[實用新型]碳碳載板圓弧面的定位硅片

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720483712.2
• 申請日: 2017-05-04
• 公開（公告）號: CN206789530U
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 盧亞春;張華;鄭方淵
• 申請（專利權(quán)）人: 上海弘竣實業(yè)有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.碳碳載板圓弧面的定位硅片，其特征在于，包括載板粗限位方框(1)、載板精限位圓弧面(2)和載板內(nèi)框(3)，載板粗限位方框(1)內(nèi)部設(shè)置有多個載板內(nèi)框(3)，載板內(nèi)框(3)之間還設(shè)置有載板精限位圓弧面(2)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳碳載板圓弧面的定位硅片，其特征在于，所述的載板粗限位方框(1)是在硅片外形尺寸上單邊保留1mm的間隙，深度1mm±0.5。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳碳載板圓弧面的定位硅片，其特征在于，所述的載板精限位圓弧面(2)是與載板內(nèi)框面重合、垂直于載板大面、載板上表面向上延伸2.5mm+2.5的直線端點(diǎn)為圓心，載板粗限位根部點(diǎn)為起點(diǎn)形成的圓弧面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳碳載板圓弧面的定位硅片，其特征在于，所述的載板內(nèi)框(3)與同比例縮小的硅片外形尺寸吻合。