[實用新型]一種用于低濃度工業廢氣在線檢測的富集器

有效

• 申請號: 201720460110.5
• 申請日: 2017-04-26
• 公開（公告）號: CN206671270U
• 公開（公告）日: 2017-11-24
• 發明（設計）人: 馬彥濤
• 申請（專利權）人: 深圳市達英和自動化工程有限公司
• 主分類號: G01N30/08
• 分類號: G01N30/08;G01N1/34
• 代理公司: 深圳市恒申知識產權事務所(普通合伙)44312
• 代理人: 王利彬

1.一種用于低濃度工業廢氣在線檢測的富集器，其特征在于，包括基板、吸附劑、第一叉指電極、第二叉指電極、加熱器以及上蓋，所述上蓋具有凹陷部，所述上蓋扣蓋在所述基板上，且所述凹陷部與所述基板形成腔體，所述第一叉指電極和第二叉指電極設置在所述腔體內，所述吸附劑覆蓋在所述第一叉指電極和第二叉指電極之間，所述加熱器設置在所述基板上，所述腔體具有進氣口和出氣口，所述進氣口與氣泵連通，所述出氣口與分析儀器連通，所述第一叉指電極與所述第二叉指電極分別與電阻檢測裝置電連接，且所述電阻檢測裝置、氣泵以及富集器均與控制裝置電連接。

2.如權利要求1所述的用于低濃度工業廢氣在線檢測的富集器，其特征在于，所述第一叉指電極和第二叉指電極均具有電極端和若干引腳，所述電阻檢測裝置分別與所述第一叉指電極和第二叉指電極的電極端連接，所述第一叉指電極的若干引腳與第二叉指電極的若干引腳相間設置。

3.如權利要求1所述的用于低濃度工業廢氣在線檢測的富集器，其特征在于，所述第一叉指電極和第二叉指電極的制作材料為金或鉑。

4.如權利要求1所述的用于低濃度工業廢氣在線檢測的富集器，其特征在于，所述基板為硅片或氮化硅薄膜，且所述基板的厚度不大于0.5mm。

5.如權利要求1所述的用于低濃度工業廢氣在線檢測的富集器，其特征在于，所述加熱器的制作材料為鉑。

6.如權利要求1所述的用于低濃度工業廢氣在線檢測的富集器，其特征在于，所述控制裝置為單片機或PLC。