[實用新型]一種電真空器件熔封裝置

有效

• 申請號: 201720464298.0
• 申請日: 2017-04-28
• 公開（公告）號: CN206758399U
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發明（設計）人: 盧裕;趙衛;田進壽;王俊鋒;徐向晏;賽小鋒;韋永林;劉虎林;溫文龍;辛麗偉;段東平;郭軍杰;張鐵;何建平
• 申請（專利權）人: 中國科學院西安光學精密機械研究所
• 主分類號: H01J9/18
• 分類號: H01J9/18
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司61211
• 代理人: 胡樂

技術領域：

本實用新型涉及一種電真空光電器件制作裝置。

背景技術：

超快現象(持續時間小于1μs)廣泛地出現在自然或科學技術研究中。例如，植物的光合作用過程、超大規模集成電路所產生的電脈沖、半導體材料載流子壽命、激光材料中的超快光激發態馳豫過程、化學反應的分子動力學過程、生物材料熒光發射、激光器產生的超短激光脈沖其持續時間、強光與物質相互作用物理過程等多在皮秒至飛秒量級，甚至于阿秒量級范圍內^[1]。因此超快現象研究對自然科學、能源、材料、生物、光物理、光化學、激光技術、強光物理、高能物理等研究及技術領域具有重要意義。

條紋相機能夠同時提供超快過程的一維空間(或光譜)、一維強度和一維時間共三維超快信息。條紋相機作為目前唯一的高時空分辨率的超快現象線性診斷工具，在時間分辨的超快現象研究中發揮著難以替代的作用。條紋相機主要由輸入光學系統、條紋變像管、圖像增強器及耦合系統、掃描電控、圖像采集及分析等組成。

條紋變像管是條紋相機的關鍵核心器件，主要由光電陰極、柵極、聚焦系統、偏轉器及成像單元組成，其結構原理如圖1所示。光電陰極用作條紋變像管光輻射探測敏感層，制作在條紋變像管輸入窗口真空一側，其功能是將被測輻射信息通過外光電效應轉化為光電子；柵極及聚焦系統對包含被測目標信息的電子進行軸向加速，并將加速后電子束在垂直軸向方向調制；偏轉系統通過所施加電壓實現被測目標時間信息向空間信息轉換；成像單元一般由熒光屏(或圖像增強器、CCD等成像器件)構成，將被測目標信息顯示為條紋圖像，從而完成超快過程的探測。

本申請主要針對電真空光電器件，典型的例如條紋變像管內部電極的熔封組裝。熔封過程既要保證每個電極之間的空間位置準確性，還要保證各電極之間相互位置精度，任一電極位置及相互關系產生偏差都會造成最終整管成像質量的嚴重缺陷甚至整管報廢，因此裝配精度和一致性要求很高；利用熔封裝置的控制，可保證熔封組裝的精度以及裝配的一致性，同時控制熔封的深度，使得裝配效率大大提升。

目前，傳統的條紋變像管內部電極的裝配都采用電極零件逐一點焊固定裝配的方法，全部由裝配工藝人員手工完成，該裝配方法存在以下問題：

1)各電極零件逐一進行裝配，各電極之間絕緣支撐結構需專門設計，使得多個電極的絕緣結構復雜多樣。

2)裝配過程中人工點焊，點焊及器件固定力度無法保證，焊接應力不均，造成后續器件制作過程中高溫變形。

3)組裝過程中各電極點焊位置差異，造成電極組裝固定結構不同，部分固定結構各個期間都有差異。

4)裝配效率及合格率低，后期調試需要花費大量時間。

發明內容

實用新型目的：

本實用新型的目的是解決目前電真空光電器件裝配過程中零件組裝效率較低的問題，減少不可控的工藝環節以及手工操作，提高零件組件產品的一致性和互換性，從而提高電真空光電器件制作的效率及成品率。

本實用新型的解決方案如下：

該電真空器件熔封裝置，包括臺架、工作臺、上模板、升降導柱、火頭以及電控單元；所述工作臺、升降導柱和火頭均定位安裝于所述臺架的臺面上，其中工作臺與臺架的臺面平行，工作臺上設置有絕緣子固定槽；所述上模板用于在其下表面固定待熔封的零件，上模板安裝于升降導柱上并與工作臺平行相對，在驅動機構的作用下能夠沿著升降導柱向工作臺移動；所述火頭布置于工作臺兩側對應于絕緣子固定槽，用于對絕緣子加熱，火頭能夠受控偏轉使得上模板與工作臺合攏的過程中避免干涉相互工作。

在以上方案的基礎上，本實用新型還進一步作了如下優化：

在臺架的臺面上、工作臺下方設置有溫度傳感器，用于對絕緣子熔封溫度進行監控。

在臺架的臺面上還布置了多個旋鈕和/或按鈕，分別對應于上模板升降動作手動開關及行程設定、火頭的氣體比例調節、火頭動作開關及旋轉方向和角度。

工作臺的臺面對應于工作臺區域下部設置有隔熱層。

上模板的幅面與工作臺的幅面相當。

上模板設置有與所述待熔封的零件匹配的接口。

上模板的驅動機構采用驅動電機或氣動執行件。

火頭采用氧氣和煤氣兩種氣體混合氣燃燒。

工作臺采用石英制成。

應用上述電真空器件熔封裝置進行零件熔封的方法，包括：

1)熔封準備