[實用新型]一種面狀曝光系統(tǒng)及曝光部件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720474647.7
• 申請日: 2017-05-02
• 公開（公告）號: CN206725963U
• 公開（公告）日: 2017-12-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 霍永峰
• 申請（專利權(quán)）人: 成都恒坤光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 四川力久律師事務(wù)所51221
• 代理人: 王蕓,龐啟成

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及紫外光應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種面狀曝光系統(tǒng)及曝光部件。

背景技術(shù)

在紫外光應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域中，光刻微細加工在各行業(yè)中應(yīng)用越來越廣泛，為了提高生產(chǎn)效率，人們希望曝光光源有高的有效輻照強度和良好的均勻性，以及有大的有效光斑面積。但是，對于曝光光源而言，增加有效光斑面積與增加有效輻照強度是相互矛盾的。

為了實現(xiàn)有效輻照強度和有效光斑面積的同時提高，目前的方式是采用多個光源拼接成光源條，在曝光面上形成一條帶狀的照射光斑，曝光過程中，通過移動光源條，使帶狀的照射光斑掃過待曝光面，進而實現(xiàn)較大面積的曝光。

在進一步的設(shè)計工作中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，上述這種采用光源條進行掃描的方式還存在有不足，具體在于：由于光源呈條狀布置，為了具有較寬的照射光斑，所以，光束角通常都較大，曝光面的有效輻照強度不高，而且整個曝光過程移動行程較大，部件移動部件結(jié)構(gòu)復(fù)雜，還不便于光源移動的精確控制。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的在于：針對目前紫外曝光技術(shù)領(lǐng)域中，存在上述的不足，提供一種照射光斑均勻性良好、有效光斑面積較大，曝光過程移動行程較短的光源結(jié)構(gòu)。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案為：

一種面狀曝光系統(tǒng)，包括光源組件，所述光源組件在曝光面內(nèi)形成有面狀光斑，所述光源組件存在有至少一條移動軌跡，以及存在有至少一個曝光行程，所述面狀光斑對應(yīng)的照射區(qū)域中存在有至少一個有效曝光區(qū)域，當(dāng)所述光源組件沿所述移動軌跡移動一個所述曝光行程時，所述有效曝光區(qū)域內(nèi)的任意一點或任意一區(qū)域的光照能量積分，積分后在有效曝光區(qū)域內(nèi)任意一點或任意一區(qū)域的光照能量積分差值小于10%。

本申請的面狀曝光系統(tǒng)，在實際使用過程中，待曝光區(qū)域置于有效曝光區(qū)域內(nèi)，通過移動光源組件，光源組件在沿所述移動軌跡移動一個所述曝光行程時，有效曝光區(qū)域內(nèi)的任意一點或任意一區(qū)域的光照能量積分差值小于10%，即，保證了進行曝光工作時，待曝光區(qū)域中各個位置被曝光具有較為一致的均勻性，保證良好的曝光效果；而且，由于是采用上述的方式實現(xiàn)曝光的均勻性，所以，在另一方面也相對的減小了對光源組件靜態(tài)光斑均勻性的要求，進而也減小了生產(chǎn)難度和制造成本；再一方面，在實際中，形成面狀光斑的光源組件，通常是有若干單個的光源單元組拼而成，面狀光斑也由光源單元形成的光斑單元組拼而成，所以，對于單個光源形成的光斑單元而言，其光斑單元內(nèi)部各個區(qū)域的輻照強度也存在差異，采用本申請的上述曝光系統(tǒng)，還進一步的消除了這種因光斑單元內(nèi)部輻照強度不均勻而導(dǎo)致曝光不均勻的問題；更進一步的，由于面狀光斑是由若干光斑單元依次拼接或部分重疊或間隙配合形成的，所以，在光斑單元之間或者重疊處，其輻照強度與其他部位的輻照強度并不相同，所以，采用本申請的面狀曝光系統(tǒng)，也消除了因光源單元拼接所引起曝光不均勻的問題。

優(yōu)選的，光源組件在沿所述移動軌跡移動一個所述曝光行程時，有效曝光區(qū)域內(nèi)的任意一點或任意一區(qū)域的光照能量積分相等。作為最優(yōu)的方案，即是使有效曝光區(qū)域內(nèi)的任意一點或任意一區(qū)域的光照能量積分相等，如此，即保證了各個點或區(qū)域被曝光的均勻性。

優(yōu)選的，所述光源組件沿所述移動軌跡移動一個所述曝光行程時，所述有效曝光區(qū)域始終處于被照射狀態(tài)。采用該種方式，即，采用一面狀光斑照射區(qū)域大于待曝光區(qū)域的光源組件，如此設(shè)置，可以大幅縮短曝光行程，一方面是提高曝光效果，另一方面，也能夠更精確的控制本申請面狀曝光系統(tǒng)的移動精度，進一步的提高曝光精度，再一方面，也能夠簡化移動本申請面狀曝光系統(tǒng)的驅(qū)動結(jié)構(gòu)，進而也方便了加工制造。

優(yōu)選的，所述光源組件包括有若干個光源單元，每一個所述光源單元在所述曝光面上都形成有一個光斑單元，相鄰的所述光斑單元依次拼接或部分重疊或間隙配合的形成所述面狀光斑。

優(yōu)選的，所述光源組件還包括有若干個用于調(diào)整光源單元發(fā)出光線的光學(xué)透鏡，每一個所述光源單元與一個光學(xué)透鏡配合。

每個光源單元都與一個光學(xué)透鏡相配合，使得光源單元發(fā)出的光線先被光學(xué)透鏡調(diào)整后再照射在曝光面上形成光斑單元，所以，各個光源單元的光斑單元以部分重疊的方式、相互拼接或者在相鄰光斑單元之間存在微小間隙的方式，形成長條狀的光斑，如此使得，形成光斑單元光線的光束角較小，光斑具有較高的有效輻照強度，進一步的提高了曝光效率和曝光的精密度。