[實用新型]承載盤及其與噴嘴裝置的組合

有效

• 申請號: 201720463817.1
• 申請日: 2017-04-28
• 公開（公告）號: CN206864441U
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 王萬昌;林冠廷
• 申請（專利權）人: 春田科技顧問股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/67
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司11355
• 代理人: 張雅軍,謝瓊慧

技術領域

本實用新型涉及一種氣體充填裝置的承載盤，特別是涉及一種用以承載傳送盒的承載盤及其與噴嘴裝置的組合。

背景技術

氣體充填裝置設置在半導體制造裝置前側，氣體充填裝置用以承載前開式晶圓傳送盒(FOUP)，使得半導體制造裝置能通過氣體充填裝置對前開式晶圓傳送盒內的晶圓進行存取。

參閱圖1、圖2及圖3，現有氣體充填裝置包括有一承載盤1，及多個噴嘴(圖未示)。承載盤1具有一用以承載前開式晶圓傳送盒的承載板11、多個分別供所述噴嘴安裝的安裝件12，及多個鎖固單元13。承載板11界定出多個穿孔111，及多個螺孔112，各穿孔111外周圍環繞有四個彼此相間隔的螺孔112。欲將噴嘴組裝于承載盤1時，需先將各安裝件12穿設于對應穿孔111內，隨后，通過各鎖固單元13的多個螺絲131穿過對應的安裝件12并且分別螺鎖于對應的螺孔112，以將安裝件12鎖固于承載板11。接著，再將各噴嘴安裝于對應安裝件12的一安裝孔121內，使噴嘴能通過安裝件12固定在承載板11。

由于前述組裝過程需通過多個螺絲131先將各個安裝件12鎖固于承載板11后才能進行噴嘴的組裝，因此，組裝過程復雜且易耗費工時。此外，由于承載盤1的組成元件多，因此，承載盤1結構較為復雜且制造成本較高。再者，各安裝件12呈圓形且其直徑具有一定的尺寸，各安裝孔121與承載板11的一對應的端邊113間的垂直距離在設計時就必須要至少大于安裝件12的半徑，以避免安裝件12組裝于承載板11后凸伸出端邊113的情形產生，因此，安裝件12的組裝位置及其安裝孔121的位置便會受到較多的限制。

發明內容

本實用新型的一目的，在于提供一種承載盤，便于供噴嘴組裝并能縮短噴嘴的組裝工時。

本實用新型的另一目的，在于提供一種承載盤，其結構簡單能降低制造成本，且安裝孔位置在設計上較有彈性。

本實用新型的目的及解決背景技術問題是采用以下技術方案來實現的，依據本實用新型提出的承載盤包含一頂面，及一底面，該頂面用以承載一傳送盒，該底面相反于該頂面，該承載盤直接形成有至少一對貫穿于該頂面與該底面的安裝孔，各該安裝孔用以供一噴嘴安裝。

各該安裝孔具有一由該頂面朝該底面方向凹陷的大孔徑部，及一由該底面朝該頂面方向凹陷并與該大孔徑部相連通的小孔徑部，該大孔徑部孔徑大于該小孔徑部孔徑。

該承載盤還包括一界定于該大孔徑部與該小孔徑部間的肩面。

該大孔徑部為一具有內螺紋的螺孔，該小孔徑部為一通孔。

該小孔徑部為一具有內螺紋的螺孔，該大孔徑部為一通孔。

該大孔徑部及該小孔徑部分別為一具有內螺紋的螺孔。

該大孔徑部及該小孔徑部分別為一通孔。

該承載盤還包括一前邊，及一相反于該前邊的后邊，該承載盤界定有兩對分別鄰近于該前邊與該后邊的安裝孔。

本實用新型的另一目的，在于提供一種承載盤與噴嘴裝置的組合，承載盤便于供噴嘴組裝并能縮短噴嘴的組裝工時。

本實用新型的又一目的，在于提供一種承載盤與噴嘴裝置的組合，承載盤結構簡單能降低制造成本，且安裝孔位置在設計上較有彈性。

本實用新型的目的及解決背景技術問題是采用以下技術方案來實現的，依據本實用新型提出的承載盤與噴嘴裝置的組合，包含一承載盤，及一噴嘴裝置，該承載盤包括一用以承載一傳送盒的頂面，及一相反于該頂面的底面，該承載盤直接形成有至少一對貫穿于該頂面與該底面的安裝孔，該噴嘴裝置包括至少一對噴嘴，各該噴嘴安裝于對應的該安裝孔內。

各該安裝孔具有一由該頂面朝該底面方向凹陷的大孔徑部，及一由該底面朝該頂面方向凹陷并與該大孔徑部相連通的小孔徑部，該大孔徑部孔徑大于該小孔徑部孔徑，該大孔徑部與該小孔徑部至少其中之一與對應的該噴嘴結合。

該承載盤還包括一界定于該大孔徑部與該小孔徑部間的肩面，該肩面擋止對應的該噴嘴。

該大孔徑部為一具有內螺紋并與對應的該噴嘴螺鎖的螺孔，該小孔徑部為一供對應的該噴嘴穿伸的通孔。

該小孔徑部為一具有內螺紋并與對應的該噴嘴螺鎖的螺孔，該大孔徑部為一供對應的該噴嘴穿伸的通孔。

該大孔徑部及該小孔徑部分別為一具有內螺紋并與對應的該噴嘴螺鎖的螺孔。

該大孔徑部及該小孔徑部分別為一通孔，各該噴嘴以緊配合方式卡合于對應的該安裝孔的該大孔徑部及該小孔徑部內。

該承載盤還包括一前邊，及一相反于該前邊的后邊，該承載盤界定有兩對分別鄰近于該前邊與該后邊的安裝孔，該噴嘴裝置包括兩對噴嘴，所述兩對噴嘴分別安裝于所述兩對安裝孔內。