[實用新型]一種用于測試非導電樣品表面形貌的電鏡平臺

有效

• 申請號: 201720461544.7
• 申請日: 2017-04-28
• 公開（公告）號: CN206921783U
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發明（設計）人: 李琰琪;劉國;王鈺雅;侯玉;王栩生;涂修文;邢國強
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;G01N23/22
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 張海英,林波

技術領域

本實用新型涉及非導電樣品測試設備技術領域，尤其涉及一種用于測試非導電樣品表面形貌的電鏡平臺。

背景技術

現有技術中，掃描電鏡是一種樣品制備簡單、分辨高、綜合分析能力強的測試分析設備，已廣泛應用于各類材料的表面和截面微觀分析。在做一些測試時，固定樣品通常使用導電膠，但是眾所周知，不管是導電膠帶還是導電膠水，使用的均是有機物質中間摻導電顆粒制成，所以導電性能不是很好，這導致在測試半導體，如硅，這種類型的樣品時經常出現“黑紋”“污染”“漂移”等現象，這些現象極大的降低了圖片質量。另外，采用導電膠粘在平臺上，在測試后取下樣品時，難免會損壞樣品。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提出一種用于測試非導電樣品表面形貌的電鏡平臺，測試時無需導電膠固定樣品，能夠極大改善圖片質量、解決“黑紋”和“漂移”的問題，避免損壞樣品。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種用于測試非導電樣品表面形貌的電鏡平臺，包括測試平臺和設置于所述測試平臺底部的底座，所述測試平臺和所述底座之間設置有彈性件，所述測試平臺上倒扣設置有底部開口的筒形的蒙蓋，所述蒙蓋的側壁與所述底座可拆卸連接，所述測試平臺的頂面和所述蒙蓋的內部頂面中的一個設置有用于放置樣品的樣品放置結構，所述蒙蓋的頂面開設有樣品觀察口，所述樣品觀察口對應并連通所述樣品放置結構。

作為一種優選方式，所述測試平臺、所述底座及所述彈性件均可導電。

作為一種優選方式，所述蒙蓋可導電，所述蒙蓋的內側的徑向尺寸與所述底座的外側的徑向尺寸相適應。

作為一種優選方式，所述樣品放置結構為設置于所述測試平臺的頂面且外形與樣品相適應的平臺凹槽，所述平臺凹槽的徑向尺寸大于樣品的徑向尺寸，所述平臺凹槽的深度小于樣品的厚度。

作為一種優選方式，所述樣品觀察口的徑向尺寸小于樣品的徑向尺寸，所述樣品觀察口的中心與所述平臺凹槽的中心對齊。

作為一種優選方式，所述樣品放置結構為設置于所述蒙蓋的內部頂面且外形與樣品相適應的蒙蓋凹槽，所述蒙蓋凹槽的徑向尺寸大于樣品的徑向尺寸，所述蒙蓋凹槽的深度小于樣品的厚度。

作為一種優選方式，所述樣品觀察口的徑向尺寸小于樣品的徑向尺寸，所述樣品觀察口的中心與所述蒙蓋凹槽的中心對齊。

作為一種優選方式，所述樣品放置結構為設置于所述測試平臺的頂面且外形與樣品相適應的平臺凹槽和設置于所述蒙蓋的內部頂面且外形與樣品相適應的蒙蓋凹槽，所述平臺凹槽的徑向尺寸、所述蒙蓋凹槽的徑向尺寸均大于樣品的徑向尺寸，所述平臺凹槽的深度、所述蒙蓋凹槽的深度均小于樣品的厚度的一半。

作為一種優選方式，所述樣品觀察口的徑向尺寸小于樣品的徑向尺寸，所述樣品觀察口的中心與所述平臺凹槽的中心、所述蒙蓋凹槽的中心對齊。

作為一種優選方式，所述蒙蓋的側部開設有蒙蓋連接孔，所述底座的側部開設有底座連接孔，卡槽栓依次穿過所述蒙蓋連接孔、所述底座連接孔中，以實現所述蒙蓋與所述底座的連接。

本實用新型的用于測試非導電樣品表面形貌的電鏡平臺，其將樣品放置在測試平臺或蒙蓋上的樣品放置結構處，并夾持于測試平臺和蒙蓋之間，并在觀察口處觀察樣品表面形貌，利用彈性件很好地實現彈性緩沖，從而在蒙蓋與底座連接時，蒙蓋給予樣品擠壓力，該擠壓力在彈性件的作用下成為柔性擠壓，能夠避免損壞樣品，這種固定方式很好地解決了現有技術中采用導電膠固定樣品的缺陷，在測試時無需導電膠固定樣品，使得樣品固定穩定，能夠極大改善圖片質量、解決“黑紋”和“漂移”的問題。

附圖說明

圖1是本實用新型提供的電鏡平臺的剖面結構示意圖；

圖2是本實用新型提供的電鏡平臺在移除蒙蓋和卡槽栓后的結構示意圖；

圖3是本實用新型提供的測試平臺的結構示意圖；

圖4是本實用新型提供的蒙蓋的立體結構示意圖；

圖5是本實用新型提供的蒙蓋的俯視結構示意圖。

圖中：100-樣品；

1-測試平臺；11-平臺凹槽；2-底座；21-底座連接孔；3-彈性件；4-蒙蓋；41-樣品觀察口；42-蒙蓋連接孔；5-卡槽栓。

具體實施方式

下面結合附圖1-5并通過具體實施方式來進一步說明本實用新型的技術方案。