[實用新型]檢查夾具及具備該檢查夾具的檢查裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720464906.8
• 申請日: 2017-04-28
• 公開（公告）號: CN206848308U
• 公開（公告）日: 2018-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 木津卓也;李俊華
• 申請（專利權(quán)）人: 日本電產(chǎn)理德機器裝置(浙江)有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司31100
• 代理人: 沈捷

1.一種檢查夾具，安裝在用于對檢查對象進(jìn)行檢查的檢查裝置中，包括：

夾具頭部；以及

以能裝卸的方式與所述夾具頭部連接，并設(shè)置在所述夾具頭部的同所述檢查對象相反的一側(cè)，且安裝有電極的電極安裝部，

其中，所述夾具頭部包括：

具有檢查側(cè)貫通孔的檢查側(cè)支承體；

與所述檢查側(cè)支承體隔開間隔配置，且具有電極側(cè)貫通孔的電極側(cè)支承體；

將所述檢查側(cè)支承體與所述電極側(cè)支承體連接在一起的連接構(gòu)件；以及

貫穿所述電極側(cè)貫通孔和所述檢查側(cè)貫通孔、前端從所述檢查側(cè)支承體突出而能夠與檢查對象接觸、后端從所述電極側(cè)支承體突出而與電極接觸的多根探針，

所述檢查夾具的特征在于，

所述檢查側(cè)支承體包括：多個載放板，多個該載放板沿水平方向排列，且分別具有能夠與所述檢查對象接觸的載放面和供所述探針貫穿的貫通孔；以及支承板，該支承板從所述電極側(cè)支承體一側(cè)對多個所述載放板進(jìn)行支承，且形成有供所述探針貫穿的貫通孔。

2.如權(quán)利要求1所述的檢查夾具，其特征在于，

所述檢查側(cè)支承體還包括多個中間板，多個該中間板以分別與多個所述載放板對應(yīng)的方式夾設(shè)在所述載放板與所述支承板之間，且分別形成有供所述探針貫穿的貫通孔。

3.如權(quán)利要求2所述的檢查夾具，其特征在于，

所述支承板的厚度比所述載放板和所述中間板的厚度大。

4.如權(quán)利要求1所述的檢查夾具，其特征在于，

在所述檢查側(cè)支承體與所述電極側(cè)支承體之間設(shè)置有支承條，

所述支承條以橫跨多個所述載放板中的至少兩個載放板的方式沿多個所述載放板的排列方向延伸，

所述支承條的靠所述檢查側(cè)支承體一側(cè)的端面與所述檢查側(cè)支承體抵接，所述支承條的靠所述電極側(cè)支承體一側(cè)的端面與所述電極側(cè)支承體抵接。

5.如權(quán)利要求4所述的檢查夾具，其特征在于，

在水平方向中的與多個所述載放板的排列方向正交的方向上，至少在所述檢查側(cè)支承體的中間位置設(shè)置有所述支承條。

6.如權(quán)利要求1所述的檢查夾具，其特征在于，

所述檢查側(cè)支承體和所述電極側(cè)支承體俯視分別呈長方形。

7.如權(quán)利要求1所述的檢查夾具，其特征在于，

多個所述載放板的俯視時的輪廓不超出所述支承板的輪廓。

8.如權(quán)利要求1所述的檢查夾具，其特征在于，

所述支承板由環(huán)氧玻璃制成。

9.一種檢查裝置，其特征在于，包括：

權(quán)利要求1至8中任一項所述的檢查夾具；

移動機構(gòu)，該移動機構(gòu)用于使所述檢查夾具移動，且該移動機構(gòu)具有夾具安裝部，該夾具安裝部對所述電極安裝部進(jìn)行支承，并且在俯視時，該夾具安裝部的外形小于所述電極安裝部的外形；

搬運機構(gòu)，該搬運機構(gòu)用于搬運所述檢查對象；夾持機構(gòu)，該夾持機構(gòu)對所述檢查對象進(jìn)行夾持，以使所述檢查對象處于能夠被檢查的狀態(tài)；

控制部，該控制部對所述移動機構(gòu)、所述搬運機構(gòu)和所述夾持機構(gòu)進(jìn)行控制；以及

顯示部，該顯示部顯示對所述檢查對象檢查的結(jié)果。

10.如權(quán)利要求9所述的檢查裝置，其特征在于，

在俯視時，所述夾具安裝部的外形小于所述電極側(cè)支承體和所述檢查側(cè)支承體的外形。