[實(shí)用新型]一種壓電式高頻振動臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720464093.2
• 申請日: 2017-04-28
• 公開（公告）號: CN206848301U
• 公開（公告）日: 2018-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 亢立;瞿磊
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州東菱振動試驗(yàn)儀器有限公司
• 主分類號: G01P21/00
• 分類號: G01P21/00
• 代理公司: 蘇州市中南偉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)32257
• 代理人: 姚惠菱

1.一種壓電式高頻振動臺，包括基座、第一壓電疊堆以及臺面，所述基座固定設(shè)置，所述第一壓電疊堆疊置于所述基座之上，所述臺面疊置于所述第一壓電疊堆之上，其特征在于，還包括第二壓電疊堆，所述第二壓電疊堆疊置于所述基座之下或所述臺面之上，所述第一壓電疊堆與所述第二壓電疊堆的相對面極性相反以使二者產(chǎn)生幅值相同，相位相反的運(yùn)動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電式高頻振動臺，其特征在于，所述壓電疊堆包括壓電晶體片和作為所述壓電晶體片導(dǎo)電極的導(dǎo)電片，所述壓電晶體片設(shè)置為至少兩層，相鄰壓電晶體片的相對面極性相同。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電式高頻振動臺，其特征在于，相鄰壓電晶體片的相對面共用同一導(dǎo)電片。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電式高頻振動臺，其特征在于，所述基座、所述第一壓電疊堆、所述臺面以及所述第二壓電疊堆通過外側(cè)套設(shè)有絕緣套的預(yù)緊螺栓穿接固定。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓電式高頻振動臺，其特征在于，所述第二壓電疊堆設(shè)于所述基座之下，所述預(yù)緊螺栓上端固定連接在所述臺面，所述預(yù)緊螺栓頭部位于所述第二壓電疊堆之下。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓電式高頻振動臺，其特征在于，所述第二壓電疊堆設(shè)于所述臺面之上，所述預(yù)緊螺栓下端固定連接在所述基座，所述預(yù)緊螺栓頭部位于所述第二壓電疊堆之上。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的壓電式高頻振動臺，其特征在于，所述預(yù)緊螺栓頭部與所述第二壓電疊堆之間設(shè)有墊圈板，所述墊圈板橫截面大于或等于所述第二壓電疊堆橫截面以使所述預(yù)緊螺栓的預(yù)緊力均勻分布于所述第二壓電疊堆。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電式高頻振動臺，其特征在于，包括一組或多組壓電結(jié)構(gòu)，每組壓電結(jié)構(gòu)包括豎直投影重疊的第一壓電疊堆和第二壓電疊堆，一組或多組壓電結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的振動中心與臺面中心同軸。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電式高頻振動臺，其特征在于，所述臺面為高剛度臺面，其材料的彈性模量不小于100GPa。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓電式高頻振動臺，其特征在于，所述預(yù)緊螺栓為高強(qiáng)度鋼螺栓，其抗拉強(qiáng)度不小于1GPa，所述墊圈板為高強(qiáng)度鋼墊圈板，其抗拉強(qiáng)度不小于1GPa。