[實用新型]一種離子源發生裝置

有效

• 申請號: 201720443179.7
• 申請日: 2017-04-25
• 公開（公告）號: CN206742191U
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發明（設計）人: 何濤
• 申請（專利權）人: 蘇州同冠微電子有限公司
• 主分類號: H01J27/08
• 分類號: H01J27/08
• 代理公司: 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙)11489
• 代理人: 曹軍

技術領域

本實用新型涉及離子源技術領域，特別地，涉及一種離子源發生裝置。

背景技術

離子源是產生離子的地方,產生離子的方法有許多種,比如高壓電離等，在離子注入機中常用的離子源是氣體放電、電子束對氣體原子(或分子)的碰撞，帶電粒子對氣體原子(或分子)發生撞擊使其電離產生離子，并被引出成束，然而一些離子源設備結構繁瑣，操作復雜，并且在離子源發生的過程中，離子或電子會撞擊電弧室的側壁產生粉塵碎屑，這些粉塵碎屑落到燈絲上會影響燈絲發射電子，從而影響離子的產生，導致離子生成量較少，降低了離子源發生設備的利用率。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：為了克服上述現有技術中存在的不足，現提供一種結構簡單、更易于生產的離子源發生裝置，使得離子源壽命延長，提高離子源發生設備的利用率。

本實用新型解決其技術問題所要采用的技術方案是：一種離子源發生裝置，包括電弧套、兩根燈絲、電弧環、外擋罩和內擋罩，所述外擋罩套設在所述電弧套的外部，所述內擋罩收容在所述電弧套的內部，兩根所述燈絲設置在所述內擋罩的內部，所述電弧環搭接在兩根所述燈絲上方，所述外擋罩與所述內擋罩均呈卷曲形成的筒狀結構，且所述外擋罩與所述內擋罩均由彈性材料制成。

進一步地，所述外擋罩、所述內擋罩均由316不銹鋼材料制成。

進一步地，所述外擋罩的內壁與所述電弧套的外壁相貼合，所述內擋罩的外壁與所述電弧套的內壁相貼合。

進一步地，所述電弧套的材質為石墨。

進一步地，每根所述燈絲的兩端彎折設置，每根所述燈絲的中部設置成弧狀結構，兩根所述燈絲上的弧狀結構相對設置。

進一步地，所述電弧環上設有兩個相對設置的支架，所述支架搭接在所述燈絲的弧狀結構上。

本實用新型的有益效果是：本實用新型的一種離子源發生裝置，在電弧套的內壁和外壁增加內擋罩和外擋罩，避免了電子或離子撞擊在電弧套側壁上產生的石墨粉塵碎屑對燈絲的干擾，延長了離子源發生裝置的壽命，且提高離子源發生裝置的利用率，結構簡單、易于生產。

附圖說明

為了使本實用新型的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中

圖1為本實用新型的一種離子源發生裝置的分解圖。

圖中：1、電弧套，2、燈絲，3、電弧環，31、支架，4、外擋罩，5、內擋罩。

具體實施方式

現在結合附圖對本實用新型作詳細的說明。此圖為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

請參照圖1所示，本實用新型提供了一種離子源發生裝置，該離子源發生裝置包括電弧套1、兩根燈絲2、電弧環3、外擋罩4和內擋罩5，其中，外擋罩4套設于所述電弧套1的外部，內擋罩5收容于電弧套1的內部，燈絲2設置在內擋罩5內，電弧環3搭接在燈絲2上。

電弧套1大致呈兩端具有開口的中空筒狀結構，本實施方式中，電弧套1的材質為石墨，石墨材料能夠起到隔熱作用。

外擋罩4大致呈兩端具有開口的中空筒狀結構，外擋罩4套設在電弧套1的外部。本實施方式中，外擋罩4由平板卷曲而形成，且外擋罩4由彈性材料制成，使用時，直接掰開外擋罩4的兩端，外擋罩4發生彈性變形，使外擋罩4能夠套在電弧套1上，松開外擋罩4，外擋罩4復位，從而固定套設在電弧套1上。

內擋罩5大致呈兩端具有開口的中空筒狀結構，內擋罩5收容在電弧套1的內部。本實施方式中，內擋罩5由平板卷曲而形成，且內擋罩5由彈性材料制成，使用時，直接掰緊內擋罩5的兩端，內擋罩5發生彈性變形，使內擋罩5能夠繃緊在電弧套1上，松開內擋罩5，內擋罩5復位，從而固定收容在電弧套1上。

進一步地，外擋罩4的內壁與電弧套1的外壁相貼合，內擋罩5的外壁與電弧套1的內壁相貼合。圖1中箭頭所示方向為外擋罩4和內擋罩5的套設方向。

本實施方式中，外擋罩4和內擋罩5均用316不銹鋼制成。可以理解地，在其他未示出的實施方式中，外擋罩4和內擋罩5還可以采用其他耐高溫且具有彈性的材料制成。

燈絲2與電弧環3都設置在內擋罩5的內部，為了避免燈絲2或電弧環3出現短路現象，燈絲2與電弧環3均與內擋罩5隔離不接觸的。

燈絲2的兩端折彎設置，中部設置成弧狀結構，兩根燈絲2平行設置在電弧套1環內，中部弧狀結構相對，用于加熱放射出電子。