐套管(103)或感應探頭支撐套管(108)端面之間設有間隙，以保證電渦流基準座(114)或電渦流傳感器(113)在套管內能夠軸向移動。

4.根據權利要求1所述的玻璃減薄工藝中的玻璃厚度實時在線測量裝置，其中，所述基準探頭支撐套管(103)的外周套接有基準探頭波紋管(105)，基準探頭波紋管(105)一端與電渦流基準座(114)連接，以匹配電渦流基準座(114)在相對基準探頭支撐套管(103)端部的軸向移動，并保護基準探頭(1)不受腐蝕溶液的影響。

5.根據權利要求4所述的玻璃減薄工藝中的玻璃厚度實時在線測量裝置，其中，其中，基準探頭支撐套管(103)外部還設置有基準探頭電纜支撐套管(101)，用于容納和支撐與基準探頭激光測距傳感器(115)連接的基準探頭激光測距傳感器電纜(102)。

6.根據權利要求1所述的玻璃減薄工藝中的玻璃厚度實時在線測量裝置，其中，感應探頭支撐套管(108)外周套接有感應探頭波紋管(106)，感應探頭波紋管(106)一端與電渦流傳感器(113)連接，以匹配電渦流傳感器(113)在相對感應探頭支撐套管(108)端部的軸向移動，并保護感應探頭(2)不受腐蝕溶液的影響。

7.根據權利要求6所述的玻璃減薄工藝中的玻璃厚度實時在線測量裝置，其中，感應探頭支撐套管(108)外部還設置有感應探頭電纜支撐套管(110)，用于容納和支撐與感應探頭激光測距傳感器(112)連接的電渦流傳感器電纜(111)。

8.根據權利要求1-7中任一項所述的玻璃減薄工藝中的玻璃厚度實時在線測量裝置，其中，分別在電渦流基準座(114)和電渦流傳感器(113)各自與待測玻璃表面接觸的端面上噴涂防腐涂層，玻璃厚度通過獲得電渦流基準座(114)和電渦流傳感器(113)之間距離以及涂層的厚度而得到。