[實(shí)用新型]冷卻機(jī)及冷卻系統(tǒng)及真空等離子設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720421014.X
• 申請(qǐng)日: 2017-04-20
• 公開（公告）號(hào): CN206713241U
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王燕鋒;崔永鑫;劉成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山國(guó)顯光電有限公司
• 主分類號(hào): H05K7/20
• 分類號(hào): H05K7/20;H05H1/24
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司44224
• 代理人: 唐清凱

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及冷卻技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種冷卻機(jī)及冷卻系統(tǒng)及真空等離子設(shè)備。

背景技術(shù)

在真空等離子設(shè)備中，都會(huì)用到冷卻機(jī)(chiller)，冷卻機(jī)用于平衡加熱和冷卻系統(tǒng)，進(jìn)而提高工藝的穩(wěn)定性。

但是，真空等離子設(shè)備在運(yùn)行過程中會(huì)產(chǎn)生碎屑(例如管路腐蝕等原因)，碎屑會(huì)造成電極板及腔體加熱部分的毛細(xì)管路堵塞，部分碎屑通過加熱還會(huì)粘附在設(shè)備上進(jìn)而導(dǎo)致溫度控制異常、壓力異常等現(xiàn)象，從而導(dǎo)致生產(chǎn)的產(chǎn)品不良。

實(shí)用新型內(nèi)容

基于此，有必要針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中真空等離子設(shè)備堵塞的問題，提供一種能夠清洗碎屑、防止真空等離子設(shè)備堵塞的冷卻機(jī)。

一種冷卻機(jī)，包括：

儲(chǔ)液槽，用于存儲(chǔ)冷卻液；

溫控機(jī)構(gòu)；

出液管路，用于連接所述溫控機(jī)構(gòu)與所述儲(chǔ)液槽；

外輸管路，用于連接所述溫控機(jī)構(gòu)與待冷卻設(shè)備；

回液管路，用于連接所述儲(chǔ)液槽與待冷卻設(shè)備；

第一液閥，設(shè)置在所述外輸管路上；

第二液閥，設(shè)置在所述回液管路上；

氣推管路，連接于所述外輸管路以及所述回液管路之間，以引入氣壓并利用氣壓將冷卻液推入待冷卻設(shè)備；

以及三通閥，設(shè)置在所述氣推管路上；所述三通閥的進(jìn)口連接氣源，所述三通閥的第一出口通過所述氣推管路與所述外輸管路連通，所述三通閥的第二出口通過所述氣推管路與回液管路連通。

上述冷卻機(jī)，可以采用氣推的方式，用冷卻液對(duì)待冷卻設(shè)備進(jìn)行沖洗，從而將碎屑從待冷卻設(shè)備上沖刷下來，進(jìn)而避免了堵塞，從而保證的設(shè)備的正常運(yùn)行，確保產(chǎn)品的質(zhì)量。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述冷卻機(jī)還包括用于控制所述第一液閥、所述第二液閥以及所述三通閥的控制器。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述控制器包括正洗模式；在所述正洗模式下，所述控制器控制所述第一液閥關(guān)閉、所述第二液閥打開、所述三通閥的第一出口打開、第二出口關(guān)閉。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述控制器包括反洗模式；在所述反洗模式下，所述控制器控制所述第一液閥打開、所述第二液閥關(guān)閉、所述三通閥的第一出口關(guān)閉、第二出口打開。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述控制器包括震蕩洗模式；在所述震蕩洗模式下，交替進(jìn)行正洗模式及反洗模式；

在所述正洗模式下，所述控制器控制所述第一液閥關(guān)閉、所述第二液閥打開、所述三通閥的第一出口打開、第二出口關(guān)閉；

在所述反洗模式下，所述控制器控制所述第一液閥打開、所述第二液閥關(guān)閉、所述三通閥的第一出口關(guān)閉、第二出口打開。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述冷卻機(jī)還包括計(jì)時(shí)單元，所述計(jì)時(shí)單元與所述控制器電連接。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述冷卻機(jī)還包括：

排污管路，與所述儲(chǔ)液槽連通；

以及排污閥，設(shè)置在所述排污管路上。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述排污閥為手動(dòng)閥。

本實(shí)用新型還提供了一種冷卻系統(tǒng)。

一種冷卻系統(tǒng)，包括本實(shí)用新型所提供的冷卻機(jī)。

上述冷卻系統(tǒng)，由于采用本實(shí)用新型所提供的冷卻機(jī)，可以采用氣推的方式，用冷卻液對(duì)待冷卻設(shè)備進(jìn)行沖洗，從而將碎屑從待冷卻設(shè)備上沖刷下來，故而避免了堵塞，從而保證的設(shè)備的正常運(yùn)行，確保產(chǎn)品的質(zhì)量。

本實(shí)用新型還提供了一種真空等離子設(shè)備。

一種真空等離子設(shè)備，包括本實(shí)用新型所提供的冷卻系統(tǒng)。

上述真空等離子設(shè)備，由于采用本實(shí)用新型所提供的冷卻系統(tǒng)，可以采用氣推的方式，用冷卻液對(duì)待冷卻設(shè)備進(jìn)行沖洗，從而將碎屑從待冷卻設(shè)備上沖刷下來，故而避免了堵塞，從而保證設(shè)備的正常運(yùn)行，確保產(chǎn)品的質(zhì)量。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例的冷卻機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖，此時(shí)處于正常工作模式。

圖2為圖1中的冷卻機(jī)在反洗模式下的狀態(tài)原理圖。

圖3為圖1中的冷卻機(jī)在正洗模式下的狀態(tài)原理圖。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施方式，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施方式僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。