[實用新型]一種硅單晶提拉爐的加熱裝置有效

申請號：	201720473563.1	申請日：	2017-04-28
公開（公告）號：	CN206858695U	公開（公告）日：	2018-01-09
發明（設計）人：	惠夢君;徐向眾	申請（專利權）人：	無錫市藍德光電科技有限公司
主分類號：	C30B29/06	分類號：	C30B29/06;C30B15/14
代理公司：	北京品源專利代理有限公司11332	代理人：	張海英,徐鵬飛
地址：	214174 江蘇省無***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種硅單晶提拉爐加熱裝置
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【權利要求書】：

1.一種硅單晶提拉爐的加熱裝置，其包括坩堝、主加熱器、輔助加熱器和旋轉支撐組件，所述主加熱器設置于所述坩堝的外圍，所述旋轉支撐組件包括坩堝托和支撐柱，所述坩堝設置于所述坩堝托上，所述支撐柱為空心結構，其一端連接于所述坩堝托上，其特征在于，所述輔助加熱器固定于所述支撐柱內，且與所述支撐柱同步上升或下降。

2.根據權利要求1所述的硅單晶提拉爐的加熱裝置，其特征在于，所述支撐柱和坩堝托外均包覆有保溫層。

3.根據權利要求1所述的硅單晶提拉爐的加熱裝置，其特征在于，所述坩堝包括石英坩堝和石墨坩堝，所述石英坩堝位于所述石墨坩堝內。

4.根據權利要求1所述的硅單晶提拉爐的加熱裝置，其特征在于，所述輔助加熱器整體為圓筒形、碟形或方形的任一種。

5.根據權利要求2所述的硅單晶提拉爐的加熱裝置，其特征在于，所述保溫層為固化碳氈或石墨軟氈的任一種或兩種組合。

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