[實用新型]一種大張角玻璃鏡片的減反膜

有效

• 申請號: 201720442555.0
• 申請日: 2017-04-25
• 公開（公告）號: CN206710630U
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發明（設計）人: 李毅楨;聶小飛;葉忠海;謝志高;唐甫星;王維;張強;閔丹丹;蔣連林;牟聯偉
• 申請（專利權）人: 舜宇光學（中山）有限公司
• 主分類號: G02B1/115
• 分類號: G02B1/115;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/06
• 代理公司: 中山市興華粵專利代理有限公司44345
• 代理人: 吳劍鋒,鄒濤

技術領域

本實用新型涉及工藝制造領域，具體涉及一種大張角玻璃鏡片的減反膜。

背景技術

大張角玻璃鏡片減反膜主要應用于廣角性能要求高的成像系統等領域，如車載攝像頭等數碼成像以及運動攝像機SDV的光學模組。

為達到其成像系統的廣角性能，必須使得光路系統中的第一片鏡片的凹面的曲率越來越大，當采取現有鍍膜工藝與中心回轉機臺加工時，就造成了鏡片中心與邊緣的反射率偏差越來越大，也就是色差越來越大，最終造成成像鬼影的出現，從而無法滿足鏡頭的成像性能。并且，在現有鍍膜技術中，加工后產品凹面的膜層均勻性比較差，如圖5所示，且加工后的凹面邊緣膜層不致密，膜強度差，易產生掉膜不良。

實用新型內容

本實用新型的目的旨在提供一種膜層均勻性一致，且凹面邊緣膜強度佳的大張角玻璃鏡片的減反膜，以克服現有技術中的不足之處。

按此目的設計的一種大張角玻璃鏡片的減反膜，包括設置在大張角玻璃鏡片表面的減反膜，其結構特征是所述減反膜為八層的多層膜結構，其包括依次堆疊的高折射率膜層及低折射率膜層。

進一步，所述減反膜包括依次堆疊的高折射率膜層、低折射率膜層、高折射率膜層、低折射率膜層、高折射率膜層、低折射率膜層、高折射率膜層、低折射率膜層。

進一步，所述高折射率膜層為五氧化三鈦膜層；低折射率膜層為氟化鎂膜層或二氧化硅膜層。

一種大張角玻璃鏡片的減反膜的制作工藝，包括以下步驟：

步驟一，采用行星鍍膜機臺進行鍍膜加工，在鍍膜真空室鍍膜前，使用高能離子源進行清潔處理60秒；

步驟二，鍍第一膜層時，鍍膜壓力為2.0*10^-2Pa，鍍膜速率為鍍膜時間為117～120秒；所述第一膜層為五氧化三鈦膜層；

步驟三，鍍第二膜層時，鍍膜壓力為1.5*10-³Pa，鍍膜速率為鍍膜時間為90～93秒；所述第二膜層為二氧化硅膜層；

步驟四，鍍第三膜層時，鍍膜壓力為2.0*10^-2Pa，鍍膜速率為鍍膜時間為305～308秒；所述第三膜層為五氧化三鈦膜層；

步驟五，鍍第四膜層時，鍍膜壓力為1.5*10^-3Pa，鍍膜速率為鍍膜時間為37～40秒；所述第四膜層為二氧化硅膜層；

步驟六，鍍第五膜層時，鍍膜壓力為2.0*10^-2Pa，鍍膜速率為鍍膜時間為465～468秒；所述第五膜層為五氧化三鈦膜層；

步驟七，鍍第六膜層時，鍍膜壓力為1.5*10^-3Pa，鍍膜速率為鍍膜時間為75～78秒；所述第六膜層為為二氧化硅膜層；

步驟八，鍍第七膜層時，鍍膜壓力為2.0*10^-2Pa，鍍膜速率為鍍膜時間為172～175秒；所述第七膜層為五氧化三鈦膜層；

步驟九，鍍第八膜層時，鍍膜壓力為1.1*10^-3Pa，鍍膜速率為鍍膜時間為560～563秒；所述第八膜層為氟化鎂膜層；

步驟十，鍍膜完成后需冷卻3～5分鐘，方可使行星鍍膜機臺進氣，至此鍍膜完成。

進一步，當鍍膜真空室的真空度到達1.5×10^-3Pa時，開始鍍膜，高能離子源轟擊輔助鍍膜的參數見表1；

表1

進一步，所述行星鍍膜機臺在進行真空鍍時，行星鍍膜機臺的工作溫度為110℃～130℃，恒溫時間12min～15min。

本實用新型中的大張角玻璃鏡片表面的減反膜為八層的多層膜結構，其包括依次堆疊的高折射率膜層及低折射率膜層；當整個膜層鍍制完成后，大張角玻璃鏡片表面鍍制的減反膜的膜層均勻性一致，且凹面邊緣膜強度佳。

本實用新型采用具有公轉和自轉功能的行星鍍膜機臺，再加上專門設計的鍍膜制作工藝，使大張角玻璃鏡片表面鍍制的減反膜的膜層均勻性一致，且凹面邊緣膜強度佳。采用此工藝獲得的本產品，在使用過程中具有廣角性能高和成像清晰的特點，且能從根本上杜絕紅斑鬼影，從而達到此類成像系統的光學要求，并且本產品的凹面邊緣膜強度佳、品質好、產品使用期限長，能達到節約成本的效果。

綜上所述，本實用新型具有膜層均勻性一致，且凹面邊緣膜強度佳的特點。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施例的結構示意圖。

圖2為本實用新型第一實施例的實測曲線圖。

圖3為本實用新型第二實施例的實測曲線圖。