[實(shí)用新型]一種用于彩色過(guò)濾層制備的工藝涂膠裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720455692.8
• 申請(qǐng)日: 2017-04-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207042770U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-02-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉佰紅;楊煒平;楊麗麗;楊曉雪;殷艷娥;段良飛;石春明;馬躍霞
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 云南北方奧雷德光電科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B05C5/02
• 分類號(hào): B05C5/02;B05C11/10
• 代理公司: 昆明祥和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司53114
• 代理人: 張亦凡

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種用于彩色過(guò)濾層制備的工藝涂膠裝置，屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

彩色光刻膠是彩色顯示屏工藝制備的重要材料，彩色光刻膠儲(chǔ)存周期短、對(duì)光敏感、易燃有毒，需避光低溫保存。目前，用于彩色過(guò)濾層制備的涂膠機(jī)中多采用管道輸送彩色光刻膠至噴頭處進(jìn)行涂膠的方式經(jīng)行大規(guī)模的工藝生產(chǎn)，噴嘴及管道中的彩色光刻膠因長(zhǎng)時(shí)間殘留容易凝結(jié)、感光變質(zhì)造成彩色光刻膠的污染。此外，管道中的微小氣泡和顆粒物也將影響彩色過(guò)濾層制備過(guò)程的涂膠質(zhì)量，顯影后表面呈現(xiàn)出放射狀條紋、針孔、氣泡等現(xiàn)象，影響了涂膠產(chǎn)品的良品率。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，設(shè)計(jì)了一種用于彩色過(guò)濾層制備的工藝涂膠裝置。

本實(shí)用新型一種用于彩色過(guò)濾層制備的工藝涂膠裝置，其特征在于該裝置包括雙軸線性模組裝置和滴管裝置；雙軸線性模組裝置由水平驅(qū)動(dòng)線性模組和垂直驅(qū)動(dòng)線性模組構(gòu)成，垂直驅(qū)動(dòng)線性模組與水平驅(qū)動(dòng)線性模組的滑塊一固定連接，滴管裝置與垂直驅(qū)動(dòng)線性模組的滑塊二固定連接；所述滴管裝置由塑料滴管和滴管腔室構(gòu)成；塑料滴管位于滴管腔室正下方，塑料滴管管口與滴管腔室管口承插連接。

所述的水平驅(qū)動(dòng)線性模組由第一步進(jìn)電機(jī)、第一皮帶、第一滑塊、第一直線滑軌和第一直線滑軌兩側(cè)的第一支撐座構(gòu)成，第一滑塊與第一直線滑軌活動(dòng)連接，第一直線滑軌兩側(cè)與第一支撐座固定連接，第一滑軌底板兩側(cè)固定安裝有第一步進(jìn)電機(jī)和第一帶輪，第一皮帶與第一帶輪活動(dòng)連接，第一皮帶一端與第一滑塊固定連接；所述垂直驅(qū)動(dòng)線性模組由第二步進(jìn)電機(jī)、第二皮帶、第二滑塊、第二直線滑軌和第二直線滑軌兩側(cè)的第二支撐座構(gòu)成，第二滑塊與第二直線滑軌活動(dòng)連接，第二直線滑軌兩側(cè)與第二支撐座固定連接，第二滑軌底板兩側(cè)固定安裝有第二步進(jìn)電機(jī)和第二帶輪，第二皮帶與第二帶輪活動(dòng)連接，第二皮帶一端與第二滑塊固定連接。

所述滴管腔室由涂膠控制腔室、滴管更換腔室和滴管腔室外殼構(gòu)成；涂膠控制腔室位于滴管腔室上半部分，滴管更換腔室位于滴管腔室下半部分，涂膠控制腔室和滴管更換腔室均設(shè)置在滴管腔室外殼內(nèi)；所述涂膠控制腔室由第一活動(dòng)鐵芯、推桿、活塞、第一吸引線圈、第一回位彈簧構(gòu)成；第一活動(dòng)鐵芯位于涂膠控制腔室內(nèi)頂側(cè)，第一活動(dòng)鐵芯底面與推桿上端固定連接，推桿下端連接活塞，推桿周圍、滴管腔室內(nèi)壁面固定安裝有第一吸引線圈，活塞下方設(shè)置有第一回位彈簧；所述滴管更換腔室由第二活動(dòng)鐵芯、第二吸引線圈、第二回位彈簧構(gòu)成；第二活動(dòng)鐵芯位于涂膠控制腔室內(nèi)頂側(cè)，第二活動(dòng)鐵芯下方設(shè)置有第二回位彈簧，第二回位彈簧下方、滴管腔室內(nèi)壁面固定安裝有第二吸引線圈。

最佳的，所述的彩色過(guò)濾層制備的工藝涂膠裝置還包括控制單元，控制單元通過(guò)懸桿與滴管腔室外殼固定連接，由顏色傳感器和控制單元構(gòu)成；顏色傳感器信號(hào)采集方向面向塑料滴管。

本發(fā)明的工作原理為：該裝置具有檢測(cè)滴管所處狀態(tài)、水平移動(dòng)滴管裝置、垂直移動(dòng)滴管裝置、裝載塑料滴管、卸載塑料滴管、自動(dòng)取膠和自動(dòng)涂膠等功能。

滴管所處狀態(tài)檢測(cè)：涂膠前需對(duì)滴管所處狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)，為后續(xù)步驟提供依據(jù)。顏色傳感器發(fā)射測(cè)試光，經(jīng)彩色光刻膠液面反射后被顏色傳感器接受，通過(guò)對(duì)反射光波信號(hào)處理、分析得出塑料滴管所處狀態(tài)，包括：（1）滴管裝置是否安裝有塑料滴管；（2）塑料滴管是否曾被使用過(guò)；（3）使用過(guò)的塑料滴管殘存的彩色光刻膠顏色。

水平移動(dòng)滴管裝置：水平移動(dòng)滴管裝置由水平驅(qū)動(dòng)線性模組操作完成，當(dāng)?shù)谝徊竭M(jìn)電機(jī)控制開(kāi)關(guān)正向閉合時(shí)，第一步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)帶輪正向旋轉(zhuǎn)，第一皮帶帶動(dòng)第一滑塊沿第一直線滑軌水平向右移動(dòng)；當(dāng)?shù)谝徊竭M(jìn)電機(jī)控制開(kāi)關(guān)反向閉合時(shí)，第一步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)帶輪反向旋轉(zhuǎn)，第一皮帶帶動(dòng)第一滑塊沿第一直線滑軌水平向左移動(dòng)；根據(jù)步進(jìn)尺寸完成滴管裝置水平方向的位移。

垂直移動(dòng)滴管裝置：垂直移動(dòng)滴管裝置由垂直驅(qū)動(dòng)線性模組操作完成，當(dāng)?shù)诙竭M(jìn)電機(jī)控制開(kāi)關(guān)正向閉合時(shí)，第二步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)帶輪正向旋轉(zhuǎn)，第二皮帶帶動(dòng)第二滑塊沿第二直線滑軌垂直向下移動(dòng)；當(dāng)?shù)诙竭M(jìn)電機(jī)控制開(kāi)關(guān)反向閉合時(shí)，第二步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)帶輪反向旋轉(zhuǎn)，第二皮帶帶動(dòng)第二滑塊沿第二直線滑軌垂直向上移動(dòng)；根據(jù)步進(jìn)尺寸完成滴管裝置垂直方向的位移。