[實用新型]一種用于增強(qiáng)光刻分辨率的離軸照明結(jié)構(gòu)和光刻系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720415620.0
• 申請日: 2017-04-19
• 公開（公告）號: CN207164465U
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊彪;周金運(yùn)
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 羅滿

1.一種用于增強(qiáng)光刻分辨率的離軸照明結(jié)構(gòu)，包括依次設(shè)置的反射鏡、聚光透鏡、掩膜板和投影透鏡，其特征在于，還包設(shè)置在所述反射鏡與所述掩膜板之間的相位圖形片，所述相位圖形片包括同一圓內(nèi)的多個相鄰?qiáng)A角相等且圓心角相等的極邊扇形，所述極邊扇形被多個與所述極邊扇形同心的同心圓分割為多個曲邊照明極塊，同一所述極邊扇形對應(yīng)的多個所述曲邊照明極塊之間的間距成等差級數(shù)，入射光束經(jīng)過所述反射鏡反射到所述相位圖形片后偏離主光軸產(chǎn)生一個傾角后，透射過所述掩膜板的圖形的零級和一級衍射光經(jīng)過所述投影透鏡在晶圓片的光刻膠上形成干涉圖案。

2.如權(quán)利要求1所述用于增強(qiáng)光刻分辨率的離軸照明結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述相位圖形片設(shè)置在所述聚光透鏡上方、所述掩膜板上方或所述掩膜板的上表面。

3.如權(quán)利要求1所述用于增強(qiáng)光刻分辨率的離軸照明結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述曲邊照明極塊的開口角為30°～45°。

4.如權(quán)利要求3所述用于增強(qiáng)光刻分辨率的離軸照明結(jié)構(gòu)，其特征在于，相鄰所述極邊扇形之間的夾角為30°～60°。

5.如權(quán)利要求4所述用于增強(qiáng)光刻分辨率的離軸照明結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述極邊扇形的數(shù)量為4～6。

6.如權(quán)利要求1所述用于增強(qiáng)光刻分辨率的離軸照明結(jié)構(gòu)，其特征在于，同一所述極邊扇形對應(yīng)的多個所述曲邊照明極塊之間的間距相等。

7.如權(quán)利要求6所述用于增強(qiáng)光刻分辨率的離軸照明結(jié)構(gòu)，其特征在于，同一所述極邊扇形對應(yīng)的多個所述曲邊照明極塊在徑向的厚度相等。

8.如權(quán)利要求7所述用于增強(qiáng)光刻分辨率的離軸照明結(jié)構(gòu)，其特征在于，同一所述極邊扇形對應(yīng)的多個所述曲邊照明極塊在徑向的厚度與之間的間距相等。

9.如權(quán)利要求1-8任意一項所述用于增強(qiáng)光刻分辨率的離軸照明結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述相位圖形片的中心與所述聚光透鏡、所述投影透鏡處于同一主光軸。

10.一種光刻系統(tǒng)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-9任意一項所述的用于增強(qiáng)光刻分辨率的離軸照明結(jié)構(gòu)。