[實用新型]一種固化爐腔室

有效

• 申請號: 201720441037.7
• 申請日: 2017-04-25
• 公開（公告）號: CN206670362U
• 公開（公告）日: 2017-11-24
• 發明（設計）人: 蔡燦
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 智云

技術領域

本實用新型涉及光電材料制造技術領域，特別涉及一種固化爐腔室。

背景技術

高溫爐類設備為了保證光電材料中的基板受熱均勻，需將基板置于密封穩定環境下，即固化爐腔室中，并且需在固化爐腔室的腔室門處設計密封結構。

目前使用的固化爐腔室在腔室門上端安裝有軸，腔室門繞軸轉動，類似于百葉窗式的機構，密封條固定在腔室門四周，密封條采用聚酰亞胺材料，在腔室門開關動作時密封條會與固化爐腔室或腔室門發生摩擦，容易導致密封條的材料變形，使得密封效果下降，影響基板的受熱效果。

由此，需要設計一種密封效果好的固化爐腔室。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種固化爐腔室，以解決現有的固化爐腔室與腔室門之間密封效果不好的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種固化爐腔室，所述固化爐腔室包括腔室本體、腔室門、第一密封裝置及第二密封裝置，其中：

所述第一密封裝置安裝在所述腔室本體的邊緣，所述第二密封裝置安裝在所述腔室門的邊緣，所述第一密封裝置和所述第二密封裝置相接觸，使所述腔室本體與所述腔室門形成一封閉空間；

當所述第一密封裝置和所述第二密封裝置呈互相緊密接觸的狀態時，所述封閉空間為密封空間；

當所述第一密封裝置和所述第二密封裝置呈互相松弛接觸的狀態時，所述封閉空間為非密封空間。

可選的，在所述的固化爐腔室中，所述第一密封裝置和所述第二密封裝置互相緊密接觸的壓力大小為0.2兆帕～0.3兆帕。

可選的，在所述的固化爐腔室中，所述第一密封裝置和所述第二密封裝置互相松弛接觸的壓力大小為0帕～100帕。

可選的，在所述的固化爐腔室中，所述第一密封裝置包括第一密封充氣氣囊，所述第一密封充氣氣囊的表面上具有第一充氣孔。

可選的，在所述的固化爐腔室中，所述第二密封裝置包括第二密封充氣氣囊，所述第二密封充氣氣囊的表面上具有第二充氣孔。

可選的，在所述的固化爐腔室中，所述固化爐腔室還包括充放氣裝置，所述充放氣裝置通過所述第一充氣孔為所述第一密封充氣氣囊充氣或放氣，所述充放氣裝置通過所述第二充氣孔為所述第二密封充氣氣囊充氣或放氣。

可選的，在所述的固化爐腔室中，所述第一密封充氣氣囊安裝于所述腔室本體的邊緣，所述第二密封充氣氣囊安裝于所述腔室門的邊緣，所述第一密封充氣氣囊與所述第二密封充氣氣囊形成正相對的位置關系并相互接觸。

可選的，在所述的固化爐腔室中，所述第一密封充氣氣囊和所述第二密封充氣氣囊的數量均為多個，且所述第一密封充氣氣囊與所述第二密封充氣氣囊的數量相等。

可選的，在所述的固化爐腔室中，多個所述第一密封充氣氣囊均勻地分布于所述腔室本體的邊緣，多個所述第二密封充氣氣囊均勻地分布于所述腔室門的邊緣，所述第一密封充氣氣囊和所述第二密封充氣氣囊交錯設置并相互接觸。

可選的，在所述的固化爐腔室中，所述第一密封充氣氣囊和所述第二密封充氣氣囊的形狀為球體、長方體或橢球體。

在本實用新型提供的固化爐腔室中，通過所述封閉空間的狀態可在密封空間和非密封空間的轉換，所述第一密封裝置和所述第二密封裝置呈互相緊密接觸的狀態，也可以呈互相松弛接觸的狀態，當兩者呈互相緊密接觸的狀態，所述腔室本體邊緣和所述腔室門邊緣的第一密封裝置和第二密封裝置可以很好的密封固化爐腔室；進一步的，當第一密封裝置和所述第二密封裝置呈互相松弛接觸的狀態，即使所述腔室本體與所述腔室門還在形成所述封閉空間，但第一密封裝置和第二密封裝置已經以很小或基本不存在的壓力進行接觸，即使現在腔室門進行開門動作，所述腔室本體邊緣和所述腔室門邊緣的第一密封裝置和第二密封裝置之間也不會造成很大的摩擦力，不會造成第一密封裝置和第二密封裝置的材料的磨損，可以一直保持很好的密封效果。

進一步的，第一密封裝置和第二密封裝置互相緊密接觸的壓力大小為0.2兆帕～0.3兆帕，可以很好的進行密封；第一密封裝置和第二密封裝置互相松弛接觸的壓力大小為0帕～100帕，兩者直接發生位移時，摩擦力也很小。