[實用新型]檢查夾具及具備該檢查夾具的檢查裝置

有效

• 申請號: 201720465772.1
• 申請日: 2017-04-28
• 公開（公告）號: CN206848309U
• 公開（公告）日: 2018-01-05
• 發明（設計）人: 木津卓也;李俊華;何幼峰
• 申請（專利權）人: 日本電產理德機器裝置(浙江)有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R1/073;G01R31/28
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司31100
• 代理人: 張蘭英

技術領域

本實用新型涉及檢查夾具及具備該檢查夾具的檢查裝置，具體而言，本實用新型涉及電氣檢查諸如印刷線路板、集成板、電子元件或類似構件的基板的檢查夾具的結構。

背景技術

在諸如印刷線路板、集成板、電子元件或類似構件的基板中，會出現短路或線路未連接的不希望有的缺陷。為此，通過電氣檢查來檢查出這些缺陷?，F有技術中，采用檢查設備來檢查這些基板，檢查設備中的多個探針通過彈性變形壓抵于要檢查的基板，使得所有探針的同時電連接于基板，從而檢查出短路或未導電連接等瑕疵。

在基板檢查裝置中，將要檢查的基板設置在輸送臺上，并且將輸送臺移動到檢查夾具的正下方或剛好的位置。此后，通過將檢查夾具向下(基板在下方)或向上(基板在上方)移動到輸送臺側，將安裝在夾具上的檢針銷或探針的接觸頭與形成在基板上的電路圖案接觸，檢查電路圖案。

在JP2005-338065A中，如圖1所示，安裝有檢查夾具10的檢查設備100包括：

控制單元110，包括用于實現電氣判斷的檢查線路；

驅動單元120，其連接于控制單元110；以及

由驅動單元120驅動的檢查機構130。

檢查機構130設置有第一支承板131、第二支承板132和移動機構133。檢查夾具10附連于第一支承板131，第二支承板132設置成面對第一支承板131以安裝和保持要進行檢查的基板W。移動機構133用于有控制地單獨地使第一支承板131相對第二支承板132移動。移動機構133包括滾珠機構、液壓機構或類似機構構成，由驅動單元120驅動。隨著第一支承板131朝向基板W的移動，固定在第一支承板131上的檢查夾具10抵靠余基板W，從而對基板W進行電氣檢查。

如圖2所示，檢查夾具10包括前側支承體11、與前側支承體11相對并間隔一空間的后側支承體12和連接和固定前側支承體11和后側支承體13的多個支承柱13。前側支承體11和后側支承體12各呈板的形狀，并設置成其表面彼此平行。多個探針14穿過前側支承體11和后側支承體12，探針14的前端略微伸出前側支承體11的表面。

電極支承件15附連于后側支承體12的后側表面，如圖3所示。電極支承件15支承和固定多個電極16，每一電極16與相應的探針14導電接觸。在圖3中，僅僅示出一個探針14和一個電極16。但是，實際上，沿平面方向(即，前側支承體11的表面和后側支承體12的表面，如圖3所示)設置多個探針14和多個電極16。圖3未示出插入探針14的前側支承體11的插孔和后側支承體12的插孔的具體結構。

如圖3所示，前側支承體11構造成由多個支承板111、112、113從前側(安裝測試物體的一側)順序疊置而成。

多個探針14穿過多個支承板111、112、113中的插孔使探針的前端略微伸出前側支承體11的表面，如圖3示意性的示出，使這些探針的前端能夠與被檢查基板W導電接觸。

如圖4所示，前側支承體11包括第一板111、第二板112和第三板113。第一板111為與被檢查基板W接觸的面板，第二板112和第三板113通過多個支承柱13疊置在一起，而第一板111擱置在第二板112的表面上。圖4中僅僅示出多個支承柱13中的一個。支承柱13兩端134的直徑小于中間部135的直徑，將支承柱13的前端134插入第二板112和第三板113的第二孔中，然后第一板111擱置在第二板112上，由此形成前側支承體11。

這里，三個支承板111，112和113具有不同的功能，并且順序確定。然而，即使在JP-A 2005-338065中從頂部進行第二和第三板的更換和組裝的情況下，也可以進行將支承柱13的前端134插入前側支承體11的第二孔的工藝，而沒有問題。換句話說，生產將繼續進行，而實質上前側支承體11的第二板112和第三板113的安裝順序已經被改變。此時，作為夾具，前側支承體11不能顯示和完成原來的功能，導致夾具有缺陷。

實用新型內容

為了克服檢查夾具中形成支承體的各層疊板容易錯誤組裝的缺陷，本實用新型提供一種檢查夾具，其安裝在用于對檢查對象進行檢查的檢查裝置中，包括：

夾具頭部；以及

以能裝卸的方式與所述夾具頭部連接，并設置在所述夾具頭部的同所述檢查對象相反的一側，且安裝有電極的電極安裝部，

其中，所述夾具頭部包括：

具有檢查側貫通孔的檢查側支承體；

與所述檢查側支承體隔開間隔配置，且具有電極側貫通孔的電極側支承體；

將所述檢查側支承體與所述電極側支承體連接在一起的連接構件；以及