[實用新型]一種真空鍍膜機用鍍膜基片旋調裝置

有效

• 申請號: 201720419196.7
• 申請日: 2017-04-20
• 公開（公告）號: CN206872940U
• 公開（公告）日: 2018-01-12
• 發明（設計）人: 劉玉杰
• 申請（專利權）人: 天津涂冠科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50
• 代理公司: 北京久維律師事務所11582
• 代理人: 邢江峰

【技術領域】

本實用新型涉及一種旋調裝置，特別涉及一種真空鍍膜機用鍍膜基片旋調裝置。

【背景技術】

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。需要鍍膜的被稱為基片，鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來。并且沉降在基片表面，通過成膜過程形成薄膜。 對于濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且最終沉積在基片表面，經歷成膜過程，最終形成薄膜。現有的真空鍍膜機不方便對鍍膜基片進行旋調控制，對鍍膜基片進行操控不靈活。

【實用新型內容】

本實用新型的主要目的在于提供一種可以方便使驅動電機移動靈活性更加好，從而可以方便對鍍膜基片進行移動調節，方便對鍍膜基片進行靈活調節的真空鍍膜機用鍍膜基片旋調裝置。

為實現上述目的，本實用新型采取的技術方案為：

一種真空鍍膜機用鍍膜基片旋調裝置，包括底座，底座的內部為空腔結構，底座的頂部上設有真空鍍膜罩，真空鍍膜罩的內部為空腔結構，底座上設有旋轉座，旋轉座上設有儲物槽，底座的內部設有驅動電機，驅動電機的上部設有驅動軸，驅動軸呈豎直布置，驅動軸的下端與驅動電機的上部連接，驅動軸的上端安裝在旋轉座的底部，底座的頂部設有開槽，驅動軸的上端穿過開槽；驅動電機安裝在移動座上，移動座的底部一側設有第一安裝軸，第一安裝軸的兩端均設有第一移動輪，移動座的底部另一側設有第二安裝軸，第二安裝軸的兩端均設有第二移動輪，第二安裝軸與第一安裝軸呈平行布置，第一移動輪與第二移動輪均為萬向輪；底座的內側部位置設有液壓缸，液壓缸的前部設有活塞桿，活塞桿呈水平布置，活塞桿的端部安裝在驅動電機的側部位置。

進一步地，所述底座的內底部設有固定箱，液壓缸安裝在固定箱上。

進一步地，所述固定箱的內部為空腔結構。

進一步地，所述底座的內側部位置設有限位柱，限位柱呈水平布置，限位柱的端部設有限位板，液壓缸的外側壁位置設有防撞塊，防撞塊設置在限位板的前方。

進一步地，所述限位柱的端部與限位板通過螺紋連接。

與現有技術相比，本實用新型具有如下有益效果：通過底座可以方便對真空鍍膜罩進行安裝，通過底座可以方便對旋轉座進行安裝；通過移動座可以方便對驅動電機進行安裝，驅動電機通過驅動軸可以控制旋轉座實現轉動調節，使用者可以將鍍膜基片安放在旋轉座上，從而可以方便對鍍膜基片進行水平轉動調節；液壓缸可以控制活塞桿實現移動調節，從而可以方便對驅動電機進行推動，移動座通過第一移動輪與第二移動輪可以移動靈活更加好，可以方便使驅動電機移動靈活性更加好，從而可以方便對鍍膜基片進行移動調節，方便對鍍膜基片進行靈活調節。

【附圖說明】

圖1為本實用新型真空鍍膜機用鍍膜基片旋調裝置的結構示意圖。

【具體實施方式】

為使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體實施方式，進一步闡述本實用新型。

如圖1所示，一種真空鍍膜機用鍍膜基片旋調裝置，包括底座1，底座1的內部為空腔結構，底座1的頂部上設有真空鍍膜罩2，真空鍍膜罩2的內部為空腔結構，底座1上設有旋轉座3，旋轉座3上設有儲物槽4，底座1的內部設有驅動電機5，驅動電機5的上部設有驅動軸6，驅動軸6呈豎直布置，驅動軸6的下端與驅動電機5的上部連接，驅動軸6的上端安裝在旋轉座3的底部，底座1的頂部設有開槽，驅動軸6的上端穿過開槽；驅動電機5安裝在移動座11上，移動座11的底部一側設有第一安裝軸7，第一安裝軸7的兩端均設有第一移動輪8，移動座11的底部另一側設有第二安裝軸9，第二安裝軸9的兩端均設有第二移動輪10，第二安裝軸9與第一安裝軸7呈平行布置，第一移動輪8與第二移動輪10均為萬向輪；底座1的內側部位置設有液壓缸12，液壓缸12的前部設有活塞桿13，活塞桿13呈水平布置，活塞桿13的端部安裝在驅動電機5的側部位置；底座1的內底部設有固定箱14，液壓缸12安裝在固定箱14上；固定箱14的內部為空腔結構；底座1的內側部位置設有限位柱16，限位柱16呈水平布置，限位柱16的端部設有限位板17，液壓缸12的外側壁位置設有防撞塊15，防撞塊15設置在限位板17的前方；限位柱16的端部與限位板17通過螺紋連接。