[實(shí)用新型]一種透射式背散射電子衍射樣品臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720447598.8
• 申請(qǐng)日: 2017-04-26
• 公開（公告）號(hào): CN207133208U
• 公開（公告）日: 2018-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許峰;金傳偉;張珂
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇省沙鋼鋼鐵研究院有限公司
• 主分類號(hào): G01N23/203
• 分類號(hào): G01N23/203
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及背散射電子衍射樣品臺(tái)，特別涉及一種掃描電鏡進(jìn)行透射式背散射電子衍射實(shí)驗(yàn)使用的樣品臺(tái)。

背景技術(shù)

目前EBSD技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于各種晶體結(jié)構(gòu)材料，包括鋼鐵、有色金屬及合金、陶瓷、半導(dǎo)體、礦石等，研究其熱處理過程的形核和長(zhǎng)大現(xiàn)象，塑性變形過程中的形變孿生和位錯(cuò)滑移，微區(qū)織構(gòu)與取向分析、相鑒定等等。傳統(tǒng)的EBSD系統(tǒng)采用反射法，所能達(dá)到的極限分辨率約為100nm。但是對(duì)于大塑性變形樣品、納米級(jí)晶粒尺寸材料和精細(xì)結(jié)構(gòu)表征，傳統(tǒng)EBSD系統(tǒng)的分辨率不足，需要使用新的透射式背散射電子衍射(T-EBSD)方法。新方法使用透射電子顯微鏡樣品在掃描電鏡中進(jìn)行T-EBSD表征，樣品直徑3mm，厚度一般在50～100μm，電子穿透樣品厚度薄，能量損失小，空間分辨率可達(dá)10～12nm。常規(guī)反射法EBSD實(shí)驗(yàn)用樣品臺(tái)主要有兩種，分別為普通掃描電鏡用樣品臺(tái)和70°EBSD預(yù)傾臺(tái)。在專利CN 204575570U公開的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)、專利CN 201556600U公開的掃描電鏡電子背散射衍射試樣用樣品臺(tái)、專利CN 201697885U公開的用于電子背散射衍射測(cè)量的多功能樣品臺(tái)和專利CN 204694653U公開的一種用于EBSD測(cè)試的樣品臺(tái)中，EBSD用樣品臺(tái)均屬常規(guī)反射法EBSD樣品臺(tái)，不適用于透射式背散射電子衍射實(shí)驗(yàn)。專利CN 203824939U公開的透射式電子背散射衍射實(shí)驗(yàn)用樣品臺(tái)中透射法EBSD樣品臺(tái)能進(jìn)行T-EBSD實(shí)驗(yàn)，但樣品裝夾支架結(jié)構(gòu)復(fù)雜，壓片未倒角，樣品衍射花樣可能被遮擋，從而影響EBSD標(biāo)定率。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、樣品夾持穩(wěn)定性好、衍射花樣遮擋可能性小的透射式背散射電子衍射實(shí)驗(yàn)樣品臺(tái)。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種透射式背散射電子衍射樣品臺(tái)，包括底座，下夾持片，墊片，上夾持片，固定螺絲；底座為開有斜面及螺孔的雙圓柱；下夾持片后部開有通孔，與底座斜面上的螺孔相配合，通過固定螺絲固定在底座上；下夾持片前部中間位置開有樣品觀測(cè)孔，樣品觀測(cè)孔的上端開有倒角，樣品觀測(cè)孔的上端面開有凹槽以放置樣品，上置墊片；凹槽兩邊開有螺孔，與上夾持片兩側(cè)的通孔相配合，通過固定螺絲將樣品完全固定。

優(yōu)選的，所述的透射式背散射電子衍射樣品臺(tái)的底座的斜面與水平面夾角為60°，材料以輕合金為宜。

優(yōu)選的，所述的透射式背散射電子衍射樣品臺(tái)的樣品觀測(cè)孔直徑2mm，位于下夾持片前部中間位置，其上端面的凹槽直徑3mm，深度0.2mm，樣品觀測(cè)孔上端倒角45°。

優(yōu)選的，所述的透射式背散射電子衍射樣品臺(tái)的圓環(huán)形墊片的尺寸為外徑3mm，內(nèi)徑2.5mm，厚度0.18mm；上夾持片厚度為1mm。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型至少具有如下有益效果：

(1)本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，可用于透射樣品直接進(jìn)行T-EBSD實(shí)驗(yàn)；

(2)樣品經(jīng)墊片輔助夾持，穩(wěn)定性好，確保樣品在實(shí)驗(yàn)過程中不發(fā)生偏移；

(3)上夾持片樣品孔上端開有倒角，極大降低衍射花樣被遮擋的幾率，衍射花樣辨識(shí)清晰，顯著提高EBSD系統(tǒng)標(biāo)定率。

附圖說明

圖1為透射式背散射電子衍射樣品臺(tái)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的底座結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型的樣品夾持部分示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合說明書附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明，但該實(shí)施例不應(yīng)理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。