[實用新型]一種提高金剛線切割穩定性的槽結構

有效

• 申請號: 201720441892.8
• 申請日: 2017-04-25
• 公開（公告）號: CN207564741U
• 公開（公告）日: 2018-07-03
• 發明（設計）人: 侯建明;王巖;李建弘;趙越;郝勇;郭俊文
• 申請（專利權）人: 內蒙古中環光伏材料有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 李成運

本實用新型提供了一種提高金剛線切割穩定性的槽結構，一種提高金剛線切割穩定性的槽結構，所述槽包括槽底和兩個槽壁，兩個所述槽壁呈夾角為30?40°、且開口朝外的V型結構，所述槽底為開口朝外且開口角度大于或等于90°的V型結構，槽底和兩個槽壁相交處的寬度大于其對應的金剛線直徑。本實用新型所述的一種提高金剛線切割穩定性的槽結構中，槽輪上槽的槽底采用了大于或等于90度的V型結構，使用時，金剛線位于該V型槽底處，該結構保證槽底處對金剛線的作用力較小，因此，解決的金剛線由于上下浮動大導致的Warp參數控制能力較差的問題，同時，由于該V型結構，解決了圓弧結構帶來的由于金剛線擺動導致的TTV參數控制能力較差問題。

技術領域

本實用新型屬于硅片切割領域，尤其是涉及一種提高金剛線切割穩定性的槽結構。

背景技術

目前鉆石線切割硅片技術已進行全面推廣使用,在加工制造中槽輪槽型至關重要,槽型的選取決定切割后硅片的參數控制，目前行業內主要使用有兩種槽型，一種是U型槽、開口呈40～50°角度底弧呈半徑為40～50μm半圓型槽底(見附圖1)，該形狀槽技術缺點為由于槽底和金剛線為面接觸，切割中金剛線擺較大，容易造成TTV參數控制能力較差問題；另一種為V型、開口呈30～50°角度底端為尖型(見附圖2)，金剛線在槽中間位置，該V型槽主要的技術缺點為切割時槽壁作用在金剛線上的力過大，金剛線上下方向會產生較大的浮動，進而導致切割后Warp參數控制能力較差。

發明內容

有鑒于此，本實用新型旨在提出一種提高金剛線切割穩定性的槽結構，以解決切割中由于硅片下壓造成鋼線在切割中的穩定性較差，鋼線左右擺動造成的切割質量不良等問題。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的：

一種提高金剛線切割穩定性的槽結構，所述槽包括槽底和兩個槽壁，兩個所述槽壁呈夾角為30-40°、且開口朝外的V型結構，所述槽底為開口朝外且開口角度大于或等于90°的V型結構，槽底和兩個槽壁相交處的寬度大于其對應的金剛線直徑。

進一步的，所述槽底深度大于其對應的金剛線半徑。

進一步的，所述槽底為90-110°的V型結構。

進一步的，所述槽的深度為200-270um。

相對于現有技術，本實用新型所述的一種提高金剛線切割穩定性的槽結構具有以下優勢：

本實用新型所述的一種提高金剛線切割穩定性的槽結構中，槽輪上槽的槽底采用了大于或等于90度的V型結構，使用時，金剛線位于該V型槽底處，該結構保證槽底處對金剛線的作用力較小，因此，解決的金剛線由于上下浮動大導致的Warp參數控制能力較差的問題，同時，由于槽底為該V型結構，解決了圓弧結構帶來的由于金剛線擺動導致的TTV參數控制能力較差問題。

附圖說明

構成本實用新型的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1為現有技術中開口40-50°槽底為弧狀的U型槽型結構；

圖2為現有技術開口30-40°槽底為尖狀的V型槽型結構

圖3為本實用新型實施例所述的一種提高金剛線切割穩定性的槽結構示意圖；

附圖標記說明：

1-槽壁；2-槽底。

具體實施方式

需要說明的是，在不沖突的情況下，本實用新型中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。