[實用新型]一種半導體晶粒生產加工用的拉晶爐

有效

• 申請號: 201720452895.1
• 申請日: 2017-04-27
• 公開（公告）號: CN207052573U
• 公開（公告）日: 2018-02-27
• 發明（設計）人: 夏倩
• 申請（專利權）人: 深圳晶鼎科實業有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導體晶粒的生產加工用的拉晶爐，包括底座、支撐架和爐體，其特征在于，所述底座底部兩側開設有空腔，空腔內頂部通過螺栓固定方式固定連接有微型氣缸，微型氣缸底部通過活塞桿連接有滾輪，滾輪位于空腔內部，所述支撐架頂部轉動連接有Z形連接桿，Z形連接桿一端穿過支撐架且與外部動力驅動裝置相連；所述Z形連接桿另一端轉動連接爐體，所述爐體內橫向設置有旋轉軸，旋轉軸上套設有移動件，所述移動件底部固定連接有排料板，所述爐體頂部通過螺栓固定方式固定連接有驅動電機，驅動電機軸伸端通過傳動裝置連接旋轉軸。

2.根據權利要求1所述的一種半導體晶粒的生產加工用的拉晶爐，其特征在于，所述底座表面固定連接有支撐架，支撐架為套管結構，且支撐架上開設有螺栓孔。

3.根據權利要求1所述的一種半導體晶粒的生產加工用的拉晶爐，其特征在于，所述爐體頂部開設有進料口，進料口與爐體內連通，且爐體兩側底部底部設置有排料口，排料口與爐體連通。

4.根據權利要求1所述的一種半導體晶粒的生產加工用的拉晶爐，其特征在于，所述旋轉軸一端與爐體轉動連接，另一端延伸至爐體外側。

5.根據權利要求1所述的一種半導體晶粒的生產加工用的拉晶爐，其特征在于，所述旋轉軸上均勻分布有螺紋，移動件與旋轉軸螺紋連接。

6.根據權利要求1所述的一種半導體晶粒的生產加工用的拉晶爐，其特征在于，所述排料板與爐體均為方形結構，且排料板抵接在爐體底部。

7.根據權利要求1所述的一種半導體晶粒的生產加工用的拉晶爐，其特征在于，所述爐體頂部涂刷有隔熱材料。