[實(shí)用新型]背照式圖像傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720444920.1
• 申請(qǐng)日: 2017-04-25
• 公開（公告）號(hào): CN207320116U
• 公開（公告）日: 2018-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: D·貝努瓦;O·欣西格;E·格維斯特
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 意法半導(dǎo)體（克洛爾2）公司
• 主分類號(hào): H01L27/146
• 分類號(hào): H01L27/146
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所11256
• 代理人: 王茂華,張昊

1.一種背照式圖像傳感器，其特征在于，包括存儲(chǔ)器區(qū)域(9)，所述存儲(chǔ)器區(qū)域形成于半導(dǎo)體晶圓中，每個(gè)存儲(chǔ)器區(qū)域位于兩個(gè)不透明壁(80)之間，所述兩個(gè)不透明壁延伸到所述晶圓中并且與安排在所述存儲(chǔ)器區(qū)域的后表面處的不透明屏幕(96)接觸。

2.如權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，對(duì)于每個(gè)存儲(chǔ)器區(qū)域(9)，所述不透明壁(80)和所述不透明屏幕(96)是導(dǎo)電的并且連接至偏置電位的施加節(jié)點(diǎn)。

3.如權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述不透明壁(80)和所述不透明屏幕(96)由鎢制成，并且所述不透明壁具有在從50nm到200nm范圍內(nèi)的厚度。

4.如權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述不透明壁(80)通過氧化鉿層(70)與所述存儲(chǔ)器區(qū)域(9)分離。

5.如權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，每個(gè)不透明壁(80)通過多晶硅層(15，40)與相關(guān)聯(lián)存儲(chǔ)器區(qū)域(9)分離，所述多晶硅層通過氧化硅層(13)與所述相關(guān)聯(lián)存儲(chǔ)器區(qū)域分離。

6.如權(quán)利要求5所述的傳感器，其特征在于，所述不透明壁(80)通過氧化鉿層(70)與所述多晶硅層(15，40)分離。